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公开(公告)号：CN107388963B
公开(公告)日：2019-10-25
申请号：CN201710569215.9
申请日：2017-07-13
Applicant: 北京理工大学
Abstract: 本发明公开的一种将小波分析和低通滤波结合的数字莫尔条纹相位提取方法，属于光学测量和图像处理技术领域。本发明利用实际干涉图和移相虚拟干涉图莫尔合成生成移相莫尔合成图，利用低通滤波并结合移相干涉术提取莫尔条纹相位的初步结果；根据虚拟干涉仪中得到的虚拟干涉波前结合滤波器滤波半径，确定莫尔条纹相位的初步结果中低通滤波误差的分布中心和范围；在定位低通滤波误差范围及中心之后，对包含低通滤波误差的初步结果进行小波分解；根据定位的误差中心和范围，对小波系数进行处理可实现滤波误差的去除，根据近似系数和处理后的小波系数进行重构得到去除低通滤波误差的莫尔条纹相位，即实现扩展数字莫尔干涉测量的测量范围。
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公开(公告)号：CN107764203A
公开(公告)日：2018-03-06
申请号：CN201711019962.1
申请日：2017-10-27
Applicant: 北京理工大学
IPC: G01B11/24
Abstract: 本发明属于光学精密测试技术领域，涉及一种基于部分补偿法的双波长相移干涉方法及实现装置。该方法构建部分补偿法双波长相移干涉仪，获取两个单波长的被测波前包裹相位；建模部分补偿法双波长理想干涉仪，获得两个单波长的剩余波前和包裹相位；采用误差分离和消除算法消除被测波前包裹相位中的已知及未知波前变化量，最后采用逆向迭代优化重构被测非球面的面形误差。装置包括第一激光器和第二激光器、第一狭缝和第二狭缝、第一平面镜和第二平面镜、第一分束镜和第二分束镜、扩束镜、准直镜、标准平面镜、移相器、部分补偿镜、被测非球面、成像镜头和含稀疏阵列传感器的干涉图采集组件。本发明特别适用于小面形误差的陡度非球面，以及大面形误差的模压非球面和自由曲面的加工质量测量。
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公开(公告)号：CN107388963A
公开(公告)日：2017-11-24
申请号：CN201710569215.9
申请日：2017-07-13
Applicant: 北京理工大学
Abstract: 本发明公开的一种将小波分析和低通滤波结合的数字莫尔条纹相位提取方法，属于光学测量和图像处理技术领域。本发明利用实际干涉图和移相虚拟干涉图莫尔合成生成移相莫尔合成图，利用低通滤波并结合移相干涉术提取莫尔条纹相位的初步结果；根据虚拟干涉仪中得到的虚拟干涉波前结合滤波器滤波半径，确定莫尔条纹相位的初步结果中低通滤波误差的分布中心和范围；在定位低通滤波误差范围及中心之后，对包含低通滤波误差的初步结果进行小波分解；根据定位的误差中心和范围，对小波系数进行处理可实现滤波误差的去除，根据近似系数和处理后的小波系数进行重构得到去除低通滤波误差的莫尔条纹相位，即实现扩展数字莫尔干涉测量的测量范围。
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公开(公告)号：CN107764203B
公开(公告)日：2019-08-23
申请号：CN201711019962.1
申请日：2017-10-27
Applicant: 北京理工大学
IPC: G01B11/24
Abstract: 本发明属于光学精密测试技术领域，涉及一种基于部分补偿法的双波长相移干涉方法及实现装置。该方法构建部分补偿法双波长相移干涉仪，获取两个单波长的被测波前包裹相位；建模部分补偿法双波长理想干涉仪，获得两个单波长的剩余波前和包裹相位；采用误差分离和消除算法消除被测波前包裹相位中的已知及未知波前变化量，最后采用逆向迭代优化重构被测非球面的面形误差。装置包括第一激光器和第二激光器、第一狭缝和第二狭缝、第一平面镜和第二平面镜、第一分束镜和第二分束镜、扩束镜、准直镜、标准平面镜、移相器、部分补偿镜、被测非球面、成像镜头和含稀疏阵列传感器的干涉图采集组件。本发明特别适用于小面形误差的陡度非球面，以及大面形误差的模压非球面和自由曲面的加工质量测量。
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