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公开(公告)号：CN108645343B
公开(公告)日：2019-08-20
申请号：CN201810408448.5
申请日：2018-05-02
Applicant: 中国计量科学研究院
IPC: G01B11/02
Abstract: 本发明涉及一种基于角锥棱镜反射的激光外差干涉测量装置与方法，包括双频激光器，第一光电接收器，第二光电接收器，第一偏振分光镜，第三偏振分光镜，第二偏振分光镜，四分之一波片，光学补偿镜，平面镜，被测角锥棱镜。该方法利用两束频率不同的空间分离入射光进行外差干涉测量，并利用光学补偿镜来平衡测量光束和参考光束的光程。在该方法中，被测角锥棱镜沿着入射光束的传播方向往复运动。本发明抑制了激光外差干涉测量中的光学非线性误差和光学热漂移误差，降低了光路准直调节的难度，提高了激光外差干涉测量的准确度。
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公开(公告)号：CN108592800B
公开(公告)日：2019-08-20
申请号：CN201810408811.3
申请日：2018-05-02
Applicant: 中国计量科学研究院
Abstract: 本发明涉及一种基于平面镜反射的激光外差干涉测量装置与方法，包括双频激光器，第一光电接收器，第二光电接收器，第一偏振分光镜，第二偏振分光镜，第三偏振分光镜，四分之一波片，直角反射镜，光学补偿镜和被测平面镜。该方法利用两束频率不同的空间分离入射光进行外差干涉测量，并利用光学补偿镜来平衡测量光束和参考光束的光程。在该方法中，被测平面镜沿着入射光束的传播方向往复运动。本发明抑制了激光外差干涉测量中的光学非线性误差和光学热漂移误差，简化了光路结构，提高了激光外差干涉测量的准确度。
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公开(公告)号：CN108645343A
公开(公告)日：2018-10-12
申请号：CN201810408448.5
申请日：2018-05-02
Applicant: 中国计量科学研究院
IPC: G01B11/02
Abstract: 本发明涉及一种基于角锥棱镜反射的激光外差干涉测量装置与方法，包括双频激光器，第一光电接收器，第二光电接收器，第一偏振分光镜，第三偏振分光镜，第二偏振分光镜，四分之一波片，光学补偿镜，平面镜，被测角锥棱镜。该方法利用两束频率不同的空间分离入射光进行外差干涉测量，并利用光学补偿镜来平衡测量光束和参考光束的光程。在该方法中，被测角锥棱镜沿着入射光束的传播方向往复运动。本发明抑制了激光外差干涉测量中的光学非线性误差和光学热漂移误差，降低了光路准直调节的难度，提高了激光外差干涉测量的准确度。
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公开(公告)号：CN108592800A
公开(公告)日：2018-09-28
申请号：CN201810408811.3
申请日：2018-05-02
Applicant: 中国计量科学研究院
Abstract: 本发明涉及一种基于平面镜反射的激光外差干涉测量装置与方法，包括双频激光器，第一光电接收器，第二光电接收器，第一偏振分光镜，第二偏振分光镜，第三偏振分光镜，四分之一波片，直角反射镜，光学补偿镜和被测平面镜。该方法利用两束频率不同的空间分离入射光进行外差干涉测量，并利用光学补偿镜来平衡测量光束和参考光束的光程。在该方法中，被测平面镜沿着入射光束的传播方向往复运动。本发明抑制了激光外差干涉测量中的光学非线性误差和光学热漂移误差，简化了光路结构，提高了激光外差干涉测量的准确度。
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公开(公告)号：CN119085811A
公开(公告)日：2024-12-06
申请号：CN202411379600.3
申请日：2024-09-30
Applicant: 中国计量科学研究院
Abstract: 本发明公开了一种基于柔性铰链的精密测力‑运动导向一体化装置，其中包含轴对称分布平行四边形柔性机构，阻尼配重系统与精密位移测量系统。其中轴对称分布平行四边形柔性机构由三个平行四边形柔性机构轴对称分布组合在一起，利用平行四边形柔性机构的垂向形变实现垂向高柔度，利用其水平向的相互牵拉作用实现水平高刚度的导向作用，阻尼配重系统用于中心机构的配衡，精密位移测量系统用于测量中心机构的多轴位移，与柔性机构共同实现高灵敏度测力与运动导向，从而实现互易测量原理，原理上抑制准直误差。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN118706233A
公开(公告)日：2024-09-27
申请号：CN202411182655.5
申请日：2024-08-27
Applicant: 中国计量科学研究院
Abstract: 本发明公开了一种基于变刚度柔性枢轴结构的微小力值测量装置及方法，所述装置包括圆柱形电容器、Z向精密位移台、第一XY水平位移台、柔性枢轴结构、差分激光干涉仪、重心调整块、托盘、拉伸弹簧、Z轴升降平台，柔性枢轴结构能够绕旋转中心产生铅垂方向的运动，包括上部杆件、中部杆件、底部杆件和多个簧片型柔性铰链；差分激光干涉仪测量得到圆柱外电极与圆柱内电极的相对位移量；重心调整块调整柔性枢轴结构的重心；托盘用于承载加载的力值，中部杆件的下端连接圆柱内电极；拉伸弹簧的一端固定在Z轴升降平台上，张紧力可变。本发明能够实现柔性枢轴结构铅垂向刚度的调节，满足10μN至1mN量程内微小力值的力值分辨力与测量准确度需求。
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公开(公告)号：CN118670304A
公开(公告)日：2024-09-20
申请号：CN202410824216.3
申请日：2024-06-25
IPC: G01B11/26
Abstract: 本发明提供了一种竖直偏角检测装置及方法，涉及光学系统的技术领域，包括望远镜组、沿水平方向呈45°设置的第一分光镜和第二分光镜；第一分光镜的第一方向和第二方向上分别设置有第一回射机构和第二回射机构；第二分光镜的第三方向和第四方向上分别设置有第一感光机构和第二感光机构；第一方向和第三方向位于竖直方向，第二方向和第四方向位于水平方向；装置还包括方向参考组件；方向参考组件设置在第一分光镜和第一回射机构之间，方向参考组件在竖直方向上与第一回射机构部分重合。采用上述装置，获取光斑距离、望远镜组件放大倍率、第二分光镜中心分别与第一感光机构和第二感光机构的垂直距离，计算后能够得到激光束竖直偏角数据。
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公开(公告)号：CN118209059A
公开(公告)日：2024-06-18
申请号：CN202410542537.4
申请日：2024-04-30
Abstract: 本发明提供了一种竖直偏角检测装置，涉及光学系统的技术领域，包括望远镜组、沿水平方向呈45°设置的第一分光镜和第二分光镜；第一分光镜的第一方向和第二方向上分别设置有第一回射机构和第二回射机构；第二分光镜的第三方向和第四方向上分别设置有第一感光机构和第二感光机构；第一方向和第三方向位于竖直方向，第二方向和第四方向位于水平方向；装置还包括方向参考组件；方向参考组件设置在第一分光镜和第一回射机构之间，方向参考组件在竖直方向上与第一回射机构部分重合。采用上述装置，获取光斑距离、望远镜组件放大倍率、第二分光镜中心分别与第一感光机构和第二感光机构的垂直距离，计算后能够得到激光束竖直偏角数据。
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公开(公告)号：CN118706233B
公开(公告)日：2025-04-18
申请号：CN202411182655.5
申请日：2024-08-27
Applicant: 中国计量科学研究院
Abstract: 本发明公开了一种基于变刚度柔性枢轴结构的微小力值测量装置及方法，所述装置包括圆柱形电容器、Z向精密位移台、第一XY水平位移台、柔性枢轴结构、差分激光干涉仪、重心调整块、托盘、拉伸弹簧、Z轴升降平台，柔性枢轴结构能够绕旋转中心产生铅垂方向的运动，包括上部杆件、中部杆件、底部杆件和多个簧片型柔性铰链；差分激光干涉仪测量得到圆柱外电极与圆柱内电极的相对位移量；重心调整块调整柔性枢轴结构的重心；托盘用于承载加载的力值，中部杆件的下端连接圆柱内电极；拉伸弹簧的一端固定在Z轴升降平台上，张紧力可变。本发明能够实现柔性枢轴结构铅垂向刚度的调节，满足10μN至1mN量程内微小力值的力值分辨力与测量准确度需求。
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公开(公告)号：CN104654993B
公开(公告)日：2017-08-11
申请号：CN201510019220.3
申请日：2015-01-14
Applicant: 中国计量科学研究院
IPC: G01B7/00
Abstract: 一种差分电容式一维位置矢量传感器属于长度测量领域，该传感器包括由第一高压极板和第二高压极板组成的高压极板，指零极板，高压极板屏蔽，指零极板屏蔽和屏蔽窗口。高压极板与指零极板的相对位置固定并组成差分电容，屏蔽窗口位于高压极板与指零极板之间且与两极板平行。传感器工作过程中高压极板屏蔽，指零极板屏蔽和屏蔽窗口接地，屏蔽窗口可相对于差分电容极板运动。差分电容的输出仅对平行于差分电容极板这一维度的位置矢量变化敏感且与其呈线性关系，差分电容输出为0的位置为该传感器的零点。该传感器结构简单，具有较强的抗干扰能力，测量分辨力优于0.1μm。
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