磁通门电流传感芯片及制造方法、应用方法

    公开(公告)号:CN119643950B

    公开(公告)日:2025-05-16

    申请号:CN202510164418.4

    申请日:2025-02-14

    Abstract: 本发明涉及传感器技术领域,提供一种磁通门电流传感芯片及制造方法、应用方法。所述磁通门电流传感芯片包括:第一敏感单元、第二敏感单元以及第一敏感单元与第二敏感单元之间的导体通道,每个敏感单元包括磁芯和线圈,线圈包括激励线圈和感应线圈,激励线圈和感应线圈缠绕在磁芯上,感应线圈缠绕的磁芯的轴作为敏感单元的敏感轴;第一敏感单元和第二敏感单元通过感应导体通道的上表面附近的磁场和下表面附近的磁场,实现对待测电流的检测。本发明采用两个敏感单元及之间的导体通道构成差分检测结构,无需使用聚磁环结构,实现电流传感器的芯片化,检测精度高,抗干扰能力强,可实现开环闭环电流检测,能够满足多种应用场景的电流检测需求。

    采用频率输出的霍尔传感器
    4.
    发明公开

    公开(公告)号:CN117420484A

    公开(公告)日:2024-01-19

    申请号:CN202311302725.1

    申请日:2023-10-09

    Abstract: 本发明提供一种采用频率输出的霍尔传感器,属于传感器技术领域。所述霍尔传感器包括:补偿电路,用于提供与外加磁场无关的参考电压;所述参考电压随温度的变化规律和测量电路相同;测量电路,用于根据外加磁场产生霍尔电压;还用于测量激励源的频率,并根据激励源的频率确定外加磁场的大小;减法器,用于计算参考电压和霍尔电压的电压差值,并将所述电压差值反馈给激励源;测量电路激励源,用于为测量电路提供驱动电流;以及用于根据所述电压差值进行负反馈,使得所述霍尔电压的取值始终和所述参考电压相等。本发明利用霍尔电压对激励电源的频率响应特性,将霍尔电压转变为频率信号,通过对频率信号的测量来得到磁场的强度值。

    磁通门电流传感芯片及制造方法、应用方法

    公开(公告)号:CN119643950A

    公开(公告)日:2025-03-18

    申请号:CN202510164418.4

    申请日:2025-02-14

    Abstract: 本发明涉及传感器技术领域,提供一种磁通门电流传感芯片及制造方法、应用方法。所述磁通门电流传感芯片包括:第一敏感单元、第二敏感单元以及第一敏感单元与第二敏感单元之间的导体通道,每个敏感单元包括磁芯和线圈,线圈包括激励线圈和感应线圈,激励线圈和感应线圈缠绕在磁芯上,感应线圈缠绕的磁芯的轴作为敏感单元的敏感轴;第一敏感单元和第二敏感单元通过感应导体通道的上表面附近的磁场和下表面附近的磁场,实现对待测电流的检测。本发明采用两个敏感单元及之间的导体通道构成差分检测结构,无需使用聚磁环结构,实现电流传感器的芯片化,检测精度高,抗干扰能力强,可实现开环闭环电流检测,能够满足多种应用场景的电流检测需求。

    MEMS超声传感器件、制备方法及传感设备

    公开(公告)号:CN118651819A

    公开(公告)日:2024-09-17

    申请号:CN202410784831.6

    申请日:2024-06-18

    Abstract: 本申请公开了一种MEMS超声传感器件、制备方法及传感设备,属于MEMS传感芯片技术领域。MEMS超声传感器件包括:基底,形成有第一腔和暴露第一腔的第一开口;压电振动层,设于基底上,且覆盖第一开口;钝化层,设于基底上,且环绕压电振动层布置;谐振结构,设于钝化层远离基底的一侧,谐振结构形成有第二腔、第二开口和第三开口,第二开口和第三开口位于第二腔相对的两侧,第二开口朝向钝化层布置,且暴露压电振动层,第二腔和第三开口共同作用下的谐振频率等于压电振动层的谐振频率。超声传感芯片接收的声信号或发射的声信号在谐振腔内形成共振,增大超声传感芯片处的声压/往外发射的声压,增大了超声传感芯片的发射、接收灵敏度。

    垂直霍尔传感器及制造方法、芯片

    公开(公告)号:CN117098447B

    公开(公告)日:2024-02-06

    申请号:CN202311364146.X

    申请日:2023-10-20

    Abstract: 本发明涉及磁传感器领域,提供一种垂直霍尔传感器及制造方法、芯片。所述垂直霍尔传感器包括:硅衬底、垂直嵌入硅衬底内的电源激励电极以及形成于硅衬底表面的霍尔电压检测电极,电源激励电极包括至少一个外围电源激励电极以及至少一个中间电源激励电极,霍尔电压检测电极位于外围电源激励电极与中间电源激励电极之间。其中,电源激励电极是通过在硅衬底中刻蚀形成深沟槽,在深沟槽内填充重掺杂的多晶硅和金属形成的。本发明采用沟槽电极结构的电源激励电极,避免了离子注入工艺形成掺杂区不均匀的问题,有效提高垂直霍尔传感器的灵敏度,减小零偏。

Patent Agency Ranking