投影曝光系统及其控制方法
    3.
    发明公开

    公开(公告)号:CN114755894A

    公开(公告)日:2022-07-15

    申请号:CN202210289127.4

    申请日:2022-03-22

    Abstract: 本申请提供了一种投影曝光系统及其控制方法,投影曝光系统包括:沿第一方向依次设置的光源、液晶开关面板、液晶相位延迟器和相位延迟波片;液晶开关面板包括多个阵列排布的液晶微区开关,用于将光束转换为第一线偏振光,并控制第一线偏振光是否通过进行控制;液晶相位延迟器用于将第一线偏振光的垂直分量和平行分量产生各自的相位延迟,使得垂直分量和平行分量具有设计相位差;相位延迟波片用于将液晶相位延迟器输出的光产生相位延迟,得到并输出第二线偏振光,第二线偏振光的方位角与设计相位差存在对应关系。采用本申请,无需昂贵的掩膜费用,可大面积、高效率、高精度实现液晶取向微区控制,具有低成本、可实时控制调谐等优势。

    一种滤波器及其制备方法
    6.
    发明公开

    公开(公告)号:CN118226636A

    公开(公告)日:2024-06-21

    申请号:CN202211634460.0

    申请日:2022-12-19

    Abstract: 本发明实施例提供了一种滤波器及其制备方法,滤波器包括基板、盖板、MEMS执行器、第一微镜和第二微镜。MEMS执行器包括第一弹性框架和第二弹性框架,第一微镜设置在第二弹性框架上;第二微镜设置在基板上或第二微镜设置在盖板上,第一微镜和第二微镜之间形成FP腔体;第一弹性框架配置为在第一电容被施加第一电压时,第一弹性框架沿垂直方向发生形变,带动第二弹性框架及第一微镜靠近或远离第二微镜;第二弹性框架配置为在第二电容被施加第二电压时,第二弹性框架沿相同方向发生形变,带动第一微镜靠近或远离第二微镜。本申请的滤波器通过将第一弹性框架和第二弹性框架组合,形成级联式调节框架,扩大了滤波器的自由光谱范围。

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