公开(公告)号：CN115084323A

公开(公告)日：2022-09-20

申请号：CN202210851514.2

申请日：2022-07-20

Applicant: 北京石油化工学院 ,  北京海炬电子科技有限公司

Inventor： 刘强 ,  冯倩 ,  陈永铭 ,  黄艳 ,  樊竞超 ,  徐杰

IPC: H01L33/00

Abstract: 本发明公开了一种Mini/Micro LED芯片超声振动剥离巨量转移装置，主要由芯片承载系统、激光超声视觉系统和基板承载系统三部分组成，芯片承载系统包括：大理石平台、支座、承载支架和承载板；激光超声视觉系统包括：上电机定子、上导轨、上移动组件、超声振动运动模块、超声振动驱动器、超声振动组件、激光器、激光调焦镜头、工业CCD相机、上光栅尺和上光栅尺读数头；基板承载系统包括：下电机定子、下导轨、下移动组件、升降组件、下光栅尺和下光栅尺读数头。本发明利用紫外激光照射粘性层降低其粘性，仅需低能量的超声振动将芯片剥离，不会引起芯片损伤和弹性膜疲劳，提升芯片和弹性膜寿命，更好控制芯片的转移落点和角度误差，提高芯片转移精度和良率。

公开(公告)号：CN114999988A

公开(公告)日：2022-09-02

申请号：CN202210520697.X

申请日：2022-05-13

Applicant: 北京石油化工学院 ,  北京海炬电子科技有限公司

Inventor： 刘强 ,  徐杰 ,  李晶 ,  桑建 ,  陈永铭 ,  王子羲 ,  俞建荣 ,  马宁

IPC: H01L21/683 ,  H01L21/68 ,  H01L21/67 ,  H01L33/00 ,  H01L33/48 ,  C09J7/29

Abstract: 本发明公开了一种基于微孔介质气化原晶膜的巨量转移装置，主要由原晶膜载台系统、基板载台系统和激光视觉系统组成。原晶膜载台系统主要包括：支撑座、上纵向导轨、原晶膜纵向移动台组件、上光栅尺、上光栅尺读数头、原晶膜横向移动台组件、原晶膜角度调节台组件、连接板、上横向电机、上纵向电机、原晶膜和芯片；基板载台系统主要包括：基板横向移动台组件、基板、基板纵向移动台组件、下光栅尺、下光栅尺读数头、下纵向电机和下纵向导轨；激光视觉系统主要包括：工业CCD相机和激光器。本发明利用微孔介质气化进行芯片转移，具有高可控性，高转移精度，工作温度友好，对芯片的损伤小，无污染，且晶膜可重复使用。