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公开(公告)号：CN1132962C
公开(公告)日：2003-12-31
申请号：CN99125440.6
申请日：1999-10-18
Applicant: 佳能株式会社
IPC: C23C16/513 , H01L21/205
CPC classification number: H01J37/32082 , C23C16/24 , C23C16/509 , C23C16/511 , C23C16/545 , H01J37/32532
Abstract: 淀积膜形成系统具有：至少一个真空容器；向真空容器输送膜形成用原料气体的装置；使原料气体成为等离子体的放电电极；以及供电导体，将高频功率施加至放电电极，该系统包括：接地屏蔽，在真空容器内围绕供电导体设置；和多个电介质材料部件，它们的至少部分设置在供电导体和接地屏蔽之间。还公开了采用这种淀积膜形成系统的方法。可以长时间地维持大面积均匀放电，并且可以在连续移动的带状基片上形成非常均匀的高质量淀积膜。
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公开(公告)号：CN1273377C
公开(公告)日：2006-09-06
申请号：CN200410035253.9
申请日：2004-03-26
Applicant: 佳能株式会社
IPC: C01B31/02
CPC classification number: B82Y30/00 , B82Y40/00 , C01B32/152 , C01B32/162 , C01B32/25 , C01B2202/02 , C01B2202/36 , Y02P20/544
Abstract: 本发明涉及纳米碳材料的廉价制备方法，该方法是通过将选自由链状饱和烃、链状不饱和烃、环状饱和烃、芳香族烃、醇、醚组成的组中的一种以上的原料，与选自由甲醇、乙醇、丙酮、乙醛、环氧乙烷、乙二醇、甲醛、水、过氧化氢、氧、一氧化氮组成的组中的一种以上的含氧化合物进行混合，在300～800℃的温度范围内，而且在2MPa～60MPa的压力下，与超临界流体或亚临界流体共存。由此制备以碳纳米管、金刚石、富勒烯为代表的纳米碳材料。
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公开(公告)号：CN1429767A
公开(公告)日：2003-07-16
申请号：CN02154271.6
申请日：2002-10-04
Applicant: 佳能株式会社
CPC classification number: B82Y30/00 , B01J3/008 , B82Y40/00 , C01B32/162 , D01F9/1276 , F17C11/005 , Y02C10/08 , Y02E60/321 , Y02P20/544 , Y10S977/90
Abstract: 纳米碳材料的制备方法，其特征是所述方法包括在含有过渡金属元素的催化剂存在下，在350－800℃温度和3－50MPa压力下，将含有芳族化合物的原材料与超临界流体或亚临界流体接触的步骤(a)。所述超临界流体或所述亚临界流体由选自作为所述原材料的芳族化合物、所述芳族化合物用溶剂、所述催化剂用溶剂、水、一氧化二氮和氨的一种或多种材料形成。
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公开(公告)号：CN1255554A
公开(公告)日：2000-06-07
申请号：CN99125440.6
申请日：1999-10-18
Applicant: 佳能株式会社
IPC: C23C16/513 , H01L21/205
CPC classification number: H01J37/32082 , C23C16/24 , C23C16/509 , C23C16/511 , C23C16/545 , H01J37/32532
Abstract: 淀积膜形成系统具有:至少一个真空容器;向真空容器输送膜形成用原料气体的装置;使原料气体成为等离子体的放电电极;以及供电导体,将高频功率施加至放电电极,该系统包括:接地屏蔽,在真空容器内围绕供电导体设置;和多个电介质材料部件,它们的至少部分设置在供电导体和接地屏蔽之间。还公开了采用这种淀积膜形成系统的方法。可以长时间地维持大面积均匀放电,并且可以在连续移动的带状基片上形成非常均匀的高质量淀积膜。
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公开(公告)号：CN1305759C
公开(公告)日：2007-03-21
申请号：CN02154271.6
申请日：2002-10-04
Applicant: 佳能株式会社
CPC classification number: B82Y30/00 , B01J3/008 , B82Y40/00 , C01B32/162 , D01F9/1276 , F17C11/005 , Y02C10/08 , Y02E60/321 , Y02P20/544 , Y10S977/90
Abstract: 纳米碳材料的制备方法，其特征是所述方法包括在含有过渡金属元素的催化剂存在下，在350-800℃温度和3-50MPa压力下，将含有芳族化合物的原材料与超临界流体或亚临界流体接触的步骤(a)。所述超临界流体或所述亚临界流体由选自作为所述原材料的芳族化合物、所述芳族化合物用溶剂、所述催化剂用溶剂、水、一氧化二氮和氨的一种或多种材料形成。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN1572723A
公开(公告)日：2005-02-02
申请号：CN200410055087.9
申请日：2004-01-21
Applicant: 佳能株式会社
CPC classification number: B82Y30/00 , B01J3/006 , B01J3/008 , B01J2219/00063 , B01J2219/00065 , B01J2219/00162 , B01J2219/00164 , B82Y40/00 , C01B32/162 , C01B2202/06 , Y02P20/544 , Y10S977/842
Abstract: 一种制造纳米碳材料的方法，具有在0.2－60MPa范围内的压力压缩的同时，将包括一种或多种选自饱和烃、不饱和烃、饱和环烃和碳氧原子比超过2.0的醇中的化合物的原料和催化剂在100－800℃温度范围内一起处理的步骤，此时所述原料转变成超临界流体或亚临界流体，并且所述超临界流体或所述亚临界流体与所述催化剂接触，或具有在0.2－60MPa范围内的压力压缩的同时，将所述原料、所述催化剂和能作为反应促进介质的辅料在100－800℃温度范围内一起处理的步骤，此时至少所述辅料转变成超临界流体或亚临界流体，并且所述原料在与所述催化剂接触的同时，与由所述辅料形成的所述超临界流体或所述亚临界流体接触。
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公开(公告)号：CN1532144A
公开(公告)日：2004-09-29
申请号：CN200410035253.9
申请日：2004-03-26
Applicant: 佳能株式会社
IPC: C01B31/02
CPC classification number: B82Y30/00 , B82Y40/00 , C01B32/152 , C01B32/162 , C01B32/25 , C01B2202/02 , C01B2202/36 , Y02P20/544
Abstract: 本发明涉及纳米碳材料的廉价制备方法，该方法是通过将选自由链状饱和烃、链状不饱和烃、环状饱和烃、芳香族烃、醇、醚组成的组中的一种以上的原料，与选自由甲醇、乙醇、丙酮、乙醛、环氧乙烷、乙二醇、甲醛、水、过氧化氢、氧、一氧化氮组成的组中的一种以上的含氧化合物进行混合，在300℃～800℃的温度范围内，而且在2MPa～60MPa的压力下，与超临界流体或亚临界流体共存。由此制备以碳纳米管、金刚石、富勒烯为代表的纳米碳材料。
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公开(公告)号：CN100473601C
公开(公告)日：2009-04-01
申请号：CN200410055087.9
申请日：2004-01-21
Applicant: 佳能株式会社
CPC classification number: B82Y30/00 , B01J3/006 , B01J3/008 , B01J2219/00063 , B01J2219/00065 , B01J2219/00162 , B01J2219/00164 , B82Y40/00 , C01B32/162 , C01B2202/06 , Y02P20/544 , Y10S977/842
Abstract: 一种制造纳米碳材料的方法，具有在0.2-60MPa范围内的压力压缩的同时，将包括一种或多种选自饱和烃、不饱和烃、饱和环烃和碳氧原子比超过2.0的醇中的化合物的原料和催化剂在100-800℃温度范围内一起处理的步骤，此时所述原料转变成超临界流体或亚临界流体，并且所述超临界流体或所述亚临界流体与所述催化剂接触，或具有在0.2-60MPa范围内的压力压缩的同时，将所述原料、所述催化剂和能作为反应促进介质的的辅料在100-800℃温度范围内一起处理的步骤，此时至少所述辅料转变成超临界流体或亚临界流体，并且所述原料在与所述催化剂接触的同时，与由所述辅料形成的所述超临界流体或所述亚临界流体接触。
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公开(公告)号：CN1246217C
公开(公告)日：2006-03-22
申请号：CN02158446.X
申请日：2002-10-08
Applicant: 佳能株式会社
CPC classification number: B82Y30/00 , B01J3/008 , B01J2219/00065 , B01J2219/00087 , B01J2219/0027 , B01J2219/0277 , B01J2219/0286 , B82Y40/00 , C01B32/15 , C01B32/152 , Y02P20/544 , Y10S977/842
Abstract: 本发明提供用简单的制备工序和廉价的装置大量制备功能设备和医药品等各种应用中所希望的富勒烯的方法。其中使用在温度为31-500℃、压力为3.8-60MPa下使含有芳香族化合物的原料与超临界流体或亚临界流体接触的工序，获得富勒烯。
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公开(公告)号：CN1440926A
公开(公告)日：2003-09-10
申请号：CN02158446.X
申请日：2002-10-08
Applicant: 佳能株式会社
CPC classification number: B82Y30/00 , B01J3/008 , B01J2219/00065 , B01J2219/00087 , B01J2219/0027 , B01J2219/0277 , B01J2219/0286 , B82Y40/00 , C01B32/15 , C01B32/152 , Y02P20/544 , Y10S977/842
Abstract: 本发明提供用简单的制备工序和廉价的装置大量制备功能设备和医药品等各种应用中所希望的富勒烯的方法。其中使用在温度为31－500℃、压力为3.8－60MPa下使含有芳香族化合物的原料与超临界流体或亚临界流体接触的工序，获得富勒烯。
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