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公开(公告)号：CN114034257B
公开(公告)日：2024-12-13
申请号：CN202111515833.8
申请日：2021-12-13
Applicant: 中国计量科学研究院 , 深圳市中图仪器股份有限公司
Abstract: 一种高精度三维螺纹测量机，包括基座、测头和探头驱动机构，探头驱动机构安装在基座的上面，测头安装在探头驱动机构上；在基座的上面装有用于夹持被测件的工作台；测头的检测信号输出端与处理系统连接。该探头驱动机构包括Z轴移动组件、R轴移动组件和旋转组件，Z轴移动组件的底端固定在基座的上面，水平设置的R轴移动组件的一端滑动连接在Z轴移动组件上；在该R轴移动组件上滑动连接测头的顶端；在所述的基座上面安装旋转组件，在该旋转组件的顶端装有所述的工作台。优点是：通过二轴直线运动，高精度转旋轴的旋转，建立圆柱坐标系，能够计算出螺纹的真实圆柱度、大中小径、牙形角及螺旋升角。通过二维扫描测头能够建立三维高精度数学模型。
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公开(公告)号：CN112229338A
公开(公告)日：2021-01-15
申请号：CN202011357762.9
申请日：2020-11-27
Applicant: 中国计量科学研究院
IPC: G01B11/06
Abstract: 一种无标准片对零的双光谱共焦测量厚度方法，包括以下步骤，步骤1：第一传感器、第二传感器分别测量参考面；步骤2：第一传感器、第二传感器分别互测参考面；步骤3：第一传感器、第二传感器分别对待测样品表面进行测量；步骤4：计算待测样品厚度。本发明利用传感器的参考面或绝对零点，实现传感器间距的直接标定，简化了对零过程，避免引入第三方测厚仪器的不确定度；利用光纤分路器可以实现多个传感器光源、光谱仪的共用，在保证测量精度的同时，减小了光学部件的数量；透明参考面保证两个传感器可以同时在同一表面形成可视光斑，便于辅助调节两个传感器的相对位姿，实现同轴或者共线调整。
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公开(公告)号：CN112229338B
公开(公告)日：2022-05-17
申请号：CN202011357762.9
申请日：2020-11-27
Applicant: 中国计量科学研究院
IPC: G01B11/06
Abstract: 一种无标准片对零的双光谱共焦测量厚度方法，包括以下步骤，步骤1：第一传感器、第二传感器分别测量参考面；步骤2：第一传感器、第二传感器分别互测参考面；步骤3：第一传感器、第二传感器分别对待测样品表面进行测量；步骤4：计算待测样品厚度。本发明利用传感器的参考面或绝对零点，实现传感器间距的直接标定，简化了对零过程，避免引入第三方测厚仪器的不确定度；利用光纤分路器可以实现多个传感器光源、光谱仪的共用，在保证测量精度的同时，减小了光学部件的数量；透明参考面保证两个传感器可以同时在同一表面形成可视光斑，便于辅助调节两个传感器的相对位姿，实现同轴或者共线调整。
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公开(公告)号：CN110926397B
公开(公告)日：2021-06-04
申请号：CN201911355038.X
申请日：2019-12-25
Applicant: 中国计量科学研究院
Abstract: 一种共焦测厚中双传感器位姿的透明圆孔标定方法，包括以下步骤：装夹圆孔薄膜；拟合圆孔薄膜上下表面圆孔；调整上下传感器垂直于工作面；拟合圆孔薄膜上下表面圆孔圆心；调整上下传感器共轴对准；完成上下传感器位姿标定。一种共焦测厚中双传感器位姿的透明圆孔标定方法，利用透明圆孔薄膜的圆孔特征在实现上下传感器对准的同时，实现上下传感器同轴度评定，调整上下传感器共轴；利用透明圆孔薄膜的透明性，保证上下传感器测量同一点，完成传感器间距标定，避免引入第三方测厚仪器的不确定度；透明圆孔薄膜集上下传感器同轴调整、对准和间距标定功能于一体，使得共焦测厚中上下传感器的位姿标定更方便、更高效。
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公开(公告)号：CN107144296A
公开(公告)日：2017-09-08
申请号：CN201710403131.8
申请日：2017-06-01
Applicant: 中国计量科学研究院
IPC: G01C25/00
CPC classification number: G01C25/00
Abstract: 本发明涉及一种基于高度尺测量的静力水准仪校准装置，属于仪器仪表领域。包括储水槽（1），储水槽（3），连通储水槽（1）和储水槽（3）的工作液体连接管（2），高度尺（4），静力水准仪（5），平台（6），连通储水槽（3）和静力水准仪（5）的工作液体连接管（7），读数显微镜（8），水泵（9）等。通过各个部件间的相互配合，实现对静力水准仪的校准。本发明结构简单，精度高，能够满足静力水准仪的标定和校准。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN119394279B
公开(公告)日：2025-04-01
申请号：CN202411969686.5
申请日：2024-12-30
Applicant: 中国计量科学研究院
Abstract: 本发明公开了一种绝对水平准线测量装置及测量方法，所述测量装置包括相干光源，非相干光源，分束器，平行光管，水平液面标准器，直角棱镜和CCD光电探测器，相干光源和非相干光源通过二合一光纤耦合器与平行光管的输入端连接，平行光管的下方设置有二维可调底座，平行光管的光路输出端与分束器的光路输入端连接，分束器的第一光路输出端与直角棱镜的输入端连接，分束器的第二光路输出端与水平液面标准器连接，直角棱镜的输出端依次通过消色差透镜和平凸透镜后与CCD光电探测器的检测输入端连接。本发明将红外非相干激光作为准直探测激光与绝对水平准线共光路，对绝对水平准线的位置进行调整得到可溯源至光波长的绝对水平准线。
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公开(公告)号：CN113091662B
公开(公告)日：2022-05-06
申请号：CN202110360040.7
申请日：2021-04-02
Applicant: 中国计量科学研究院
IPC: G01B15/02
Abstract: 本发明属于现代表面工程领域，提供了一种自支撑多材料镀层膜厚标准套件及制备方法。所述方法通过在若干平面基体的表面分别镀制一种不同靶材的膜层，制备出多种靶材膜层的膜厚标准块，在使用时，把至少一种以上膜厚标准块和金属基体按照预定顺序组合在一起，形成单层或多层膜厚标准套件。本发明与制备单基体多膜层膜厚标准装置块和方法相比，膜层是一个自支撑结构体，与基体相互独立，且便于膜厚层标准块与金属基体可维持自支撑自由组合成多材料多厚度的膜厚标准套件块(片)，减少了镀层膜厚标准块的制备种类和数量，降低了成本，降低了制备难度，使用更加便捷，应用面更广。
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公开(公告)号：CN114034257A
公开(公告)日：2022-02-11
申请号：CN202111515833.8
申请日：2021-12-13
Applicant: 中国计量科学研究院 , 深圳市中图仪器股份有限公司
Abstract: 一种高精度三维螺纹测量机，包括基座、测头和探头驱动机构，探头驱动机构安装在基座的上面，测头安装在探头驱动机构上；在基座的上面装有用于夹持被测件的工作台；测头的检测信号输出端与处理系统连接。该探头驱动机构包括Z轴移动组件、R轴移动组件和旋转组件，Z轴移动组件的底端固定在基座的上面，水平设置的R轴移动组件的一端滑动连接在Z轴移动组件上；在该R轴移动组件上滑动连接测头的顶端；在所述的基座上面安装旋转组件，在该旋转组件的顶端装有所述的工作台。优点是：通过二轴直线运动，高精度转旋轴的旋转，建立圆柱坐标系，能够计算出螺纹的真实圆柱度、大中小径、牙形角及螺旋升角。通过二维扫描测头能够建立三维高精度数学模型。
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公开(公告)号：CN113091662A
公开(公告)日：2021-07-09
申请号：CN202110360040.7
申请日：2021-04-02
Applicant: 中国计量科学研究院
IPC: G01B15/02
Abstract: 本发明属于现代表面工程领域，提供了一种自支撑多材料镀层膜厚标准套件及制备方法。所述方法通过在若干平面基体的表面分别镀制一种不同靶材的膜层，制备出多种靶材膜层的膜厚标准块，在使用时，把至少一种以上膜厚标准块和金属基体按照预定顺序组合在一起，形成单层或多层膜厚标准套件。本发明与制备单基体多膜层膜厚标准装置块和方法相比，膜层是一个自支撑结构体，与基体相互独立，且便于膜厚层标准块与金属基体可维持自支撑自由组合成多材料多厚度的膜厚标准套件块(片)，减少了镀层膜厚标准块的制备种类和数量，降低了成本，降低了制备难度，使用更加便捷，应用面更广。
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公开(公告)号：CN119394279A
公开(公告)日：2025-02-07
申请号：CN202411969686.5
申请日：2024-12-30
Applicant: 中国计量科学研究院
Abstract: 本发明公开了一种绝对水平准线测量装置及测量方法，所述测量装置包括相干光源，非相干光源，分束器，平行光管，水平液面标准器，直角棱镜和CCD光电探测器，相干光源和非相干光源通过二合一光纤耦合器与平行光管的输入端连接，平行光管的下方设置有二维可调底座，平行光管的光路输出端与分束器的光路输入端连接，分束器的第一光路输出端与直角棱镜的输入端连接，分束器的第二光路输出端与水平液面标准器连接，直角棱镜的输出端依次通过消色差透镜和平凸透镜后与CCD光电探测器的检测输入端连接。本发明将红外非相干激光作为准直探测激光与绝对水平准线共光路，对绝对水平准线的位置进行调整得到可溯源至光波长的绝对水平准线。
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