公开(公告)号：CN101133332B

公开(公告)日：2011-01-26

申请号：CN200680006882.6

申请日：2006-11-16

Applicant: 凯奥尼克公司

Inventor： 斯科特·G·亚当 ,  斯科特·A·米勒 ,  琼·舍恩-艾波斯坦 ,  凯斯·艾波斯坦

IPC: G01P15/00

CPC classification number: G01P15/125 ,  G01P15/0802 ,  G01P15/18 ,  G01P2015/0828

Abstract: 在本发明的一个实施例中，提供一种微机电(MEMS)加速度计，包括衬底、第一传感器和第二传感器。第一传感器配置成测量沿着平行于衬底平面的第一轴的加速度。第二传感器配置成测量沿着垂直于衬底平面的轴的加速度。第二传感器包括第一横梁、第二横梁和单支撑结构。单支撑结构相对于衬底支撑第一和第二横梁，其中第一和第二横梁围绕第一传感器。

公开(公告)号：CN101133332A

公开(公告)日：2008-02-27

申请号：CN200680006882.6

申请日：2006-11-16

Applicant: 凯奥尼克公司

Inventor： 斯科特·G·亚当 ,  斯科特·A·米勒 ,  琼·舍恩-艾波斯坦 ,  凯斯·艾波斯坦

IPC: G01P15/00

CPC classification number: G01P15/125 ,  G01P15/0802 ,  G01P15/18 ,  G01P2015/0828

Abstract: 在本发明的一个实施例中，提供一种微机电(MEMS)加速度计，包括衬底、第一传感器和第二传感器。第一传感器配置成测量沿着平行于衬底平面的第一轴的加速度。第二传感器配置成测量沿着垂直于衬底平面的轴的加速度。第二传感器包括第一横梁、第二横梁和单支撑结构。单支撑结构相对于衬底支撑第一和第二横梁，其中第一和第二横梁围绕第一传感器。