公开(公告)号：CN117020925A

公开(公告)日：2023-11-10

申请号：CN202311248617.0

申请日：2018-10-19

Applicant: 凯斯科技股份有限公司

Inventor： 申盛皓 ,  禹相政 ,  郑文硕 ,  金圣奕

IPC: B24B37/005 ,  B24B49/12 ,  B24B37/24 ,  B24B57/02

Abstract: 公开一种垫监测装置及包括其的系统、垫监测方法。根据一个实施例的监测研磨垫的表面状态的垫监测装置，通过照射于所述研磨垫的表面的光的散射图案可以监测所述研磨垫的表面状态。

公开(公告)号：CN110617786A

公开(公告)日：2019-12-27

申请号：CN201811223212.0

申请日：2018-10-19

Applicant: 凯斯科技股份有限公司

Inventor： 申盛皓 ,  禹相政 ,  郑文硕 ,  金圣奕

IPC: G01B11/30

Abstract: 公开一种垫监测装置及包括其的系统、垫监测方法。根据一个实施例的监测研磨垫的表面状态的垫监测装置，通过照射于所述研磨垫的表面的光的散射图案可以监测所述研磨垫的表面状态。