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公开(公告)号：CN104019729A
公开(公告)日：2014-09-03
申请号：CN201410281029.1
申请日：2014-06-20
Applicant: 中国计量科学研究院
Abstract: 本发明提供了一种圆锥量规多参数测量装置及方法，属于精密测量技术领域。本测量装置包括激光小角度测量系统、母线直线度测量及定位系统、精密转台(21)、多齿分度台(23)和量规支架(25)；所述多齿分度台(23)固定于精密转台(21)上，所述量规支架(25)固定于多齿分度台(23)的上齿盘上；待测的圆锥量规安装在所述量规支架(25)上。
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公开(公告)号：CN113607290B
公开(公告)日：2022-11-01
申请号：CN202110910784.1
申请日：2021-08-10
Applicant: 中国计量科学研究院
IPC: G01J9/02
Abstract: 本发明公开一种激光波长测量装置及方法包括:标准激光源、被测激光源、谐振平面镜、角锥反射镜、精密位移台、控制系统、解调系统、第一光电探测器、第二光电探测器；标准激光与被测激光平行送入到Fabry‑Perot腔内进行干涉，形成主副测量干涉光束，然后分别被两个光电探测器接收形成主副测量干涉信号，解调模块按照光学游标原理对其进行解调得到光学游标长度，再通过光学游标长度、标准激光波长与被测激光波长的关系，即可计算得到被测激光波长。本发明结构简单，操作方便，能能够实现大范围高精度的波长测量。
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公开(公告)号：CN109916361B
公开(公告)日：2020-12-29
申请号：CN201910158731.1
申请日：2019-03-04
Applicant: 中国计量科学研究院
IPC: G01B21/20
Abstract: 本发明提供的无需角度位置信息的圆度测量信号处理方法及其系统，该方法包括步骤：获取圆度信号；对所述圆度信号进行预处理；基于预处理后的圆度信号，采用傅里叶变换计算其圆度测量信号的周期Tr。该系统包括获取模块，用于获取圆度信号；预处理模块，与所述获取模块相连，用于对所述圆度信号进行预处理；计算模块，与所述预处理模块相连，用于基于预处理后的圆度信号，采用傅里叶变换计算其圆度测量信号的周期Tr。本发明能够准确获得无需角度位置信息的圆度测量信号处理方法，其可以充分减小圆周闭合性问题引入的误差，从而为现场圆度测量精度的提高奠定基础，有利于广泛地推广应用，具有重大的生产实践意义。
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公开(公告)号：CN104019770A
公开(公告)日：2014-09-03
申请号：CN201410281329.X
申请日：2014-06-20
Applicant: 中国计量科学研究院
IPC: G01B11/27
Abstract: 本发明提供了一种圆锥量规母线直线度测量系统及方法，属于精密测量领域。本系统包括激光器(1)、扩束准直镜组(2)、第一柱面透镜(3)、分光镜(4)、第二柱面透镜(5)、长平晶(6)、透镜(7)、CCD相机(8)和量规支架(10)；所述激光器(1)、扩束准直镜组(2)、第一柱面透镜(3)和第二柱面透镜(5)的光轴重合，分光镜(4)的分光面与光轴呈45度，长平晶(6)的工作面与光轴垂直；待测的圆锥量规(9)安装在所述量规支架(10)上；所述透镜(7)和CCD相机(8)依次设置于经分光镜(4)反射后的光路上。
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公开(公告)号：CN113607691B
公开(公告)日：2022-09-27
申请号：CN202110910780.3
申请日：2021-08-10
Applicant: 中国计量科学研究院
Abstract: 本申请公开了基于光学游标珐珀干涉的空气折射率波动测量装置和方法，本装置包括：光源系统、解调系统、光电转换单元、平面镜单元、反射镜单元；光源系统用于产生波长不能的两束原始光束，平面镜单元和反射镜单元用于形成两束干涉光束，光电转换单元用于得到干涉信号，解调系统用于对干涉信号进行解调，计算空气折射率波动；本方法步骤包括：同时产生两束波长不等的原始光束，进而得到两束原始光束对应的干涉光束以及干涉信号，通过判断两个干涉信号是否同时到达干涉峰值，计算空气折射率波动。本装置结构简单，操作方便。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN104913732B
公开(公告)日：2017-11-03
申请号：CN201510313715.7
申请日：2015-06-10
Applicant: 中国计量科学研究院
IPC: G01B11/24
Abstract: 基于复合激光干涉的法线跟踪式非球面测量方法与系统属于表面形貌测量技术领域；本发明包括扫描机构、复合式激光干涉测头和回转工件台三部分，被测非球面放置在回转工件台上，扫描机构采用X向导轨与Z向导轨实现XZ平面内扫描，复合式激光干涉测头通过旋转机构固定在Z向导轨末端，该测头结合单波长干涉与合成波长干涉技术进行测量，可对微小台阶形状进行直接测量同时保证非球面的高精度测量，该测头内部有一个位置传感器来测量被测非球面表面的斜率变化并实时调节旋转机构，使测头与被测非球面表面始终保持垂直，从而保证测头接受到足够的光信号，本发明可以实现大口径、高数值孔径、大曲率及具有小台阶特征的非球面元件表面形状的超精密、快速测量。
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公开(公告)号：CN103389049B
公开(公告)日：2016-03-02
申请号：CN201210141478.7
申请日：2012-05-08
Applicant: 中国计量科学研究院
IPC: G01B11/26
Abstract: 本发明提供了一种机床摇篮式复合转台轴线空间垂直相交的调整与检测方法，属于精密测量领域，特别是机械几何尺寸误差测量领域。本发明方法利用激光对中仪或激光器和二维位置敏感探测器以及光学元件对机床摇篮式复合转台的A轴和B轴的空间垂直相交进行调整与检测。本发明方法利用光学方法取代传统的芯轴检测数控机床A、B轴垂直的方法，完善了机床制造过程中摇篮式工作台两回转轴空间相交的调整与垂直度的检测，提高了检测效率和检测精度。
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公开(公告)号：CN103389049A
公开(公告)日：2013-11-13
申请号：CN201210141478.7
申请日：2012-05-08
Applicant: 中国计量科学研究院
IPC: G01B11/26
Abstract: 本发明提供了一种机床摇篮式复合转台轴线空间垂直相交的调整与检测方法，属于精密测量领域，特别是机械几何尺寸误差测量领域。本发明方法利用激光对中仪或激光器和二维位置敏感探测器以及光学元件对机床摇篮式复合转台的A轴和B轴的空间垂直相交进行调整与检测。本发明方法利用光学方法取代传统的芯轴检测数控机床A、B轴垂直的方法，完善了机床制造过程中摇篮式工作台两回转轴空间相交的调整与垂直度的检测，提高了检测效率和检测精度。
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公开(公告)号：CN113607290A
公开(公告)日：2021-11-05
申请号：CN202110910784.1
申请日：2021-08-10
Applicant: 中国计量科学研究院
IPC: G01J9/02
Abstract: 本发明公开一种激光波长测量装置及方法包括:标准激光源、被测激光源、谐振平面镜、角锥反射镜、精密位移台、控制系统、解调系统、第一光电探测器、第二光电探测器；标准激光与被测激光平行送入到Fabry‑Perot腔内进行干涉，形成主副测量干涉光束，然后分别被两个光电探测器接收形成主副测量干涉信号，解调模块按照光学游标原理对其进行解调得到光学游标长度，再通过光学游标长度、标准激光波长与被测激光波长的关系，即可计算得到被测激光波长。本发明结构简单，操作方便，能能够实现大范围高精度的波长测量。
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公开(公告)号：CN104913733A
公开(公告)日：2015-09-16
申请号：CN201510313751.3
申请日：2015-06-10
Applicant: 中国计量科学研究院
IPC: G01B11/24
Abstract: 基于多波长激光干涉的法线跟踪式非球面测量方法与系统属于表面形貌测量技术领域；本发明包括扫描机构、多波长激光干涉测头和回转工件台三部分，被测非球面放置在回转工件台上，扫描机构采用X向导轨与Z向导轨实现XZ平面内扫描，多波长激光干涉测头通过旋转机构固定在Z向导轨末端，该测头采用多波长干涉技术，可以进行绝对距离测量，实现对台阶形状的直接测量同时保留干涉测量高精度、可溯源的特点；该测头采用位置传感器来测量被测非球面表面的斜率变化并实时调节旋转机构，使测头与被测非球面表面始终保持垂直，从而保证测头接收到足够的光信号；因此，本发明可以实现大口径、高数值孔径、大曲率及具有台阶特征的非球面元件表面形状的超精密、快速测量。
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