公开(公告)号：CN104040691B

公开(公告)日：2016-09-07

申请号：CN201280066626.1

申请日：2012-09-24

Applicant: 佳能安内华股份有限公司

Inventor： 真下香 ,  柴垣真果

IPC: H01L21/26 ,  H01L21/683

CPC classification number: H05B3/0038 ,  C23C16/4585 ,  H01L21/67109 ,  H01L21/67115 ,  H01L21/67751 ,  H01L21/68742 ,  H01L21/68764 ,  H01L21/68785 ,  H05B3/0047 ,  H05B3/009

Abstract: 一种基板热处理装置，其在真空处理室内加热处理基板，具有：C字形的基座，设置有能够载置基板的第一基板载置部和开口部；基板平台，设置有载置基板的第二基板载置部和支承基座的基座支承部；加热构件，在基板平台的上方且在与第二基板载置部相向的位置具有散热面，利用来自散热面的热量加热被载置在第二基板载置部上的基板；移动构件，以使第二基板载置部相对于散热面成为规定的分离位置的方式使基板平台移动；提升部，在基板接受位置与基座的下表面抵接并在从基座支承部分离的状态下支承该基座；补足部，与基座支承部分体地形成，并且被卡合于该基座支承部，在基座被所述基座支承部支承的状态下，以基座成为环状的方式补足基座的开口部。基板被载置在第二基板载置部，当第二基板载置部相对于散热面位于规定的分离位置时，基座与补足部一起形成环状，并包围基板。

公开(公告)号：CN101847573A

公开(公告)日：2010-09-29

申请号：CN201010149881.5

申请日：2010-03-26

Applicant: 佳能安内华股份有限公司

Inventor： 柴垣真果 ,  真下香 ,  土井浩志

IPC: H01L21/00 ,  H01L21/324

CPC classification number: H01L21/67248 ,  H01L21/046 ,  H01L21/67103

Abstract: 一种加热设备的温度控制方法，该加热设备包括能够被抽真空并且具有导电部分的腔室、被定位在所述腔室中的灯丝、向所述灯丝提供电流的第一电源、向所述灯丝施加用于向所述腔室加速的电压的第二电源、测量灯丝的电流的电流计、以及测量加速电压的电压计，所述方法包括：第一步骤，将所述腔室的内部抽真空；第二步骤，在第一步骤之后，从第一电源向所述灯丝提供灯丝电流；第三步骤，在第二步骤之后，向所述灯丝施加加速电压；以及第四步骤，在第三步骤之后，在将来自第一电源的所述灯丝电流保持恒定的同时，控制所述加速电压以将所述腔室的表面温度保持为低于所述灯丝的温度。

公开(公告)号：CN104040691A

公开(公告)日：2014-09-10

申请号：CN201280066626.1

申请日：2012-09-24

Applicant: 佳能安内华股份有限公司

Inventor： 真下香 ,  柴垣真果

IPC: H01L21/26 ,  H01L21/683

CPC classification number: H05B3/0038 ,  C23C16/4585 ,  H01L21/67109 ,  H01L21/67115 ,  H01L21/67751 ,  H01L21/68742 ,  H01L21/68764 ,  H01L21/68785 ,  H05B3/0047 ,  H05B3/009

Abstract: 一种基板热处理装置，其在真空处理室内加热处理基板，具有：C字形的基座，设置有能够载置基板的第一基板载置部和开口部；基板平台，设置有载置基板的第二基板载置部和支承基座的基座支承部；加热构件，在基板平台的上方且在与第二基板载置部相向的位置具有散热面，利用来自散热面的热量加热被载置在第二基板载置部上的基板；移动构件，以使第二基板载置部相对于散热面成为规定的分离位置的方式使基板平台移动；提升部，在基板接受位置与基座的下表面抵接并在从基座支承部分离的状态下支承该基座；补足部，与基座支承部分体地形成，并且被卡合于该基座支承部，在基座被所述基座支承部支承的状态下，以基座成为环状的方式补足基座的开口部。基板被载置在第二基板载置部，当第二基板载置部相对于散热面位于规定的分离位置时，基座与补足部一起形成环状，并包围基板。

公开(公告)号：CN101847573B

公开(公告)日：2011-12-14

申请号：CN201010149881.5

申请日：2010-03-26

Applicant: 佳能安内华股份有限公司

Inventor： 柴垣真果 ,  真下香 ,  土井浩志

IPC: H01L21/00 ,  H01L21/324

CPC classification number: H01L21/67248 ,  H01L21/046 ,  H01L21/67103

Abstract: 一种加热设备的温度控制方法，该加热设备包括能够被抽真空并且具有导电部分的腔室、被定位在所述腔室中的灯丝、向所述灯丝提供电流的第一电源、向所述灯丝施加用于向所述腔室加速的电压的第二电源、测量灯丝的电流的电流计、以及测量加速电压的电压计，所述方法包括：第一步骤，将所述腔室的内部抽真空；第二步骤，在第一步骤之后，从第一电源向所述灯丝提供灯丝电流；第三步骤，在第二步骤之后，向所述灯丝施加加速电压；以及第四步骤，在第三步骤之后，在将来自第一电源的所述灯丝电流保持恒定的同时，控制所述加速电压以将所述腔室的表面温度保持为低于所述灯丝的温度。