公开(公告)号：CN109683449A

公开(公告)日：2019-04-26

申请号：CN201811199388.7

申请日：2018-10-16

Applicant: 佳能株式会社

Inventor： 村山元气

IPC: G03F9/00 ,  G03F7/20

CPC classification number: G06T7/0004 ,  G03F7/70625 ,  G03F7/70633 ,  G03F9/7092 ,  G06T5/002 ,  G06T5/20 ,  G06T7/73 ,  G06T2207/30148 ,  G06T2207/30204 ,  G03F9/7088 ,  G03F7/7085

Abstract: 本发明公开了评价方法、确定方法、光刻装置和非暂时性计算机可读存储介质。本发明提供评价形成在基板上的标记的位置的测量条件的评价方法，所述方法包括：通过在测量条件下检测来自所述标记的反射光来获得表示所述反射光的强度分布的标记信号；通过改变所述获得中获得的所述标记信号中包括的第一频率的第一信号成分来从所述标记信号产生多个信号；以及从所述产生中获得的所述多个信号中的每一个估计所述标记的位置，并且获得所述标记的估计位置的变化作为所述测量条件的评价指标。

公开(公告)号：CN109683449B

公开(公告)日：2021-09-17

申请号：CN201811199388.7

申请日：2018-10-16

Applicant: 佳能株式会社

Inventor： 村山元气

IPC: G03F9/00 ,  G03F7/20

Abstract: 本发明公开了评价方法、确定方法、光刻装置和非暂时性计算机可读存储介质。本发明提供评价形成在基板上的标记的位置的测量条件的评价方法，所述方法包括：通过在测量条件下检测来自所述标记的反射光来获得表示所述反射光的强度分布的标记信号；通过改变所述获得中获得的所述标记信号中包括的第一频率的第一信号成分来从所述标记信号产生多个信号；以及从所述产生中获得的所述多个信号中的每一个估计所述标记的位置，并且获得所述标记的估计位置的变化作为所述测量条件的评价指标。