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公开(公告)号：CN119510913A
公开(公告)日：2025-02-25
申请号：CN202411632569.X
申请日：2024-11-15
Applicant: 北京中科飞龙传感技术有限责任公司 , 中科飞龙(北京)智能科技有限公司
Abstract: 本发明提供一种宽频带电场传感器、电场传感器组件及电场检测方法，包括衬底、至少一个动态感应电极与至少一个静态感应电极，衬底包括实体区域与凹陷区域，动态感应电极与静态感应电极间隔设置，动态感应电极的一部分附着在实体区域上，另一部分位于凹陷区域上，静态感应电极的一部分附着在实体区域上，另一部分位于凹陷区域上，其中：动态感应电极根据激励信号获得当前电场的至少一个直流电流信号，静态感应电极至少根据在当前电场中所感应的电荷获得当前电场的至少一个交流电流信号。本发明可以同时获得直流电流信号与交流电流信号，实现对直流电场与交流电场的良好检测，提高对于电场检测的敏感程度，拓宽电场传感器的检测频段。
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公开(公告)号：CN114229788A
公开(公告)日：2022-03-25
申请号：CN202010943851.5
申请日：2020-09-09
Applicant: 中国科学院空天信息创新研究院 , 北京中科飞龙传感技术有限责任公司
Abstract: 一种微型电场传感器圆片级封装增敏降噪结构，该结构主要由三层圆片级导体硅和两层绝缘材料组成，包括：基底层，制作有凹槽与多个垂直互连结构，表面沉积有第一绝缘层，基底层通过第一绝缘层上的刻蚀窗口与接地垂直互连结构连接接地，降低耦合串扰噪声；器件层，刻蚀有传感结构、闭合密封环和屏蔽梁，接地屏蔽梁降低层内耦合噪声；封帽层，通过第二绝缘层与器件层实现绝缘，并通过第二绝缘层的镂空区域与传感结构之间形成微小间隙，以增强感应结构周围电场强度进而提高传感器灵敏度。本公开可实现电场传感器圆片级封装，具有增敏降噪的特点，且制造工艺简单。
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公开(公告)号：CN114113814A
公开(公告)日：2022-03-01
申请号：CN202111408937.9
申请日：2021-11-24
Applicant: 北京中科飞龙传感技术有限责任公司
IPC: G01R29/12
Abstract: 本发明公开了一种静电力调谐型MEMS电场传感器和控制方法，包括驱动电极、拾振电极、谐振结构、静电力敏感电极，静电力敏感电极与谐振结构相连，驱动电极用于与谐振结构之间形成驱动电容，拾振电极用于与谐振结构之间形成拾振电容，静电力敏感电极用于感应待测电场，引起谐振结构谐振频率的变化，拾振电极检测谐振结构谐振频率的变化，得到待测电场的检测结果。本申请通过在驱动电极上施加激励信号，引起谐振结构的谐振，静电力敏感电极在待测电场的静电力作用下，引起谐振结构的谐振频率的变化，拾振电极通过检测谐振频率的变化，实现对待测电场的测量，本传感器结构简单、易于制备、成本较低，有利于规模化网络化应用。
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公开(公告)号：CN114113813A
公开(公告)日：2022-03-01
申请号：CN202111408915.2
申请日：2021-11-24
Applicant: 北京中科飞龙传感技术有限责任公司
IPC: G01R29/12
Abstract: 本发明公开了一种自适应型MEMS电场传感器及其结构，包括可动接地电极、至少一个拾振参考电极、至少一个感应电极、至少一个驱动电极；所述拾振参考电极与可动接地电极之间形成电容，用于检测可动接地电极的振动情况；可动接地电极与感应电极相对部分，形成感应电极的屏蔽电极，感应电极用于感应外部电场；在驱动电极上施加激励信号，使可动接地电极处于谐振状态，检测拾振参考电极、感应电极的输出，以感应电极输出的解调感应电压除以拾振参考电极输出的解调参考电压，得到外部电场检测结果。通过自动调整激励信号及对输出进行修正，能够根据环境及结构参数变化进行自适应调整，实现对传感器输出漂移的补偿，极大提高MEMS传感器的测量准确性。
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公开(公告)号：CN119510910A
公开(公告)日：2025-02-25
申请号：CN202411632535.0
申请日：2024-11-15
Applicant: 北京中科飞龙传感技术有限责任公司 , 中科飞龙(北京)智能科技有限公司
Abstract: 本发明提供一种电场传感器组件及电场检测方法，包括电场传感器与数据处理部分，其中：电场传感器包括衬底、以及结构相同、且可切换的第一感应电极与第二感应电极，其中：衬底包括实体区域与电荷感应区域，第一感应电极与第二感应电极的第一部分均是附着在实体区域上，第一感应电极与第二感应电极的第二部分均是位于电荷感应区域上；第一感应电极可以根据激励信号生成、输出直流电流信号、或者生成、输出交流电流信号，第一感应电极可以生成、输出交流电流信号、或者根据激励信号生成、输出直流电流信号。本发明可以同时获得直流电流信号与交流电流信号，并且还可以根据需要对结构相同的第一感应电极与第二感应电极进行切换，以增加适应性。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN117590096B
公开(公告)日：2024-07-12
申请号：CN202311501626.6
申请日：2023-11-10
Applicant: 北京中科飞龙传感技术有限责任公司
IPC: G01R29/12
Abstract: 本申请涉及一种静电传感器灵敏度补偿方法、装置、设备及存储介质，属于电场检测的领域，其包括获取静电传感器中振幅检测单元的电压变化情况，振幅检测单元用于检测静电传感器中振动电极的振动幅度；根据电压变化情况，确定振动电极的振动幅度；根据振动电极的振动幅度，计算被测带电物体的电压。本申请通过获取静电传感器中振动电极的振动幅度并根据振动幅度计算被测带电物体的电压，改善了对静电传感器漂移补偿的效果较差的问题。
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公开(公告)号：CN117538628B
公开(公告)日：2024-07-02
申请号：CN202311497045.X
申请日：2023-11-10
Applicant: 北京中科飞龙传感技术有限责任公司
IPC: G01R29/12
Abstract: 本申请涉及一种用于硬压板电压非侵入监测的电场感知探头，其包括绝缘基座，其上固定有焊盘；金属外壳，与绝缘基座固定，并与绝缘基座的地电连接，形成内部为空腔的电磁屏蔽壳体，硬压板的连接线缆固定在金属外壳的顶部，金属外壳的顶部开设有电场感应窗，用于供连接线缆的电场穿过；电场敏感器件，设置在金属外壳内并与绝缘基座电连接，电场敏感器件包括电场敏感芯片及其接口电路，电场敏感芯片用于感应所述连接线缆的电场并产生电流信号，接口电路用于处理所述电流信号并形成与所述连接线缆电压成比例的直流信号量；信号传输接头，固定在绝缘基座上并与所述焊盘电连接，用于将直流信号量输出。本申请具有减少对硬压板定期检测过程中的人工投入的效果。
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公开(公告)号：CN118169480A
公开(公告)日：2024-06-11
申请号：CN202410370294.0
申请日：2024-03-29
Applicant: 北京中科飞龙传感技术有限责任公司
Abstract: 本发明提供一种MEMS大气电场传感器及其组装方法，涉及传感器技术领域。其中，在导电外壳的底部形成朝向其顶部的第一凹槽；导电部件置于第一凹槽的内部；绝缘部件置于第一凹槽的内部，并固定在导电部件的底部；中筒部件的至少一部分置于第一凹槽的内部，并设置在绝缘部件的底部，其中，中筒部件的内部形成有第一内部腔体，在第一内部腔体中填充有粘合剂；MEMS电场测量模块呈垂直状被夹持在第一内部腔体的内部，并被粘合剂包裹，其中，MEMS电场测量模块包括与其连接的导线，导线的顶端依次贯穿中筒部件与绝缘部件后和导电部件连接。本发明可以缩小MEMS大气电场传感器的体积，增强MEMS电场测量模块的固定性能，提高MEMS电场测量模块的抗振动和抗冲击性能。
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公开(公告)号：CN117538628A
公开(公告)日：2024-02-09
申请号：CN202311497045.X
申请日：2023-11-10
Applicant: 北京中科飞龙传感技术有限责任公司
IPC: G01R29/12
Abstract: 本申请涉及一种用于硬压板电压非侵入监测的电场感知探头，其包括绝缘基座，其上固定有焊盘；金属外壳，与绝缘基座固定，并与绝缘基座的地电连接，形成内部为空腔的电磁屏蔽壳体，硬压板的连接线缆固定在金属外壳的顶部，金属外壳的顶部开设有电场感应窗，用于供连接线缆的电场穿过；电场敏感器件，设置在金属外壳内并与绝缘基座电连接，电场敏感器件包括电场敏感芯片及其接口电路，电场敏感芯片用于感应所述连接线缆的电场并产生电流信号，接口电路用于处理所述电流信号并形成与所述连接线缆电压成比例的直流信号量；信号传输接头，固定在绝缘基座上并与所述焊盘电连接，用于将直流信号量输出。本申请具有减少对硬压板定期检测过程中的人工投入的效果。
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公开(公告)号：CN118169480B
公开(公告)日：2025-04-08
申请号：CN202410370294.0
申请日：2024-03-29
Applicant: 北京中科飞龙传感技术有限责任公司
Abstract: 本发明提供一种MEMS大气电场传感器及其组装方法，涉及传感器技术领域。其中，在导电外壳的底部形成朝向其顶部的第一凹槽；导电部件置于第一凹槽的内部；绝缘部件置于第一凹槽的内部，并固定在导电部件的底部；中筒部件的至少一部分置于第一凹槽的内部，并设置在绝缘部件的底部，其中，中筒部件的内部形成有第一内部腔体，在第一内部腔体中填充有粘合剂；MEMS电场测量模块呈垂直状被夹持在第一内部腔体的内部，并被粘合剂包裹，其中，MEMS电场测量模块包括与其连接的导线，导线的顶端依次贯穿中筒部件与绝缘部件后和导电部件连接。本发明可以缩小MEMS大气电场传感器的体积，增强MEMS电场测量模块的固定性能，提高MEMS电场测量模块的抗振动和抗冲击性能。
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