彩色摄像元件以及彩色摄像元件制造方法

    公开(公告)号:CN101449381B

    公开(公告)日:2011-07-27

    申请号:CN200780017804.0

    申请日:2007-04-03

    Abstract: 本发明提供一种彩色摄像元件,具备:包括多个光电转换元件(12)的半导体基板(10);以及包括与半导体基板的多个光电转换元件对应而设置的多个着色层(24,26)的彩色滤光器。彩色滤光器的多个着色层的各个着色层,包括:侧面(24b,26b),立起于半导体基板的表面;以及倾斜面,从位于上述侧面上与半导体基板相反侧的端向位于着色层上与半导体基板相反侧的端部(24a,26a)连续,上述多个着色层配置成各自的侧面没有间隙地接触。

    彩色摄像元件以及彩色摄像元件制造方法

    公开(公告)号:CN101449381A

    公开(公告)日:2009-06-03

    申请号:CN200780017804.0

    申请日:2007-04-03

    Abstract: 本发明提供一种彩色摄像元件,具备:包括多个光电转换元件(12)的半导体基板(10);以及包括与半导体基板的多个光电转换元件对应而设置的多个着色层(24,26)的彩色滤光器。彩色滤光器的多个着色层的各个着色层,包括:侧面(24b,26b),立起于半导体基板的表面;以及倾斜面,从位于上述侧面上与半导体基板相反侧的端向位于着色层上与半导体基板相反侧的端部(24a,26a)连续,上述多个着色层配置成各自的侧面没有间隙地接触。

    固体摄像元件及其制造方法

    公开(公告)号:CN101116186A

    公开(公告)日:2008-01-30

    申请号:CN200680004532.6

    申请日:2006-02-07

    Abstract: 一种固体摄像元件的制造方法,该固体摄像元件具备二维配置在半导体基板上的光电变换元件、和由对应于各个该光电变换元件配设在上述半导体基板上的多个颜色的过滤器图案构成的滤色器。多个颜色的过滤器图案通过依次构图多个滤色器层而形成。利用干式蚀刻形成多个颜色的过滤器图案中的至少最初形成的过滤器图案,其余的过滤器图案利用光刻形成。

    固体摄像元件及其制造方法

    公开(公告)号:CN100533749C

    公开(公告)日:2009-08-26

    申请号:CN200680004532.6

    申请日:2006-02-07

    Abstract: 一种固体摄像元件的制造方法,该固体摄像元件具备二维配置在半导体基板上的光电变换元件、和由对应于各个该光电变换元件配设在上述半导体基板上的多个颜色的过滤器图案构成的滤色器。多个颜色的过滤器图案通过依次构图多个滤色器层而形成。利用干式蚀刻形成多个颜色的过滤器图案中的至少最初形成的过滤器图案,其余的过滤器图案利用光刻形成。

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