公开(公告)号：CN110715619B

公开(公告)日：2020-11-27

申请号：CN201911158917.3

申请日：2019-11-22

Applicant: 北京理工大学

Inventor： 郝群 ,  常旭 ,  胡摇 ,  宁妍 ,  刘洋 ,  周颋 ,  吕佳航

IPC: G01B11/25 ,  G01B11/255

Abstract: 基于自适应非零干涉法的光学自由曲面面形误差测量方法，结构简单、通用性较强、可测较高非球面度自由曲面，且可以测量未加工完成的光学自由曲面的面形误差，实现高精度、非接触、高速度、全口径的测量。方法包括：获取待测光学自由曲面面形标称值；获取可变形镜的口径；设计部分补偿器的初始结构并获取参数；在光学仿真软件中建立虚拟干涉仪系统；在虚拟干涉仪中，设置可变形镜面形可变，优化并获得最终结构；构建部分补偿器实物并建立包含部分补偿器的最终结构的实际干涉仪系统；在实际干涉仪系统中，根据干涉条纹密集程度自适应调节可变形镜面形，获取实际干涉图；获取实际干涉仪系统中可变形镜的面形；求解待测光学自由曲面面形误差。

公开(公告)号：CN111240010A

公开(公告)日：2020-06-05

申请号：CN202010018780.8

申请日：2020-01-08

Applicant: 北京理工大学

Inventor： 郝群 ,  胡摇 ,  周颋 ,  宁妍

IPC: G02B27/00 ,  G01B11/24

Abstract: 一种用于自由曲面测量的可变形镜面形设计方法及装置，其能够解决部分补偿法中可变形镜面形约束的问题，在标定的可变形镜变形范围内，实现对自由曲面面形的高精度检测。方法包括：(1)建立基于可变形镜的自由曲面测量系统的光学模型；(2)基于光线追迹原理，追迹入射光线，求出物体经整个系统后所成的像；(3)建立优化目标为像差、优化变量为可变形镜面形的评价函数，同时约束可变形镜行程范围；(4)根据成像系统成像质量的要求，基于粒子群优化算法求解可变形镜面形。

公开(公告)号：CN111240010B

公开(公告)日：2021-04-20

申请号：CN202010018780.8

申请日：2020-01-08

Applicant: 北京理工大学

Inventor： 郝群 ,  胡摇 ,  周颋 ,  宁妍

IPC: G02B27/00 ,  G01B11/24

Abstract: 一种用于自由曲面测量的可变形镜面形设计方法及装置，其能够解决部分补偿法中可变形镜面形约束的问题，在标定的可变形镜变形范围内，实现对自由曲面面形的高精度检测。方法包括：(1)建立基于可变形镜的自由曲面测量系统的光学模型；(2)基于光线追迹原理，追迹入射光线，求出物体经整个系统后所成的像；(3)建立优化目标为像差、优化变量为可变形镜面形的评价函数，同时约束可变形镜行程范围；(4)根据成像系统成像质量的要求，基于粒子群优化算法求解可变形镜面形。

公开(公告)号：CN110715619A

公开(公告)日：2020-01-21

申请号：CN201911158917.3

申请日：2019-11-22

Applicant: 北京理工大学

Inventor： 郝群 ,  常旭 ,  胡摇 ,  宁妍 ,  刘洋 ,  周颋 ,  吕佳航

IPC: G01B11/25 ,  G01B11/255

Abstract: 基于自适应非零干涉法的光学自由曲面面形误差测量方法，结构简单、通用性较强、可测较高非球面度自由曲面，且可以测量未加工完成的光学自由曲面的面形误差，实现高精度、非接触、高速度、全口径的测量。方法包括：获取待测光学自由曲面面形标称值；获取可变形镜的口径；设计部分补偿器的初始结构并获取参数；在光学仿真软件中建立虚拟干涉仪系统；在虚拟干涉仪中，设置可变形镜面形可变，优化并获得最终结构；构建部分补偿器实物并建立包含部分补偿器的最终结构的实际干涉仪系统；在实际干涉仪系统中，根据干涉条纹密集程度自适应调节可变形镜面形，获取实际干涉图；获取实际干涉仪系统中可变形镜的面形；求解待测光学自由曲面面形误差。