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公开(公告)号：CN104040691B
公开(公告)日：2016-09-07
申请号：CN201280066626.1
申请日：2012-09-24
Applicant: 佳能安内华股份有限公司
IPC: H01L21/26 , H01L21/683
CPC classification number: H05B3/0038 , C23C16/4585 , H01L21/67109 , H01L21/67115 , H01L21/67751 , H01L21/68742 , H01L21/68764 , H01L21/68785 , H05B3/0047 , H05B3/009
Abstract: 一种基板热处理装置，其在真空处理室内加热处理基板，具有：C字形的基座，设置有能够载置基板的第一基板载置部和开口部；基板平台，设置有载置基板的第二基板载置部和支承基座的基座支承部；加热构件，在基板平台的上方且在与第二基板载置部相向的位置具有散热面，利用来自散热面的热量加热被载置在第二基板载置部上的基板；移动构件，以使第二基板载置部相对于散热面成为规定的分离位置的方式使基板平台移动；提升部，在基板接受位置与基座的下表面抵接并在从基座支承部分离的状态下支承该基座；补足部，与基座支承部分体地形成，并且被卡合于该基座支承部，在基座被所述基座支承部支承的状态下，以基座成为环状的方式补足基座的开口部。基板被载置在第二基板载置部，当第二基板载置部相对于散热面位于规定的分离位置时，基座与补足部一起形成环状，并包围基板。
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公开(公告)号：CN101248704B
公开(公告)日：2011-10-26
申请号：CN200680015807.6
申请日：2006-05-08
Applicant: 贝卡尔特股份有限公司
CPC classification number: G02B5/0858 , H05B3/009
Abstract: 本发明涉及一种用于红外辐射元件的反射器。该反射器包括金属箔，该金属箔上覆盖有：沉积在该金属箔上的第一氧化物层；沉积在所述第一氧化物层上的红外反射金属层；以及沉积在所述红外反射层上的第二氧化物层。第一氧化物层用作扩散阻挡层并阻止红外反射层的金属的扩散到基板中。第二氧化物层用作红外反射层的保护层，给予该红外反射层所需的热稳定性。
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公开(公告)号：CN1960584B
公开(公告)日：2010-12-01
申请号：CN200610163546.4
申请日：2006-10-27
Applicant: 松下电器产业株式会社
Abstract: 本发明的目的在于提供一种小型高效、寿命长、能够容易适应各种用途的通用性高的发热组件和利用该发热组件的加热装置。在该发热组件中，将第1玻璃管通过利用第2玻璃管和罩和隔离件而与污染物隔开，从而保护第1玻璃管。另外，在第1玻璃管和第2玻璃管之间的间隙上还可设有反射片，也可以通过罩来密封具有反射片的空隙。在加热装置中，采用上述的发热组件作为热源。
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公开(公告)号：CN101409962A
公开(公告)日：2009-04-15
申请号：CN200710123809.3
申请日：2007-10-10
Applicant: 清华大学 , 鸿富锦精密工业(深圳)有限公司
CPC classification number: H05B3/10 , B82Y99/00 , H01J1/90 , H01J29/20 , H01J29/30 , H01K1/06 , H01K1/14 , H05B3/00 , H05B3/009 , H05B3/26 , H05B3/54 , H05B2203/011 , H05B2203/017 , H05B2203/032 , H05B2214/04 , Y10S977/95
Abstract: 本发明涉及一种面热光源，该面热光源包括一第一电极、一第二电极和一碳纳米管薄膜。该第一电极和第二电极设置于该碳纳米管薄膜上，该第一电极和第二电极之间相隔一定的距离，并与该碳纳米管薄膜表面电接触。该碳纳米管薄膜中碳纳米管为各向同性或沿一个固定方向取向或不同方向取向排列。本发明还涉及一种面热光源的制备方法，包括以下步骤：提供一碳纳米管阵列形成于一基底；提供一施压装置，挤压上述碳纳米管阵列获得一碳纳米管薄膜；提供一第一电极和一第二电极，将上述第一电极和第二电极间隔地设置在上述碳纳米管薄膜的表面上，并与该碳纳米管薄膜表面形成一电接触，从而得到一面热光源。
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公开(公告)号：CN101142853A
公开(公告)日：2008-03-12
申请号：CN200580049118.2
申请日：2005-12-30
Applicant: 高盛股份有限公司
Inventor： 赵钟衍
IPC: H05B3/14
Abstract: 本发明一种碳素纤维(以下简称“碳纤”)管的制造方法，该碳纤管是空心和网状的，通过编织碳纤和普通纤维，涂覆碳素或陶瓷，加热燃烧普通纤维，并使用一个使用碳纤管的碳纤加热灯的方法制造。加热灯包括一个真空玻璃管，一个管状碳纤管(30)，碳素管使用碳纤(6)和普通纤维作原料，并有一个空心部位，以及一个加热原件。加热原件包括空心管状碳纤管(30)，它有一个预定长度并安装在真空玻璃管内，通过真空玻璃管外侧部位上的两个端部从内部供电以产生热量。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN1960584A
公开(公告)日：2007-05-09
申请号：CN200610163546.4
申请日：2006-10-27
Applicant: 松下电器产业株式会社
Abstract: 本发明的目的在于提供一种小型高效、寿命长、能够容易适应各种用途的通用性高的发热组件和利用该发热组件的加热装置。在该发热组件中，将第1玻璃管通过利用第2玻璃管和罩和隔离件而与污染物隔开，从而保护第1玻璃管。另外，在第1玻璃管和第2玻璃管之间的间隙上还可设有反射片，也可以通过罩来密封具有反射片的空隙。在加热装置中，采用上述的发热组件作为热源。
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公开(公告)号：CN1615051A
公开(公告)日：2005-05-11
申请号：CN200410090552.2
申请日：2004-11-08
Applicant: 松下电器产业株式会社
Inventor： 小西政则
Abstract: 本发明提供一种红外射线灯及采用该红外射线灯的加热装置、一种加热元件制造方法及红外射线灯制造方法，其中红外射线灯的纵向的辐射范围要么比加热元件的长度宽并且能均匀加热，要么比加热元件的长度窄而且为进行局部加热增大了辐射强度。本发明的红外射线灯含有：沿纵向伸展的弯曲形状的玻璃管，其二端处沿该处纵向的切线的夹角为2度或以上；以及密封在该玻璃管里的单个或多个加热元件，它们有顺玻璃管弯曲的易弯性。
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公开(公告)号：CN108886838A
公开(公告)日：2018-11-23
申请号：CN201780020429.9
申请日：2017-03-02
Applicant: 贺利氏特种光源有限公司
CPC classification number: H05B3/009 , F27B9/063 , F27D11/00 , H05B3/0038 , H05B3/265 , H05B3/66 , H05B2203/002 , H05B2203/013 , H05B2203/032
Abstract: 已知的红外线加热单元包括加热炉，加热炉具有容纳处理室的壳体和加热装置，其中，处理室至少部分地被石英玻璃制成的炉衬界定。为了基于此提供一种红外线加热单元，其实现高能效地且均匀地以红外辐射将加热物品加热到600℃以上的温度，本发明提出，加热装置由至少一个加热基底形成，加热基底具有与导体条带相接触的接触表面，导体条带由导电的并且在电流通过时产生热的电阻材料制成，其中，加热基底由掺杂石英玻璃制成，在掺杂石英玻璃中嵌入有在红外光谱范围中进行吸收的附加成分，并且加热基底形成炉衬的至少一部分。
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公开(公告)号：CN101517699B
公开(公告)日：2010-09-29
申请号：CN200780035674.3
申请日：2007-09-21
Applicant: 哈利盛东芝照明公司
CPC classification number: H05B3/009 , H01J5/38 , H01J5/46 , H01K1/14 , H01K1/24 , H01K1/38 , H01K1/40 , H01K1/44 , H01K1/46 , H01K3/26
Abstract: 本发明提供一种卤素灯(100)，具有：玻璃制的灯管(11)、插入该灯管的内部的灯丝(12)、一对金属箔(151、152)、一对外导线(161、162)。各金属箔的一端与所述灯丝焊接，其另一端与所述外导线焊接。所述金属箔收容在玻璃制的套筒中之后，与该套筒一起插入所属灯管的内部。其后，所述灯管被加热直至其软化，因其内部被减压而收缩，将所述金属箔密封在内部。所形成的密封部与所述灯管的其他部分相比，多了与所述套筒相应的玻璃量，因此该密封部的形状被稳定化。
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公开(公告)号：CN101142853B
公开(公告)日：2010-05-26
申请号：CN200580049118.2
申请日：2005-12-30
Applicant: 高盛股份有限公司
Inventor： 赵钟衍
IPC: H05B3/14
Abstract: 本发明一种碳素纤维(以下简称“碳纤”)管的制造方法，该碳纤管是空心和网状的，通过编织碳纤(6)和棉纤，或者碳纤(6)和化纤，涂覆碳素或陶瓷，加热燃烧棉纤或者化纤，并使用一个使用碳纤管的碳纤加热灯的方法制造。加热灯包括一个真空玻璃管，一个管状碳纤管(30)，碳素管使用碳纤(6)和棉纤，或者碳纤(6)和化纤作原料，并有一个空心部位，以及一个加热原件。加热原件包括空心管状碳纤管(30)，它有一个预定长度并安装在真空玻璃管内，通过真空玻璃管外侧部位上的两个端部从内部供电以产生热量。
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