公开(公告)号：CN118385759A

公开(公告)日：2024-07-26

申请号：CN202410441940.8

申请日：2024-04-12

Applicant: 北京卫星制造厂有限公司

Inventor： 邵春盛 ,  马强 ,  飞景明 ,  向语嫣 ,  李松玲 ,  安琪 ,  陈滔 ,  陈庆 ,  孙晓峰 ,  彭聪辉 ,  胡鲲 ,  刘美淑 ,  程龙 ,  刘雪莹 ,  李志南 ,  张亚光

IPC: B23K26/362 ,  B23K26/70 ,  B23K26/082 ,  B23K26/046 ,  B23K26/064 ,  G06T17/00 ,  G06F18/23213

Abstract: 本发明公开了一种柔性基材曲面金属图案精细刻蚀方法。本发明解决了柔性曲面刻蚀过程中如何实现大尺寸柔性曲面上金属图案刻蚀的技术问题。本发明通过建立待刻蚀曲面零件三维模型，计算曲面函数表达式；随后依据激光振镜扫描范围与激光焦深划分激光扫描片区；将分区信息导入激光数控加工平台，确定激光刻蚀参数，工控机控制激光振镜扫描平台进行分区刻蚀；最后根据金属薄膜厚度与精度要求确定刻蚀层数，进行多次分层刻蚀，获得高精度金属图案。