公开(公告)号：CN111903196B

公开(公告)日：2024-07-02

申请号：CN201980009996.3

申请日：2019-01-21

Applicant: 凸版印刷株式会社

Inventor： 古贺修 ,  柜冈祥之 ,  芥川泰人

IPC: H05K1/02 ,  H05K1/03 ,  H05K1/11 ,  H05K3/00 ,  H05K3/28 ,  H05K3/42

Abstract: 本发明提供一种通过使形成有TGV的玻璃芯的表面平坦，并且保护玻璃芯的表面，从而使其具备充分的机械强度、低成本且具有可靠性的玻璃芯器件及其制造方法。该玻璃芯器件中，通过在玻璃芯(10)上所形成的TGV(11)中嵌入布线，从而将玻璃芯(10)的第1面(10a)的布线与第2面(10b)的布线导通。切割玻璃芯器件，在单片化的状态下，通过外层保护层(62)，与玻璃芯(10)的第2面(10b)连接以包覆玻璃芯侧面。

公开(公告)号：CN100531526C

公开(公告)日：2009-08-19

申请号：CN200480002365.2

申请日：2004-01-16

Applicant: 凸版印刷株式会社

Inventor： 上田龙二 ,  田中聪 ,  古贺修 ,  高城总夫 ,  松泽宏 ,  小野田祐介 ,  赤尾慎吾

IPC: H05K3/42 ,  C23F1/00

CPC classification number: C23F1/02 ,  H01L23/49548 ,  H01L2924/0002 ,  H05K3/06 ,  H05K3/064 ,  H05K3/202 ,  H05K2203/0369 ,  H05K2203/1476 ,  Y10T428/12361 ,  Y10T428/12368 ,  Y10T428/24273 ,  H01L2924/00

Abstract: 本发明提供一种具有加工部的金属光蚀刻制品，其中所述加工部具有金属图案，所述金属图案在金属层的表层侧具有通过一次蚀刻形成的侧壁、并具有沿一次蚀刻形成的侧壁在膜厚方向上是延续的并通过使用了电沉积抗蚀剂的1次或多次蚀刻形成的至少一个侧壁，并且所述金属图案还具有与通过一次蚀刻形成的凹部不同形状的并通过二次蚀刻或其后的蚀刻形成的凹部的形状。

公开(公告)号：CN1738927A

公开(公告)日：2006-02-22

申请号：CN200480002365.2

申请日：2004-01-16

Applicant: 凸版印刷株式会社

Inventor： 上田龙二 ,  田中聪 ,  古贺修 ,  高城总夫 ,  松泽宏 ,  小野田祐介 ,  赤尾慎吾

IPC: C23F1/00

CPC classification number: C23F1/02 ,  H01L23/49548 ,  H01L2924/0002 ,  H05K3/06 ,  H05K3/064 ,  H05K3/202 ,  H05K2203/0369 ,  H05K2203/1476 ,  Y10T428/12361 ,  Y10T428/12368 ,  Y10T428/24273 ,  H01L2924/00

Abstract: 本发明提供一种具有加工部的金属光蚀刻制品，其中所述加工部具有金属图案，所述金属图案在金属层的表层侧具有通过一次蚀刻形成的侧壁、并具有沿一次蚀刻形成的侧壁在膜厚方向上是延续的并通过使用了电沉积抗蚀剂的1次或多次蚀刻形成的至少一个侧壁，并且所述金属图案还具有与通过一次蚀刻形成的凹部不同形状的并通过二次蚀刻或其后的蚀刻形成的凹部的形状。

公开(公告)号：CN111903196A

公开(公告)日：2020-11-06

申请号：CN201980009996.3

申请日：2019-01-21

Applicant: 凸版印刷株式会社

Inventor： 古贺修 ,  柜冈祥之 ,  芥川泰人

IPC: H05K1/02 ,  H05K1/03 ,  H05K1/11 ,  H05K3/00 ,  H05K3/28 ,  H05K3/42

Abstract: 本发明提供一种通过使形成有TGV的玻璃芯的表面平坦，并且保护玻璃芯的表面，从而使其具备充分的机械强度、低成本且具有可靠性的玻璃芯器件及其制造方法。该玻璃芯器件中，通过在玻璃芯(10)上所形成的TGV(11)中嵌入布线，从而将玻璃芯(10)的第1面(10a)的布线与第2面(10b)的布线导通。切割玻璃芯器件，在单片化的状态下，通过外层保护层(62)，与玻璃芯(10)的第2面(10b)连接以包覆玻璃芯侧面。