基于自适应非零干涉法的光学自由曲面面形误差测量方法

    公开(公告)号:CN110715619A

    公开(公告)日:2020-01-21

    申请号:CN201911158917.3

    申请日:2019-11-22

    Abstract: 基于自适应非零干涉法的光学自由曲面面形误差测量方法,结构简单、通用性较强、可测较高非球面度自由曲面,且可以测量未加工完成的光学自由曲面的面形误差,实现高精度、非接触、高速度、全口径的测量。方法包括:获取待测光学自由曲面面形标称值;获取可变形镜的口径;设计部分补偿器的初始结构并获取参数;在光学仿真软件中建立虚拟干涉仪系统;在虚拟干涉仪中,设置可变形镜面形可变,优化并获得最终结构;构建部分补偿器实物并建立包含部分补偿器的最终结构的实际干涉仪系统;在实际干涉仪系统中,根据干涉条纹密集程度自适应调节可变形镜面形,获取实际干涉图;获取实际干涉仪系统中可变形镜的面形;求解待测光学自由曲面面形误差。

    基于径向基函数的可变形反射镜面形控制方法及装置

    公开(公告)号:CN111340184B

    公开(公告)日:2023-06-02

    申请号:CN202010089331.2

    申请日:2020-02-12

    Abstract: 公开了基于径向基函数的可变形反射镜面形控制方法及装置,计算简单、易于实现、通用性强,并且能较高精度地控制可变形反射镜生成复杂面形,从而实现复杂的波前矫正及像差补偿功能。本发明处理神经网络训练集样本,获取神经网络训练集元素,将各个样本中的可变形反射镜的面形利用径向基函数进行表征,将样本中面形的表征参数作为神经网络的输入,将该面形对应的各压电陶瓷的电压作为神经网络的对应输出,对神经网络进行训练,神经网络的训练次数与样本数量一致,最终获得完成训练的神经网络,验证神经网络训练效果,根据所需生成的面形的表征参数,利用神经网络控制可变形镜生成所需面形。

    基于高斯径向基函数的光学自由曲面表征方法

    公开(公告)号:CN112130318B

    公开(公告)日:2021-10-26

    申请号:CN202011028675.9

    申请日:2020-09-24

    Abstract: 公开了基于高斯径向基函数的光学自由曲面表征方法,通过明确高斯径向基函数表达式、获取待拟合光学自由曲面的待拟合数据点集、将待拟合数据进行归一化处理、根据归一化后的待拟合数据计算梯度向量、分析处理梯度向量、划分子孔径、设置高斯径向基函数基底数、获取各子孔径内高斯径向基函数个数、获取高斯径向基函数总数、在子孔径内均匀分布高斯径向基函数中心点、明确系数A的最佳取值范围、明确最终拟合效果,明确最终的基函数总数,从而可以对复杂的光学自由曲面进行高精度的表征,可满足现代光学系统设计、加工和检测的需要,本方法计算简单、易于实现、面形适应性强,适用于任意口径,且可实现光学自由曲面的高精度表征。

    基于高斯径向基函数的光学自由曲面表征方法

    公开(公告)号:CN112130318A

    公开(公告)日:2020-12-25

    申请号:CN202011028675.9

    申请日:2020-09-24

    Abstract: 公开了基于高斯径向基函数的光学自由曲面表征方法,通过明确高斯径向基函数表达式、获取待拟合光学自由曲面的待拟合数据点集、将待拟合数据进行归一化处理、根据归一化后的待拟合数据计算梯度向量、分析处理梯度向量、划分子孔径、设置高斯径向基函数基底数、获取各子孔径内高斯径向基函数个数、获取高斯径向基函数总数、在子孔径内均匀分布高斯径向基函数中心点、明确系数A的最佳取值范围、明确最终拟合效果,明确最终的基函数总数,从而可以对复杂的光学自由曲面进行高精度的表征,可满足现代光学系统设计、加工和检测的需要,本方法计算简单、易于实现、面形适应性强,适用于任意口径,且可实现光学自由曲面的高精度表征。

    基于自适应非零干涉法的光学自由曲面面形误差测量方法

    公开(公告)号:CN110715619B

    公开(公告)日:2020-11-27

    申请号:CN201911158917.3

    申请日:2019-11-22

    Abstract: 基于自适应非零干涉法的光学自由曲面面形误差测量方法,结构简单、通用性较强、可测较高非球面度自由曲面,且可以测量未加工完成的光学自由曲面的面形误差,实现高精度、非接触、高速度、全口径的测量。方法包括:获取待测光学自由曲面面形标称值;获取可变形镜的口径;设计部分补偿器的初始结构并获取参数;在光学仿真软件中建立虚拟干涉仪系统;在虚拟干涉仪中,设置可变形镜面形可变,优化并获得最终结构;构建部分补偿器实物并建立包含部分补偿器的最终结构的实际干涉仪系统;在实际干涉仪系统中,根据干涉条纹密集程度自适应调节可变形镜面形,获取实际干涉图;获取实际干涉仪系统中可变形镜的面形;求解待测光学自由曲面面形误差。

    基于径向基函数的可变形反射镜面形控制方法及装置

    公开(公告)号:CN111340184A

    公开(公告)日:2020-06-26

    申请号:CN202010089331.2

    申请日:2020-02-12

    Abstract: 公开了基于径向基函数的可变形反射镜面形控制方法及装置,计算简单、易于实现、通用性强,并且能较高精度地控制可变形反射镜生成复杂面形,从而实现复杂的波前矫正及像差补偿功能。本发明处理神经网络训练集样本,获取神经网络训练集元素,将各个样本中的可变形反射镜的面形利用径向基函数进行表征,将样本中面形的表征参数作为神经网络的输入,将该面形对应的各压电陶瓷的电压作为神经网络的对应输出,对神经网络进行训练,神经网络的训练次数与样本数量一致,最终获得完成训练的神经网络,验证神经网络训练效果,根据所需生成的面形的表征参数,利用神经网络控制可变形镜生成所需面形。

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