一种低压差稳压器
    8.
    发明公开

    公开(公告)号:CN115469706A

    公开(公告)日:2022-12-13

    申请号:CN202211085702.5

    申请日:2022-09-06

    Abstract: 本发明涉及一种低压差稳压器,该低压差稳压器包括第一带隙基准源电路、误差放大器、P型传输管、电阻RF1、电阻RF2、电容C0;第一带隙基准源电路,用于产生与温度无关的基准电压信号,电压信号连接至误差放大器的负输入端,误差放大器的输出端连接P型传输管的栅极;误差放大器的供电端和P型传输管的源端、衬底均连接至电源VDD,P型传输管的漏端同时连接电阻RF1和电容C0的一端,电阻RF1的另一端连接误差放大器的正输入端和电阻RF2,电阻RF2的另一端和电容C0的另一端接地。

    一种提高干法刻蚀精度的薄膜辅助方法和干法刻蚀产品

    公开(公告)号:CN118983300A

    公开(公告)日:2024-11-19

    申请号:CN202410966953.7

    申请日:2024-07-18

    Abstract: 本发明公开一种提高干法刻蚀精度的薄膜辅助方法和干法刻蚀产品。在待刻材料表面设计一刻蚀监控区A,通过监控A区的材料刻蚀情况来得到器件刻蚀区域B的材料刻蚀情况。通常在材料刻蚀前,会在待刻蚀材料的表面生长一层介质层,用来作为材料刻蚀的掩膜层。将A区掩膜层设计为具有周期性图案的介质薄膜。在材料刻蚀过程中,通过该具有周期性图案的薄膜对EPD信号进行调制和放大,从而加强EPD信号的强度和可分析性。通过监控区的材料刻蚀情况来得到器件区的材料刻蚀情况。周期性图案覆盖区域与从待刻蚀材料区域反射回的光发生干涉叠加,不仅改善了EPD监控曲线的形态,还提高了其强度,使得原本难以监控的薄膜厚度变化变得可实时精确监控。

    一种低压差稳压器
    10.
    发明授权

    公开(公告)号:CN115469706B

    公开(公告)日:2024-02-09

    申请号:CN202211085702.5

    申请日:2022-09-06

    Abstract: 本发明涉及一种低压差稳压器,该低压差稳压器包括第一带隙基准源电路、误差放大器、P型传输管、电阻RF1、电阻RF2、电容C0;第一带隙基准源电路,用于产生与温度无关的基准电压信号,电压信号连接至误差放大器的负输入端,误差放大器的输出端连接P型传输管的栅极;误差放大器的供电端和P型传输管的源端、衬底均连接至电源VDD,P型传输管的漏端同时连接电阻RF1和电容C0的一端,电阻RF1的另一端连接误差放大器的正输入端和电阻RF2,电阻RF2的另一端和电容C0的另一端接地。

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