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公开(公告)号:CN100426942C
公开(公告)日:2008-10-15
申请号:CN200410056240.X
申请日:2004-08-05
Applicant: 佳能株式会社
Inventor: 佐佐木圭一 , 上市真人 , 查伍德·乌里·埃尔沙德·阿里 , 早川幸宏
CPC classification number: H05K1/167 , B41J2/14072 , B41J2/14129 , B41J2/1603 , B41J2/1628 , B41J2/1629 , B41J2/1642 , B41J2/1643 , B41J2/1646 , H05K1/09 , H05K3/06 , H05K3/067 , H05K2201/0317 , H05K2203/0361
Abstract: 提供一种电路基板的制造方法。为了提供在布线的边缘部由保护层和耐空穴化膜获得的台阶覆盖性良好的电路基板及使用它的液体喷射头,本发明在基板的绝缘性表面上形成多个具有电阻层、以及在该电阻层上以规定的间隔形成的一对电极的元件,其特征在于具有下列工序:在上述电阻层上形成上述铝电极布线层的工序;通过对上述电极布线层进行干刻蚀,分离成每个元件的工序;以及用包含磷酸、硝酸、以及与布线金属形成络合物的螯合剂的刻蚀液,将电极布线部的剖面形状加工成锥形的工序。
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公开(公告)号:CN1582090A
公开(公告)日:2005-02-16
申请号:CN200410056240.X
申请日:2004-08-05
Applicant: 佳能株式会社
Inventor: 佐佐木圭一 , 上市真人 , 查伍德·乌里·埃尔沙德·阿里 , 早川幸宏
CPC classification number: H05K1/167 , B41J2/14072 , B41J2/14129 , B41J2/1603 , B41J2/1628 , B41J2/1629 , B41J2/1642 , B41J2/1643 , B41J2/1646 , H05K1/09 , H05K3/06 , H05K3/067 , H05K2201/0317 , H05K2203/0361
Abstract: 提供一种电路基板的制造方法。为了提供在布线的边缘部由保护层和耐空穴化膜获得的台阶覆盖性良好的电路基板及使用它的液体喷射头,本发明在基板的绝缘性表面上形成多个具有电阻层、以及在该电阻层上以规定的间隔形成的一对电极的元件,其特征在于具有下列工序:在上述电阻层上形成上述铝电极布线层的工序;通过对上述电极布线层进行干刻蚀,分离成每个元件的工序;以及用包含磷酸、硝酸、以及与布线金属形成络合物的螯合剂的刻蚀液,将电极布线部的剖面形状加工成锥形的工序。
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