基于多环带排气的静压气浮止推轴承

    公开(公告)号:CN113124057B

    公开(公告)日:2022-07-22

    申请号:CN202110464742.X

    申请日:2021-04-27

    Inventor: 温众普 石照耀

    Abstract: 基于多环带排气的静压气浮止推轴承属于气体轴承与气体润滑技术领域。该装置通过在气膜入口小孔节流与在排气入口多孔质节流复合式流量控制结构,在保证气体流量不受损失的同时,起到了均化压力的效果,提高了轴承的刚度。该装置中的节流器采用小孔节流,其扩散流动采用了三种不同的方式引导,分别是一级均压、二级均压和多孔质环压力控制,这种可调的复合式扩散流动可提高轴承的承载与刚度。该装置中的多环带排气结构,使远离自然压力边界的气膜具有稳定的可调的压力边界,使静压气体止推轴承具有更好的自适应性,能够适应多种供气条件及变化的负载,兼顾了静压气体轴承的承载、刚度以及稳定性,实现了一轴多用的目的。

    基于轴向密珠吸载的气浮止推轴承

    公开(公告)号:CN113124056A

    公开(公告)日:2021-07-16

    申请号:CN202110457843.4

    申请日:2021-04-27

    Inventor: 温众普 石照耀

    Abstract: 基于轴向密珠吸载的气浮止推轴承属于气体轴承与气体润滑技术领域。该装置包括气浮轴、气浮套、止推板和吸载装置,气浮轴呈T型,气浮轴与止推板安装在气浮套的两侧,保持架中的钢球位于气浮轴与气浮套之间,使二者过盈配合。利用气浮轴承提高回转精度,降低轴承的径向跳动,同时利用密珠轴系提高轴向承载、刚度、以及主轴的整体稳定性。本发明将密珠轴系与气浮轴承技术相结合,并提出一种基于轴向密珠吸载的气浮止推轴承,达到了兼顾轴承精度和承载的目的。

    基于多环带排气的静压气浮止推轴承

    公开(公告)号:CN113124057A

    公开(公告)日:2021-07-16

    申请号:CN202110464742.X

    申请日:2021-04-27

    Inventor: 温众普 石照耀

    Abstract: 基于多环带排气的静压气浮止推轴承属于气体轴承与气体润滑技术领域。该装置通过在气膜入口小孔节流与在排气入口多孔质节流复合式流量控制结构,在保证气体流量不受损失的同时,起到了均化压力的效果,提高了轴承的刚度。该装置中的节流器采用小孔节流,其扩散流动采用了三种不同的方式引导,分别是一级均压、二级均压和多孔质环压力控制,这种可调的复合式扩散流动可提高轴承的承载与刚度。该装置中的多环带排气结构,使远离自然压力边界的气膜具有稳定的可调的压力边界,使静压气体止推轴承具有更好的自适应性,能够适应多种供气条件及变化的负载,兼顾了静压气体轴承的承载、刚度以及稳定性,实现了一轴多用的目的。

    基于径向密珠吸载的气浮止推轴承

    公开(公告)号:CN113124055A

    公开(公告)日:2021-07-16

    申请号:CN202110457842.X

    申请日:2021-04-27

    Inventor: 温众普 石照耀

    Abstract: 基于径向密珠吸载的气浮止推轴承属于气体轴承与气体润滑技术领域。该装置包括气浮轴、气浮套、止推板和吸载装置,气浮轴呈T型,气浮轴与止推板安装在气浮套的两侧,且与气浮套间隙配合。利用气浮轴承提高回转精度,降低轴承的端部跳动,同时利用密珠轴系提高径向刚度和主轴的整体稳定性。本发明将密珠轴系与气浮轴承技术相结合,并提出一种基于径向密珠吸载的气浮止推轴承,达到了兼顾轴承精度和承载的目的。

    一种基于菱形振子超声驱动的微动台

    公开(公告)号:CN118539786A

    公开(公告)日:2024-08-23

    申请号:CN202410663944.0

    申请日:2024-05-27

    Abstract: 一种基于菱形振子超声驱动的微动台属于微型执行器、超声电机领域;本发明装置包括X向运动模块和Y向运动模块,Y向底座的凸台上安装有磁吸附装置,Y向滑块上安装有若干对铰链预紧器和2根磁吸附铁条,在2根磁吸附铁条的中部安装有预紧铰链,Y向菱形振子安装在Y向底座的凸台上,并夹在预紧铰链中间,Y向滑块上安装有多个节流器用来形成气浮支撑。在垂直方向上,磁吸预紧力、Y向滑块的重力、以及向上的气浮支撑力三者平衡;在水平方向上,2个侧向气浮工作面的支撑力平衡。本发明减小了装置的原理误差,提升了气气浮导轨的重复定位精度,适用于空间体积小、精度要求高的场合。

    一种基于贴片电机驱动的气浮转台

    公开(公告)号:CN118517475A

    公开(公告)日:2024-08-20

    申请号:CN202410663932.8

    申请日:2024-05-27

    Abstract: 一种基于贴片电机驱动的气浮转台涉及精密转台和超声电机领域,本发明装置包括驱动机构、导向机构和测量机构,驱动机构包括转动盘和电机模块,电机模块包括弹簧、滑板、贴片电机,贴片电机通过螺钉安装在滑板上,贴片电机上加工或安装有驱动足,驱动足与转动盘接触配合,并由弹簧进行预紧。本发明的超声电机轻薄,电机模块置于轴系和花盘之间的缝隙,大幅减小了电机平面与花盘平面的距离,而由于阿贝臂的减小,轴系和电机的角摆误差几乎不会导致转台镜像径向跳动,从原理上降低了系统的阿贝误差。

    一种基于贴片超声电机驱动的微动台

    公开(公告)号:CN118413128A

    公开(公告)日:2024-07-30

    申请号:CN202410663942.1

    申请日:2024-05-27

    Abstract: 一种基于贴片超声电机驱动的微动台属于微型执行器、超声电机领域;本发明装置包括X向运动模块和Y向运动模块,Y向滑块的两侧安装有若干对铰链预紧器,凹槽内安装有预紧铰链,预紧铰链中部安装有磁吸附铁条,Y向贴片电机过盈安装在预紧铰链的内侧,再由铰链预紧器进行预紧,Y向滑块上安装有多个节流器用来形成气浮支撑。在垂直方向上,磁吸预紧力、Y向滑块的重力、以及向上的气浮支撑力三者平衡;在水平方向上,2个侧向气浮工作面的支撑力平衡。Y方向与X方向都是通过贴片电机进行驱动,可以单独启停和断电自锁,无论是哪个方向处于锁紧,可以驱动另一个方向的滑块并实现定位。

    一种驱导测一体化直线运动装置
    8.
    发明公开

    公开(公告)号:CN118413127A

    公开(公告)日:2024-07-30

    申请号:CN202410663930.9

    申请日:2024-05-27

    Abstract: 一种驱导测一体化直线运动装置属于高精度机电技术领域;本发明装置包括导轨机构、驱动机构、导向机构和测量机构,导轨机构包括“工”型直线导轨,“工”型直线导轨两侧的槽里安装有高精度耐磨条,“工”型直线导轨的下方安装有光栅尺,“工”型直线导轨的其余外立面是导向机构的运动基准,导向机构沿着“工”型直线导轨运动。该装置采用超声电机实现高精度驱动、采用气浮导轨实现高精度导向、采用光栅尺实现高精度位置反馈,集成了驱动、导向、测量功能共同实现高精度直线运动。与传统技术不同的是,该装置采用的驱动、导向、测量机构分属不同的模块,可独立拆卸和升级,同时结构紧凑、具有同一个安装基准。

    一种驱导测一体化高精度微动装置

    公开(公告)号:CN118611469A

    公开(公告)日:2024-09-06

    申请号:CN202410663929.6

    申请日:2024-05-27

    Abstract: 一种驱导测一体化高精度微动装置属于高精度机电技术领域;本发明装置包括导轨机构、驱动机构、导向机构和测量机构,直线导轨的一端加工有“H”型槽,驱动机构安装在“H”型槽内做直线运动,直线导轨的另一端是导向机构的运动基准。该装置采用菱形振子实现高精度驱动、采用气浮导轨实现高精度导向、采用光栅尺实现高精度位置反馈,集成了驱动、导向、测量功能共同实现高精度直线运动。与传统技术不同的是,该装置采用的驱动、导向、测量机构分属不同的模块,可独立拆卸和升级,同时结构紧凑、具有同一个安装基准。因此,本发明装置在原理上消除了阿贝误差,具有高运动精度和定位精度的优点。

    一种基于贴片电机驱动的微型气浮测头

    公开(公告)号:CN118583066A

    公开(公告)日:2024-09-03

    申请号:CN202410663946.X

    申请日:2024-05-27

    Abstract: 一种基于贴片电机驱动的微型气浮测头属于高精度测量和机电技术领域;本发明装置的基座上固连有两个气浮短套,基座与气浮短套之间安装有气浮导轨,导轨中部安装有贴片电机,贴片电机的外侧安装有预紧铰链,预紧铰链与贴片电机的驱动足的配合关系为过盈配合,气浮套、电机罩壳和固定座均安装在基座的同一个基准面上。具体采用气浮导轨在测针的运动方向实现无摩擦直线运动,采用贴片电机驱动可实现低速度、高精度运动,再结合激光传感器保证了测头的高精度。因此,本发明装置在原理上没有阿贝误差,具有触发测量力小、测量精度高的优点。

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