公开(公告)号：CN1494169A

公开(公告)日：2004-05-05

申请号：CN03157463.7

申请日：2003-09-22

Applicant: 佳能株式会社 ,  富士化学株式会社

Inventor： 小林本和 ,  久保田纯 ,  铃木久男 ,  内田文生 ,  清水千惠美 ,  前田宪二

IPC: H01L41/09 ,  H01L41/187 ,  H01L41/047 ,  B41J2/045

CPC classification number: H01L41/318 ,  B41J2/14233 ,  B41J2/161 ,  B41J2/1645 ,  H01L41/0477 ,  H01L41/0973 ,  H01L41/1876

Abstract: 一种压电体元件，该压电体元件是具有夹在下部电极和上部电极之间的压电体膜的压电体元件，所述下部电极和/或所述上部电极与所述压电体膜由钙钛矿型氧化物构成，所述下部电极和/或所述上部电极与所述压电体膜之间不存在接合界面，且所述下部电极和/或所述上部电极与所述压电体膜之间存在所述下部电极和/或所述上部电极的结晶与所述压电体膜的结晶混合的区域。

公开(公告)号：CN100413113C

公开(公告)日：2008-08-20

申请号：CN03157463.7

申请日：2003-09-22

Applicant: 佳能株式会社 ,  富士化学株式会社

Inventor： 小林本和 ,  久保田纯 ,  铃木久男 ,  内田文生 ,  清水千惠美 ,  前田宪二

IPC: H01L41/09 ,  H01L41/187 ,  H01L41/047 ,  B41J2/045

CPC classification number: H01L41/318 ,  B41J2/14233 ,  B41J2/161 ,  B41J2/1645 ,  H01L41/0477 ,  H01L41/0973 ,  H01L41/1876

Abstract: 一种压电体元件，该压电体元件是具有夹在下部电极和上部电极之间的压电体膜的压电体元件，所述下部电极和/或所述上部电极与所述压电体膜由钙钛矿型氧化物构成，所述下部电极和/或所述上部电极与所述压电体膜之间不存在接合界面，且所述下部电极和/或所述上部电极与所述压电体膜之间存在所述下部电极和/或所述上部电极的结晶与所述压电体膜的结晶混合的区域。

公开(公告)号：CN100376395C

公开(公告)日：2008-03-26

申请号：CN200410068616.9

申请日：2004-09-03

Applicant: 佳能株式会社 ,  富士化学株式会社

Inventor： 久保田纯 ,  小林本和 ,  襟立信二 ,  铃木久男 ,  内田文生 ,  清水千惠美 ,  前田宪二

IPC: B41J2/045 ,  H01L41/22

CPC classification number: B41J2/14233 ,  B41J2/14298 ,  B41J2/161 ,  B41J2/1617 ,  B41J2/1629 ,  B41J2/1645 ,  H01L41/0477 ,  H01L41/0478 ,  H01L41/0805 ,  H01L41/0973 ,  H01L41/318

Abstract: 提供一种压电体元件、喷墨记录头和压电体元件的制造方法。该压电体元件，由振动板、下部电极、压电体膜和上部电极依次层叠而成，其特征在于：上述下部电极、上述上部电极和上述压电体膜由钙钛矿型氧化物构成，上述振动板由金属氧化物构成，在上述振动板和上述下部电极之间、上述下部电极和上述压电体膜之间、及上述压电体膜和上述上部电极之间实质上不存在接合界面。

公开(公告)号：CN1590102A

公开(公告)日：2005-03-09

申请号：CN200410068616.9

申请日：2004-09-03

Applicant: 佳能株式会社 ,  富士化学株式会社

Inventor： 久保田纯 ,  小林本和 ,  襟立信二 ,  铃木久男 ,  内田文生 ,  清水千惠美 ,  前田宪二

IPC: B41J2/045 ,  H01L41/22

CPC classification number: B41J2/14233 ,  B41J2/14298 ,  B41J2/161 ,  B41J2/1617 ,  B41J2/1629 ,  B41J2/1645 ,  H01L41/0477 ,  H01L41/0478 ,  H01L41/0805 ,  H01L41/0973 ,  H01L41/318

Abstract: 提供一种压电体元件、喷墨记录头和压电体元件的制造方法。该压电体元件，由振动板、下部电极、压电体膜和上部电极依次层叠而成，其特征在于：上述下部电极、上述上部电极和上述压电体膜由钙钛矿型氧化物构成，上述振动板由金属氧化物构成，在上述振动板和上述下部电极之间、上述下部电极和上述压电体膜之间、及上述压电体膜和上述上部电极之间实质上不存在接合界面。