-
公开(公告)号：CN119144237B
公开(公告)日：2025-02-14
申请号：CN202411663761.5
申请日：2024-11-20
Applicant: 内蒙古大学
Abstract: 本发明提供了一种改性环氧‑氧化铈抛光液及其制备方法，以质量百分比计，主要由以下原料制得：修饰性氧化铈磨料0.2%‑0.5%；稳定剂0.02%‑0.35%；氨水0.25%‑0.4%；去离子水99.08%‑99.2%；其中，所述修饰性氧化铈磨料为氧化铈与环氧羧酸以质量比（20：1）‑（200:1）进行混合。该环氧‑氧化铈抛光液能够使磨料在溶液中能够更均匀地分散，提高了悬浮液的均匀性；在保证去除率的条件下，可保持其悬浮性（D50）长达2个月。
-
公开(公告)号：CN119144237A
公开(公告)日：2024-12-17
申请号：CN202411663761.5
申请日：2024-11-20
Applicant: 内蒙古大学
Abstract: 本发明提供了一种改性环氧‑氧化铈抛光液及其制备方法，以质量百分比计，主要由以下原料制得：修饰性氧化铈磨料0.2%‑0.5%；稳定剂0.02%‑0.35%；氨水0.25%‑0.4%；去离子水99.08%‑99.2%；其中，所述修饰性氧化铈磨料为氧化铈与环氧羧酸以质量比（20：1）‑（200:1）进行混合。该环氧‑氧化铈抛光液能够使磨料在溶液中能够更均匀地分散，提高了悬浮液的均匀性；在保证去除率的条件下，可保持其悬浮性（D50）长达2个月。
-
公开(公告)号：CN119081653A
公开(公告)日：2024-12-06
申请号：CN202411533727.6
申请日：2024-10-31
Applicant: 内蒙古大学
Abstract: 本发明提供了一种盐酸多巴胺修饰氧化铈核壳磨料的制备方法及应用，包括如下步骤：将铈盐中加水至铈盐完全溶解，取出铈盐与二氧化硅微粉的质量比为（0.5:1）‑（7:1）的二氧化硅微粉，超声分散在无水乙醇中，得到分散液；将所述分散液与六亚甲基四胺水溶液、铈盐水溶液混合，油浴加热搅拌反应，得到混合溶液，所述混合溶液经过离心、去离子水和无水乙醇洗涤后干燥后得到混合固体，将混合固体煅烧，得到铈前驱体；将所述铈前驱体分散于去离子水和乙醇得到的混合液中，缓慢加入盐酸多巴胺和缓冲液搅拌，离心、洗涤、干燥，即得。以此磨料制备得到的抛光液，使去除速率达到0.1458 mg/min。
-
公开(公告)号：CN118562447B
公开(公告)日：2024-10-18
申请号：CN202411045388.7
申请日：2024-08-01
Applicant: 内蒙古大学
IPC: C09K3/14 , H01L21/3105 , B82Y30/00 , B82Y40/00 , C09G1/02 , C01F17/10 , C01F17/235
Abstract: 本发明提供了一种铝掺杂氧化铈纳米磨料的制备方法，该方法包括如下步骤：将铈盐超声分散于离子水中，并进行油浴；随后加入铝前驱体，并进行磁力搅拌，得到混合溶液；向所述混合溶液中缓慢加入强碱弱酸盐溶液，随后陈化、分离得到固体；将所述固体干燥、研磨和煅烧，即得；其中所述强碱弱酸盐溶液为碳酸钠、碳酸钾、碳酸氢钠、碳酸氢钾、乳酸盐或柠檬酸盐溶液中的任意一种或多种的混合；所述铈盐中的铈元素与所述强碱弱酸盐溶液中所含有的碳酸根或碳酸氢根的摩尔比=（1:0.5）‑（1:5）；所述油浴的温度为30°C‑90°C。该方法制备得到的铝掺杂氧化铈纳米磨料的制备方法制备得到的纳米磨料Ce3+含量高达27.96%。
-
Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN119081653B
公开(公告)日：2025-01-24
申请号：CN202411533727.6
申请日：2024-10-31
Applicant: 内蒙古大学
Abstract: 本发明提供了一种盐酸多巴胺修饰氧化铈核壳磨料的制备方法及应用，包括如下步骤：将铈盐中加水至铈盐完全溶解，取出铈盐与二氧化硅微粉的质量比为（0.5:1）‑（7:1）的二氧化硅微粉，超声分散在无水乙醇中，得到分散液；将所述分散液与六亚甲基四胺水溶液、铈盐水溶液混合，油浴加热搅拌反应，得到混合溶液，所述混合溶液经过离心、去离子水和无水乙醇洗涤后干燥后得到混合固体，将混合固体煅烧，得到铈前驱体；将所述铈前驱体分散于去离子水和乙醇得到的混合液中，缓慢加入盐酸多巴胺和缓冲液搅拌，离心、洗涤、干燥，即得。以此磨料制备得到的抛光液，使去除速率达到0.1458 mg/min。
-
公开(公告)号：CN119307231A
公开(公告)日：2025-01-14
申请号：CN202411469443.5
申请日：2024-10-21
Applicant: 内蒙古大学
Abstract: 本发明提供了一种改性氧化铈纳米磨料的制备和使用方法，包括如下步骤：将碳酸铈前处理，得到氧化铈纳米颗粒；将氧化铈纳米颗粒与含有硅烷偶联剂的甲苯溶液混合，油浴并加热搅拌反应，离心、乙醇洗涤、干燥得到氧化铈中间体；将短链有机酸配制成水溶液，将所述氧化铈中间体与短链有机酸水溶液混合，油浴加热搅拌反应，离心、乙醇洗涤、干燥，即得；所述氧化铈纳米颗粒与所述硅烷偶联剂的质量比=（30:1）‑（5:1）；所述氧化铈中间体与所述短链有机酸的质量比=（30:1）‑（5:1）。该方法使纳米氧化铈磨料的粒径均一，在无其他添加剂情况下配置成水系悬浮液中可提高其悬浮分散稳定性。
-
公开(公告)号：CN118562447A
公开(公告)日：2024-08-30
申请号：CN202411045388.7
申请日：2024-08-01
Applicant: 内蒙古大学
IPC: C09K3/14 , H01L21/3105 , B82Y30/00 , B82Y40/00 , C09G1/02 , C01F17/10 , C01F17/235
Abstract: 本发明提供了一种铝掺杂氧化铈纳米磨料的制备方法，该方法包括如下步骤：将铈盐超声分散于离子水中，并进行油浴；随后加入铝前驱体，并进行磁力搅拌，得到混合溶液；向所述混合溶液中缓慢加入强碱弱酸盐溶液，随后陈化、分离得到固体；将所述固体干燥、研磨和煅烧，即得；其中所述强碱弱酸盐溶液为碳酸钠、碳酸钾、碳酸氢钠、碳酸氢钾、乳酸盐或柠檬酸盐溶液中的任意一种或多种的混合；所述铈盐中的铈元素与所述强碱弱酸盐溶液中所含有的碳酸根或碳酸氢根的摩尔比=（1:0.5）‑（1:5）；所述油浴的温度为30°C‑90°C。该方法制备得到的铝掺杂氧化铈纳米磨料的制备方法制备得到的纳米磨料Ce3+含量高达27.96%。
-
公开(公告)号：CN119875518A
公开(公告)日：2025-04-25
申请号：CN202510378951.0
申请日：2025-03-28
Applicant: 内蒙古大学
Abstract: 本发明提供了一种用于浅槽隔离的改性氧化铈抛光液及其制备方法，该抛光液以质量百分比计，主要由以下原料制得：改性氧化铈磨料；2%‑5%；去离子水；95%‑98%；其中所述改性氧化铈磨料包括氧化铈磨料与磺酸配体；所述磺酸配体为所述磺酸配体为左旋樟脑磺酸、邻甲苯磺酸、对甲苯磺酸或环己烷‑2‑磺酸中的一种或多种。在本发明的抛光液中，通过利用磺酸配体对氧化铈进行改性从而制备出抛光液，其中磺酸配体的引入使得氧化铈的表面活性增加，确保抛光液均匀分布的同时极大程度地提高抛光液对氧化硅层和氮化硅层的选择比，且磺酸配体的引入能够显著的增强氧化铈颗粒在溶液中的分散性，防止聚集。
-
公开(公告)号：CN119662132A
公开(公告)日：2025-03-21
申请号：CN202411764644.8
申请日：2024-12-04
Applicant: 内蒙古大学
IPC: C09G1/02
Abstract: 本发明提供了一种膦酸配体修饰的氧化铈抛光液及其制备方法，该抛光液主要由水：膦酸配体改性后的氧化铈以质量比=（94:5）‑（92:7）混合制得。该抛光液通过磷酸配体的改性，氧化铈磨料的化学和物理性质得以优化，可以提高在化学机械抛光过程中的反应性和去除速率，从而有效提升抛光效率；通过与氧化铈颗粒表面相互作用，形成稳定的表面改性层，减少了颗粒间的聚集倾向，使磨料在溶液中能够更均匀地分散，提高了悬浮液的均匀性；表面带有亲水性基团，增加了颗粒在溶液中的溶解性，减少了颗粒沉降速度，从而延长了悬浮液的稳定时间。
-
-
-
-
-
-
-
-
Search Results
9
records
(took 0.021 seconds)
