金属被膜的成膜装置和成膜方法

    公开(公告)号:CN114262925A

    公开(公告)日:2022-04-01

    申请号:CN202110856960.8

    申请日:2021-07-28

    Abstract: 本发明提供能够以均匀的膜厚形成金属被膜的金属被膜的成膜装置和成膜方法。本发明的金属被膜的成膜装置,具备阳极、设置于上述阳极与成为阴极的基材之间的固体电解质膜、对上述阳极与上述阴极之间施加电压的电源部、在上述阳极与上述固体电解质膜之间收纳包含金属离子的溶液的溶液收纳部、以及通过上述溶液的液压将上述固体电解质膜向上述阴极侧加压的加压部,利用上述固体电解质膜对上述基材的表面加压,并且通过施加上述电压而使上述固体电解质膜的内部所含有的上述金属离子析出,由此在上述基材的表面形成金属被膜,其特征在于,还具备以包围上述阳极的外周面的方式设置的遮蔽电力线的遮蔽部件。

    金属被膜的成膜装置和成膜方法

    公开(公告)号:CN114540927A

    公开(公告)日:2022-05-27

    申请号:CN202111374943.7

    申请日:2021-11-18

    Abstract: 提供能够以均匀的膜厚形成金属被膜的金属被膜的成膜装置和成膜方法。本发明的金属被膜的成膜装置,其特征在于,具备:阳极;设置于所述阳极与成为阴极的基材之间的固体电解质膜;向所述阳极和所述阴极之间施加电压的电源部;在所述阳极与所述固体电解质膜之间收纳包含金属离子的溶液的溶液收纳部;和利用所述溶液的液压将所述固体电解质膜向所述阴极侧加压的加压部,一边由所述固体电解质膜对所述基材的表面的成膜区域进行加压,一边通过施加所述电压而使在所述固体电解质膜的内部含有的所述金属离子析出,由此在所述成膜区域形成金属被膜,所述成膜装置还具备辅助阴极,所述辅助阴极设置于俯视所述基材的表面的情况下的所述成膜区域的周围,且电位比所述阳极低。

    金属被膜的成膜装置
    3.
    发明公开

    公开(公告)号:CN118207608A

    公开(公告)日:2024-06-18

    申请号:CN202311339484.8

    申请日:2023-10-17

    Abstract: 提供一种能够均匀地形成金属被膜,并且能够使装置小型化的金属被膜的成膜装置。一种金属被膜的成膜装置,具备由不溶性多孔质体构成的阳极、配置在阳极与成为阴极的基材之间的电解质膜、以及设有在阳极与电解质膜之间收纳含有金属离子的镀液的收纳室的壳体。成膜装置还具备以覆盖阳极的阴极侧并与阳极的阴极侧接触的方式安装的隔膜。隔膜使水和氢离子透过但不使氧气透过。阳极以堵塞收纳壳体的阴极侧相反侧的开口部的方式安装,以使得阴极侧经由隔膜在收纳室露出,并且阴极侧相反侧在收纳壳体的外部露出。

    掩模件、使用该掩模件的金属被膜的成膜装置和成膜方法

    公开(公告)号:CN117926369A

    公开(公告)日:2024-04-26

    申请号:CN202311379971.7

    申请日:2023-10-24

    Abstract: 提供一种能够形成矩形截面形状的金属被膜(F)的掩模件。掩模件(60)是用于在由电解质膜(13)按压的状态下,通过电解镀在基材(B)的表面形成预定图案的金属被膜(F)的掩模件(60)。在掩模件(60)形成有与预定图案对应的贯通部分(68)。掩模件(60)之中至少与基材(B)接触的掩模部分(65)由弹性材料构成。贯通部分(68)具有扩宽部分(68a),扩宽部分(68a)随着从与基材(B)接触的部分(68c)沿掩模部分(65)的厚度方向前进而向外侧扩宽,以使得在掩模部分(65)因电解质膜(13)的按压力而发生了弹性变形的状态下,贯通部分(68)的用于形成金属被膜(F)的形成空间(S)的截面形状成为矩形。

    金属被膜的成膜装置和成膜方法

    公开(公告)号:CN114262925B

    公开(公告)日:2024-04-16

    申请号:CN202110856960.8

    申请日:2021-07-28

    Abstract: 本发明提供能够以均匀的膜厚形成金属被膜的金属被膜的成膜装置和成膜方法。本发明的金属被膜的成膜装置,具备阳极、设置于上述阳极与成为阴极的基材之间的固体电解质膜、对上述阳极与上述阴极之间施加电压的电源部、在上述阳极与上述固体电解质膜之间收纳包含金属离子的溶液的溶液收纳部、以及通过上述溶液的液压将上述固体电解质膜向上述阴极侧加压的加压部,利用上述固体电解质膜对上述基材的表面加压,并且通过施加上述电压而使上述固体电解质膜的内部所含有的上述金属离子析出,由此在上述基材的表面形成金属被膜,其特征在于,还具备以包围上述阳极的外周面的方式设置的遮蔽电力线的遮蔽部件。

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