公开(公告)号：CN100531526C

公开(公告)日：2009-08-19

申请号：CN200480002365.2

申请日：2004-01-16

Applicant: 凸版印刷株式会社

Inventor： 上田龙二 ,  田中聪 ,  古贺修 ,  高城总夫 ,  松泽宏 ,  小野田祐介 ,  赤尾慎吾

IPC: H05K3/42 ,  C23F1/00

CPC classification number: C23F1/02 ,  H01L23/49548 ,  H01L2924/0002 ,  H05K3/06 ,  H05K3/064 ,  H05K3/202 ,  H05K2203/0369 ,  H05K2203/1476 ,  Y10T428/12361 ,  Y10T428/12368 ,  Y10T428/24273 ,  H01L2924/00

Abstract: 本发明提供一种具有加工部的金属光蚀刻制品，其中所述加工部具有金属图案，所述金属图案在金属层的表层侧具有通过一次蚀刻形成的侧壁、并具有沿一次蚀刻形成的侧壁在膜厚方向上是延续的并通过使用了电沉积抗蚀剂的1次或多次蚀刻形成的至少一个侧壁，并且所述金属图案还具有与通过一次蚀刻形成的凹部不同形状的并通过二次蚀刻或其后的蚀刻形成的凹部的形状。

公开(公告)号：CN1738927A

公开(公告)日：2006-02-22

申请号：CN200480002365.2

申请日：2004-01-16

Applicant: 凸版印刷株式会社

Inventor： 上田龙二 ,  田中聪 ,  古贺修 ,  高城总夫 ,  松泽宏 ,  小野田祐介 ,  赤尾慎吾

IPC: C23F1/00

CPC classification number: C23F1/02 ,  H01L23/49548 ,  H01L2924/0002 ,  H05K3/06 ,  H05K3/064 ,  H05K3/202 ,  H05K2203/0369 ,  H05K2203/1476 ,  Y10T428/12361 ,  Y10T428/12368 ,  Y10T428/24273 ,  H01L2924/00

Abstract: 本发明提供一种具有加工部的金属光蚀刻制品，其中所述加工部具有金属图案，所述金属图案在金属层的表层侧具有通过一次蚀刻形成的侧壁、并具有沿一次蚀刻形成的侧壁在膜厚方向上是延续的并通过使用了电沉积抗蚀剂的1次或多次蚀刻形成的至少一个侧壁，并且所述金属图案还具有与通过一次蚀刻形成的凹部不同形状的并通过二次蚀刻或其后的蚀刻形成的凹部的形状。