公开(公告)号：CN109416253A

公开(公告)日：2019-03-01

申请号：CN201780040524.5

申请日：2017-06-22

Applicant: 罗伯特·博世有限公司

Inventor： O-A·普吕茨

IPC: G01C19/5733 ,  G01P15/08

CPC classification number: G01C19/5733 ,  G01P15/0802

Abstract: 本发明提出一种用于测量转速和/或加速度的惯性传感器、尤其是微机电惯性传感器，其中，惯性传感器具有衬底，其中，衬底具有主延伸平面，其中，惯性传感器具有至少两个可从静止位置中偏移的质量，其中，质量与衬底机械耦合，其中，惯性传感器具有用于探测质量沿着第一方向的运动的至少一个探测器件，其中，质量通过至少一个第一耦合元件、第二耦合元件和第三耦合元件相互机械耦合，其中，第一耦合元件具有第一主延伸方向，其中，第二耦合元件具有第二主延伸方向，其中，第三耦合元件具有第三主延伸方向，其中，第一主延伸方向、第二主延伸方向和第三主延伸方向在静止位置中基本上平行于主延伸平面布置，其中，耦合元件基本上刚性地构造，其中，每个耦合元件与耦合元件中的至少一个另外的耦合元件连接，其中，耦合元件如此布置，使得在质量从静止位置中偏移时进行第一主延伸方向相对于第二主延伸方向的偏转和第二主延伸方向相对于第三主延伸方向的偏转，其中，耦合元件经由至少一个衬底附接部位与衬底机械耦合。

公开(公告)号：CN109205545A

公开(公告)日：2019-01-15

申请号：CN201810696124.6

申请日：2018-06-29

Applicant: 英飞凌技术德累斯顿有限责任公司

Inventor： E·兰德格拉夫 ,  S·G·阿尔伯特 ,  S·比塞尔特 ,  S·普雷格尔 ,  M·罗斯

IPC: B81B3/00 ,  B81C1/00 ,  G01L9/12 ,  G01P15/125

CPC classification number: G01P15/125 ,  B81B3/0021 ,  B81B3/0086 ,  B81B2201/0235 ,  B81B2203/0315 ,  B81B2203/04 ,  B81C1/00166 ,  G01L9/12 ,  G01P15/0802 ,  G01P2015/088 ,  B81B3/0032 ,  B81B2201/0221 ,  B81B2201/0264

Abstract: 一种微机械传感器包括电容式的第一传感器元件和第二传感器元件，分别具有第一电极和第二电极，其中第一电极的电极壁面和第二电极的电极壁面在第一方向上彼此对置并形成电容，其中第一电极可响应于待检测的变量在与第一方向不同的第二方向上移动，并且第二电极是固定的。第一传感器元件的第一电极的电极壁面在第二方向上具有比第一传感器元件的第二电极的对置的电极壁面小的延伸。第二传感器元件的第二电极的电极壁面在第二方向上具有比第二传感器元件的第一电极的对置的电极壁面小的延伸。

公开(公告)号：CN108918912A

公开(公告)日：2018-11-30

申请号：CN201810448427.6

申请日：2018-05-11

Applicant: 浙江大学

Inventor： 张治成 ,  张计炜 ,  张鹤

IPC: G01P15/08 ,  H02N1/04

CPC classification number: G01P15/08 ,  G01P15/0802 ,  H02N1/04

Abstract: 悬臂摩擦式自供能静电加速度传感器，其特征是，包括屏蔽外壳，屏蔽外壳中部设有横贯的隔板，将屏蔽外壳的内部空间分隔为左右两个腔室，隔板两侧是关于隔板对称的摩擦发电装置，能够随待测构件的振动将振动机械能转化为电能，并以电信号的形式输出。静止条件下，两种介电材料接触面积达到最大，产生摩擦电荷，振动条件下，悬臂产生随时间变化的挠度，两种介电材料的接触面积也不断发生变化，电极层经由外电路转移感应电荷，输出电信号。相比于现有的加速度传感器来说，接触式摩擦发电加速度传感器有着精度高，范围广，结构简单，抗干扰性好，环保节能和自驱动性等优点。

公开(公告)号：CN108693571A

公开(公告)日：2018-10-23

申请号：CN201810299026.9

申请日：2018-04-04

Applicant: 矢崎总业株式会社

Inventor： 川口泰典 ,  生内贵大 ,  望月良充

IPC: G01V11/00

CPC classification number: G01V8/20 ,  B60R11/00 ,  B60R21/01538 ,  B60R21/01542 ,  B60R2011/0028 ,  G01P15/0802 ,  G01V11/00

Abstract: 提供能够高精度地检测在车辆中搭乘的乘坐者的乘坐者检测装置。乘坐者检测装置1具有：加速度传感器(10)、光检测部(20)和判定部(30)。加速度传感器(10)设置在车辆，检测车辆的加速度。光检测部(20)向车辆内照射光，并且根据从车辆内反射的反射光来检测检测对象。判定部(30)根据利用加速度传感器(10)检测出的加速度检测结果以及利用光检测部(20)检测出的光检测结果，判定检测对象是否为乘坐者。

公开(公告)号：CN104215274B

公开(公告)日：2018-08-10

申请号：CN201310618262.X

申请日：2013-08-16

Applicant: 恩智浦美国有限公司

Inventor： P·琼斯 ,  A·巴里拉多 ,  S·莱斯特里古兹 ,  S·帕拉恩森 ,  R·P·塞斯戈 ,  J·D·斯坦利

IPC: G01D18/00

CPC classification number: B81B7/008 ,  G01C25/005 ,  G01P15/0802 ,  G01P21/00

Abstract: 公开了封装的包含换能器的装置(100，200，372，490，650，1300)和用于它们的校准的方法的实施例。每一个装置包括一个或多个换能器(210，220，230)、配置成有助于与外部校准控制器(310)相通信的接口(284)、存储器(282)和处理部件(280)。外部校准控制器(310)通过通信结构(330)将校准命令发送(810，912)给包含换能器的装置。每个装置的处理部件响应于接收校准命令执行(812，914)代码。代码的执行包括从一个或多个换能器生成(812，914，1004，1006，1104，1106，1112，1116，1201，1204)换能器数据，利用换能器数据计算(818)校准系数，以及在装置的存储器内存储(818)校准系数。

公开(公告)号：CN108139216A

公开(公告)日：2018-06-08

申请号：CN201580077627.X

申请日：2015-04-07

Applicant: 深圳市大疆创新科技有限公司

Inventor： 冯建刚 ,  唐尹

IPC: G01C21/26 ,  G01C25/00

CPC classification number: G01C19/00 ,  B64C39/024 ,  B64C2201/141 ,  G01C19/5628 ,  G01C21/16 ,  G01C21/265 ,  G01C25/00 ,  G01P1/003 ,  G01P15/0802 ,  H01L23/345 ,  H05K1/189 ,  H05K7/20 ,  H05K2201/10151

Abstract: 本发明公开了可以支持可移动物体上的测量模块(300)的系统和方法。所述测量模块(300)包括具有一个或多个传感器的第一电路板(305)。此外，所述测量模块(300)包括配重块组装件(310)，其中所述配重块组装件(310)被配置成具有使所述测量模块(300)的固有频率远离所述可移动物体的工作频率的质量。另外，所述第一电路板(305)可以安置于所述配重块组装件(310)内的内腔(311)中。

公开(公告)号：CN104969078B

公开(公告)日：2018-04-10

申请号：CN201480007853.6

申请日：2014-02-06

Applicant: 基斯特勒控股公司

Inventor： 克里斯托夫·松德雷格 ,  P·C·塔克

IPC: G01P1/02 ,  B23K11/00 ,  G01P15/08 ,  G01P15/09

CPC classification number: G01P15/0802 ,  B23K11/087 ,  B23K11/20 ,  B23K20/12 ,  B23K20/2275 ,  B23K20/2333 ,  G01P1/023 ,  G01P15/09

Abstract: 本发明涉及一种用于制造加速度传感器的方法，所述加速度传感器包括基本形状为圆柱形或立方体形的壳体(1)，所述壳体包括至少一个内置的支承件(4)和设置于其上的传感器元件(2)。根据本发明，传感器元件(2)包括具有头部部件(21)和与其相对置的端面(24)的基体(29)，通过借助至少一个压电测量元件(23)、感振质量块(22)和夹紧环(27)包围头部部件(21)，预安装所述传感器元件。随后将所述端面(24)定位为接触在所述壳体(1)的支承件(4)上，以构成端面(24)和支承件(4)之间的接触区域(7)。最后在该接触区域(7)将传感器元件(2)与所述壳体(1)焊接。本发明还涉及一种这样制造的加速度传感器。

公开(公告)号：CN104698871B

公开(公告)日：2017-12-19

申请号：CN201310647877.5

申请日：2013-12-04

Applicant: 无锡华润上华科技有限公司

Inventor： 王雪艳 ,  张威彦

IPC: G05B19/04

CPC classification number: H03F3/005 ,  G01P15/0802 ,  G01P15/123 ,  H03F3/387 ,  H03F3/45475 ,  H03F2200/165 ,  H03F2200/261 ,  H03F2200/264 ,  H03F2203/45138 ,  H03F2203/45514 ,  H03G1/0094 ,  H03H7/075

Abstract: 本发明提供一种传感器控制电路和电子装置，涉及传感器技术领域。本发明的传感器控制电路，包括传感器、滤波电路、缓冲电路和放大电路，所述传感器的输出端与所述滤波电路的输入端相连，所述滤波电路的输出端与所述缓冲电路的输入端相连，所述缓冲电路的输出端与所述放大电路的输入端相连。该传感器控制电路，由于在滤波电路与放大电路之间设置有缓冲电路，因而具有采样充分的优点。本发明的电子装置，使用了上述传感器控制电路，同样具有上述优点。

公开(公告)号：CN107422146A

公开(公告)日：2017-12-01

申请号：CN201710369579.2

申请日：2017-05-23

Applicant: 罗伯特·博世有限公司

Inventor： B.P.赫措根拉特 ,  J.克拉森

IPC: G01P15/125

CPC classification number: B81B3/0008 ,  B81B2201/0235 ,  B81B2201/0242 ,  B81B2201/025 ,  B81B2203/0181 ,  B81B2203/0338 ,  B81C1/00174 ,  B81C1/00476 ,  B81C2201/0132 ,  G01C19/56 ,  G01C19/5656 ,  G01C19/5712 ,  G01P1/003 ,  G01P15/0802 ,  G01P15/125 ,  G01P2015/0814 ,  G01P2015/0831 ,  G01P2015/0834 ,  G01P2015/0837

Abstract: 一种微机械的传感器（100），其中，表面微机械地能够制造所述微机械的传感器（100），具有至少一个构造在第三功能层（60）中的质量元件，该质量元件至少以区段的方式未被穿孔地构造；其中，在所述质量元件下方的缝隙（S）通过去除第二功能层（30）和至少一个氧化层（20）来制造；其中，所述至少一个氧化层（20）的去除借助于把气态的蚀刻介质引入到经限定数量的基本上彼此平行布置的蚀刻通道中来进行；其中，所述蚀刻通道与在第三功能层（60）中的竖直的进入通道能够连接。

公开(公告)号：CN107271719A

公开(公告)日：2017-10-20

申请号：CN201610875657.1

申请日：2016-09-30

Applicant: 意法半导体股份有限公司

Inventor： A·托齐奥 ,  G·加特瑞

IPC: G01P15/08 ,  G01P15/125

CPC classification number: G01P15/125 ,  B81B3/0021 ,  B81B2201/0235 ,  B81B2203/0181 ,  B81B2203/04 ,  G01P2015/0814 ,  G01P2015/0831 ,  G01P15/08 ,  G01P15/0802 ,  G01P2015/0862

Abstract: MEMS加速度度量传感器包括承载结构以及由半导体材料制成的悬置区域。至少一个调制电极固定至承载结构并且采用指示了具有第一频率的至少一个周期性分量而偏置。由悬置区域以及由调制电极以该方式形成至少一个可变电容器以使得悬置区域经受取决于电调制信号的静电力。当加速度度量传感器经受加速度时，感测组件产生电感测信号，指示了悬垂区域相对于承载结构的位置，并且包括作为加速度以及第一频率的函数的频率调制分量。