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公开(公告)号:CN118940424A
公开(公告)日:2024-11-12
申请号:CN202410817245.7
申请日:2024-06-24
Applicant: 北京理工大学
Abstract: 配合子孔径拼接术使用的通用部分补偿器设计方法及装置,结构简单、通用性强,显著提高子孔径拼接术检测大口径非球面的效率,降低子孔径拼接术检测大口径非球面所需的硬件要求和成本。方法包括:(1)获取非球面测量光路各系统参数;(2)设置部分补偿器初始结构参数,部分补偿器由一个双胶合透镜构成;(3)将非球面中心子孔径作为被测镜对部分补偿器的结构优化,得到部分补偿器L0;(4)分别将非球面中心孔径外的n圈子孔径作为被测镜对L0优化,相应得到部分补偿器;(5)对部分补偿器补偿效果评价,选取效果最佳的部分补偿器Lb;(6)将Lb作为初始结构,针对被测非球面全口径对Lb进行优化,得到最终的部分补偿器Le。