公开(公告)号：CN1271175A

公开(公告)日：2000-10-25

申请号：CN00108662.6

申请日：2000-03-24

Applicant: 佳能株式会社

Inventor： 山方憲二 ,  松村聡

IPC: H01L21/02 ,  B08B3/08 ,  B08B3/12

CPC classification number: H01L21/67057 ,  B08B3/08 ,  C11D7/261 ,  C11D7/265 ,  C11D11/0047 ,  C11D11/007 ,  H01L21/67051 ,  H01L33/346

Abstract: 为了在短时间清洗多孔体而不使它的结构发生任何变化,提供一种清洗通过阳极氧化形成的多孔体的清洗方法,利用包含至少一种醇和乙酸的清洗溶液,在阳极氧化后清洗多孔体。

公开(公告)号：CN1187792C

公开(公告)日：2005-02-02

申请号：CN00108662.6

申请日：2000-03-24

Applicant: 佳能株式会社

Inventor： 山方憲二 ,  松村聡

IPC: H01L21/02 ,  H01L21/302 ,  B08B3/08

CPC classification number: H01L21/67057 ,  B08B3/08 ,  C11D7/261 ,  C11D7/265 ,  C11D11/0047 ,  C11D11/007 ,  H01L21/67051 ,  H01L33/346

Abstract: 为了在短时间清洗多孔体而不使它的结构发生任何变化，提供一种清洗通过阳极氧化形成的多孔体的清洗方法，利用包含至少一种醇和乙酸的清洗溶液，在阳极氧化后清洗多孔体。