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公开(公告)号:CN118670304A
公开(公告)日:2024-09-20
申请号:CN202410824216.3
申请日:2024-06-25
IPC: G01B11/26
Abstract: 本发明提供了一种竖直偏角检测装置及方法,涉及光学系统的技术领域,包括望远镜组、沿水平方向呈45°设置的第一分光镜和第二分光镜;第一分光镜的第一方向和第二方向上分别设置有第一回射机构和第二回射机构;第二分光镜的第三方向和第四方向上分别设置有第一感光机构和第二感光机构;第一方向和第三方向位于竖直方向,第二方向和第四方向位于水平方向;装置还包括方向参考组件;方向参考组件设置在第一分光镜和第一回射机构之间,方向参考组件在竖直方向上与第一回射机构部分重合。采用上述装置,获取光斑距离、望远镜组件放大倍率、第二分光镜中心分别与第一感光机构和第二感光机构的垂直距离,计算后能够得到激光束竖直偏角数据。
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公开(公告)号:CN118209059A
公开(公告)日:2024-06-18
申请号:CN202410542537.4
申请日:2024-04-30
Abstract: 本发明提供了一种竖直偏角检测装置,涉及光学系统的技术领域,包括望远镜组、沿水平方向呈45°设置的第一分光镜和第二分光镜;第一分光镜的第一方向和第二方向上分别设置有第一回射机构和第二回射机构;第二分光镜的第三方向和第四方向上分别设置有第一感光机构和第二感光机构;第一方向和第三方向位于竖直方向,第二方向和第四方向位于水平方向;装置还包括方向参考组件;方向参考组件设置在第一分光镜和第一回射机构之间,方向参考组件在竖直方向上与第一回射机构部分重合。采用上述装置,获取光斑距离、望远镜组件放大倍率、第二分光镜中心分别与第一感光机构和第二感光机构的垂直距离,计算后能够得到激光束竖直偏角数据。
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公开(公告)号:CN108645343B
公开(公告)日:2019-08-20
申请号:CN201810408448.5
申请日:2018-05-02
Applicant: 中国计量科学研究院
IPC: G01B11/02
Abstract: 本发明涉及一种基于角锥棱镜反射的激光外差干涉测量装置与方法,包括双频激光器,第一光电接收器,第二光电接收器,第一偏振分光镜,第三偏振分光镜,第二偏振分光镜,四分之一波片,光学补偿镜,平面镜,被测角锥棱镜。该方法利用两束频率不同的空间分离入射光进行外差干涉测量,并利用光学补偿镜来平衡测量光束和参考光束的光程。在该方法中,被测角锥棱镜沿着入射光束的传播方向往复运动。本发明抑制了激光外差干涉测量中的光学非线性误差和光学热漂移误差,降低了光路准直调节的难度,提高了激光外差干涉测量的准确度。
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公开(公告)号:CN108592800B
公开(公告)日:2019-08-20
申请号:CN201810408811.3
申请日:2018-05-02
Applicant: 中国计量科学研究院
Abstract: 本发明涉及一种基于平面镜反射的激光外差干涉测量装置与方法,包括双频激光器,第一光电接收器,第二光电接收器,第一偏振分光镜,第二偏振分光镜,第三偏振分光镜,四分之一波片,直角反射镜,光学补偿镜和被测平面镜。该方法利用两束频率不同的空间分离入射光进行外差干涉测量,并利用光学补偿镜来平衡测量光束和参考光束的光程。在该方法中,被测平面镜沿着入射光束的传播方向往复运动。本发明抑制了激光外差干涉测量中的光学非线性误差和光学热漂移误差,简化了光路结构,提高了激光外差干涉测量的准确度。
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公开(公告)号:CN108645343A
公开(公告)日:2018-10-12
申请号:CN201810408448.5
申请日:2018-05-02
Applicant: 中国计量科学研究院
IPC: G01B11/02
Abstract: 本发明涉及一种基于角锥棱镜反射的激光外差干涉测量装置与方法,包括双频激光器,第一光电接收器,第二光电接收器,第一偏振分光镜,第三偏振分光镜,第二偏振分光镜,四分之一波片,光学补偿镜,平面镜,被测角锥棱镜。该方法利用两束频率不同的空间分离入射光进行外差干涉测量,并利用光学补偿镜来平衡测量光束和参考光束的光程。在该方法中,被测角锥棱镜沿着入射光束的传播方向往复运动。本发明抑制了激光外差干涉测量中的光学非线性误差和光学热漂移误差,降低了光路准直调节的难度,提高了激光外差干涉测量的准确度。
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公开(公告)号:CN108592800A
公开(公告)日:2018-09-28
申请号:CN201810408811.3
申请日:2018-05-02
Applicant: 中国计量科学研究院
Abstract: 本发明涉及一种基于平面镜反射的激光外差干涉测量装置与方法,包括双频激光器,第一光电接收器,第二光电接收器,第一偏振分光镜,第二偏振分光镜,第三偏振分光镜,四分之一波片,直角反射镜,光学补偿镜和被测平面镜。该方法利用两束频率不同的空间分离入射光进行外差干涉测量,并利用光学补偿镜来平衡测量光束和参考光束的光程。在该方法中,被测平面镜沿着入射光束的传播方向往复运动。本发明抑制了激光外差干涉测量中的光学非线性误差和光学热漂移误差,简化了光路结构,提高了激光外差干涉测量的准确度。
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公开(公告)号:CN103033251B
公开(公告)日:2015-01-07
申请号:CN201210563880.4
申请日:2012-12-21
Applicant: 中国计量科学研究院
Abstract: 本发明公开了一种能量天平悬挂组件的空气阻尼定位系统,其与能量天平悬挂组件相连接,所述空气阻尼定位系统包括底座(1),与所述悬挂组件固定连接的十字叶片(3),以及可调直角叶片组,所述可调直角叶片组通过叶片组固定部件与底座(1)相连,所述可调直角叶片组包括至少一对可调直角叶片(2),所述一对可调直角叶片(2)设置在所述十字叶片(3)的任一个直角面内,且该对可调直角叶片(2)分别与该直角面互相平行。本发明的定位系统能使能量天平基本保持静态,减少测量误差。
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公开(公告)号:CN103033251A
公开(公告)日:2013-04-10
申请号:CN201210563880.4
申请日:2012-12-21
Applicant: 中国计量科学研究院
Abstract: 本发明公开了一种能量天平悬挂组件的空气阻尼定位系统,其与能量天平悬挂组件相连接,所述空气阻尼定位系统包括底座(1),与所述悬挂组件固定连接的十字叶片(3),以及可调直角叶片组,所述可调直角叶片组通过叶片组固定部件与底座(1)相连,所述可调直角叶片组包括至少一对可调直角叶片(2),所述一对可调直角叶片(2)设置在所述十字叶片(3)的任一个直角面内,且该对可调直角叶片(2)分别与该直角面互相平行。本发明的定位系统能使能量天平基本保持静态,减少测量误差。
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公开(公告)号:CN101819234B
公开(公告)日:2012-05-23
申请号:CN201010156388.6
申请日:2010-04-27
Applicant: 中国计量科学研究院
IPC: G01R29/00
Abstract: 本发明为一种采用补偿器技术精密测量交流互感量的新方法。把互感量值溯源到电阻量值和频率的测量,两者的测量不确定度均可达到10-9量级甚至更高,因此测量互感的不确定度至少可达到10-8量级。目前国外文献上发表的最精密的得到标准互感量的方法是“计算互感法”,即根据对互感线圈的几何尺寸的测量结果计算出互感量。由于几何尺寸测量准确度的限制,国外方法的不确定度只能达到10-6量级。本发明采用直接数字合成技术生成多路交流信号,保证了信号的直角性。采用恒流源为互感提供激励,保证了互感和采样电阻中流过的电流始终相同。激励信号电压的变化对测量过程不产生影响。使用基于相敏检波技术的锁相放大器作为指令仪,只对与工作频率相等的信号起作用,消除了噪声、谐波的影响,指零仪分辨率可到1×10-8。本方明提出的新方法可比国外现有方法提高十倍。
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公开(公告)号:CN101510583B
公开(公告)日:2011-05-04
申请号:CN200910080067.X
申请日:2009-03-18
Applicant: 中国计量科学研究院
Abstract: 本发明公开了一种含有多层二维电子气的量子化霍尔电阻器件,该器件由自下而上依次在GaAs衬底上外延生长的GaAs缓冲层、多个由n型AlxGa1-xAs与不掺杂GaAs构成的二维电子气层、n型GaAs盖帽层,以及在该n型GaAs盖帽层上依次淀积的AuGeNi合金电极和Au电极构成,其中,n型AlxGa1-xAs中的x=0.25~0.32。本发明同时公开了一种制作含有多层二维电子气的量子化霍尔电阻器件的方法。利用本发明,可以成倍减小阵列的规模和外延片材料的消耗,降低在制作大规模阵列时半导体工艺方面的挑战,同时也增强了阵列的可靠性。
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