公开(公告)号：CN115050858A

公开(公告)日：2022-09-13

申请号：CN202210631736.3

申请日：2022-06-06

Applicant: 北京石油化工学院 ,  北京海炬电子科技有限公司

Inventor： 刘强 ,  徐杰 ,  俞建荣 ,  赵甜甜 ,  袁野 ,  李晶 ,  桑建 ,  王子羲

IPC: H01L33/00 ,  H01L21/683

Abstract: 本发明公开了一种Mini/Micro LED芯片气动巨量转移装置，主要由芯片载台系统、基板载台系统和气动视觉系统组成，芯片载台系统主要包括：大理石底座、支座、外导轨、直线电机、芯片直线移动组件、纵向光栅尺、纵向光栅尺读数头、芯片旋转调节组件和芯片载板；基板载台系统主要包括：下光栅尺、下光栅尺读数头、内导轨、内电机、基板纵向移动组件和基板横向移动组件；气动视觉系统主要包括：支撑梁、上导轨、上直线电机、上横向移动组件、调压阀、高频电磁阀、横向光栅尺读数头、横向光栅尺、固定座底板、固定座、工业CCD相机和气嘴。本发明采用气动方式进行巨量转移，具有转移效率高、精度高及良率高，且不损伤基板和芯片，不污染工作环境，符合绿色生产安全理念。

公开(公告)号：CN114999988A

公开(公告)日：2022-09-02

申请号：CN202210520697.X

申请日：2022-05-13

Applicant: 北京石油化工学院 ,  北京海炬电子科技有限公司

Inventor： 刘强 ,  徐杰 ,  李晶 ,  桑建 ,  陈永铭 ,  王子羲 ,  俞建荣 ,  马宁

IPC: H01L21/683 ,  H01L21/68 ,  H01L21/67 ,  H01L33/00 ,  H01L33/48 ,  C09J7/29

Abstract: 本发明公开了一种基于微孔介质气化原晶膜的巨量转移装置，主要由原晶膜载台系统、基板载台系统和激光视觉系统组成。原晶膜载台系统主要包括：支撑座、上纵向导轨、原晶膜纵向移动台组件、上光栅尺、上光栅尺读数头、原晶膜横向移动台组件、原晶膜角度调节台组件、连接板、上横向电机、上纵向电机、原晶膜和芯片；基板载台系统主要包括：基板横向移动台组件、基板、基板纵向移动台组件、下光栅尺、下光栅尺读数头、下纵向电机和下纵向导轨；激光视觉系统主要包括：工业CCD相机和激光器。本发明利用微孔介质气化进行芯片转移，具有高可控性，高转移精度，工作温度友好，对芯片的损伤小，无污染，且晶膜可重复使用。

公开(公告)号：CN115101635A

公开(公告)日：2022-09-23

申请号：CN202210827969.0

申请日：2022-07-12

Applicant: 北京石油化工学院 ,  北京海炬电子科技有限公司

Inventor： 刘强 ,  樊竞超 ,  牛德树 ,  徐杰 ,  王和标 ,  王子羲

IPC: H01L33/00

Abstract: 本发明公开了一种LED芯片激光气动巨量转移原晶膜及其制作方法，主要由微孔网格层、液气双态介质、密封胶层、弹性体层、光敏胶层、背衬层和背衬层卡槽组成。利用液气双态介质易升温且沸点低的特性和微孔网格层限制液气双态介质位置，使用激光照射液气双态介质将其气化产生气泡，实现芯片的巨量转移，并借助超声振动加压，保证液气双态介质填充度。可用于Mini/Micro LED芯片巨量转移，转移作用力平和可控，芯片损伤小，避免了激光烧蚀热化学作用对芯片的损伤，采用微孔网格层限制液气双态介质位置，在提升了转移良率和精度的同时，提高了液气双态介质的填充均匀性和晶膜的重复使用率。

公开(公告)号：CN115107527A

公开(公告)日：2022-09-27

申请号：CN202210504459.X

申请日：2022-05-10

Applicant: 北京石油化工学院

Inventor： 刘强 ,  马宁 ,  高晴利 ,  王子羲 ,  赵甜甜 ,  李晶

IPC: B60L13/10 ,  B61B13/08

Abstract: 本发明公开了一种浮驱一体磁悬浮曲线运动轨道小车，主要由轨道系统和小车系统两部分组成，轨道系统主要包括：梯形凹槽轨道、保护导轨、永磁导轨和绝缘支架；小车系统包括：车体支架组件、电机动子、自润滑关节轴承、载物箱连接座、载物箱和锂电池。本发明提出了一种浮驱一体磁悬浮曲线运动轨道小车，采用车体下斜侧面的永磁体和电机动子共用轨道上斜侧面永磁导轨实现悬浮与驱动的融合，通过车体下斜侧面的永磁体和轨道上斜侧面的永磁导轨实现五自由度非接触被动悬浮。具有浮驱一体，悬浮不耗电，无固体多余物和机械噪音的优点，特别适用于制药无菌无尘车间、芯片加工厂、大型医院等场所。

公开(公告)号：CN115107528A

公开(公告)日：2022-09-27

申请号：CN202210647350.1

申请日：2022-06-09

Applicant: 北京石油化工学院

Inventor： 刘强 ,  马宁 ,  王伟 ,  高晴利 ,  王子羲 ,  袁野 ,  席军

IPC: B60L13/10 ,  B61B13/08

Abstract: 本发明公开了一种隔振浮驱一体式磁悬浮轨道小车，主要由轨道系统、小车系统和载物箱三部分组成，轨道系统主要包括：导轨支撑板、悬浮驱动永磁导轨、导轨侧板、导向磁轨、密封盖和吊装支架组件；小车系统包括：车体支架组件、自润滑关节轴承、支架连接板组件、电机连接板、电机动子和锂电池。通过负载变化量和干扰大小控制阻尼线圈电流产生隔振电磁悬浮阻尼力，实现小车振动控制与抑制，同时采用驱动与悬浮共用磁场，实现浮驱一体，提高了磁场利用率，降低了轨道成本，具有抗干扰能力强、悬浮稳定好的优点，特别适用于无菌无尘制药车间、高端芯片制造车间、大型医院等场合。

公开(公告)号：CN109973527A

公开(公告)日：2019-07-05

申请号：CN201910354732.3

申请日：2019-04-29

Applicant: 北京石油化工学院

Inventor： 马丽梅 ,  刘强 ,  王子羲 ,  隋金玲 ,  吴波 ,  赵勇 ,  韩祚达 ,  吴立志 ,  单希林

IPC: F16C32/04

Abstract: 本发明公开了一种具有halbach聚磁环的高刚度大阻尼轴向被动磁轴承，主要由定子系统和转子系统两部分组成，定子系统与设备的基座相连，转子系统与设备的转动部分相连。定子系统主要包括：安装套、主磁环组件、halbach聚磁环组件和组件锁母；转子系统主要包括：转子、阻尼套和顺磁环。本发明设计了halbach聚磁环，并将其应用在主磁环表面，结合转子多凸台和内嵌阻尼套结构，在减小磁轴承体积重量的同时，有效提高了被动磁轴承支承刚度和阻尼力，halbach聚磁环的使用，有效抑制了寄生力所带来的干扰。