一种滤波器及其制备方法
    2.
    发明公开

    公开(公告)号:CN118226636A

    公开(公告)日:2024-06-21

    申请号:CN202211634460.0

    申请日:2022-12-19

    Abstract: 本发明实施例提供了一种滤波器及其制备方法,滤波器包括基板、盖板、MEMS执行器、第一微镜和第二微镜。MEMS执行器包括第一弹性框架和第二弹性框架,第一微镜设置在第二弹性框架上;第二微镜设置在基板上或第二微镜设置在盖板上,第一微镜和第二微镜之间形成FP腔体;第一弹性框架配置为在第一电容被施加第一电压时,第一弹性框架沿垂直方向发生形变,带动第二弹性框架及第一微镜靠近或远离第二微镜;第二弹性框架配置为在第二电容被施加第二电压时,第二弹性框架沿相同方向发生形变,带动第一微镜靠近或远离第二微镜。本申请的滤波器通过将第一弹性框架和第二弹性框架组合,形成级联式调节框架,扩大了滤波器的自由光谱范围。

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