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公开(公告)号:CN115382476B
公开(公告)日:2024-10-22
申请号:CN202210883077.2
申请日:2022-07-26
Applicant: 华东师范大学
Abstract: 本发明公开了一种超小粒径聚合物纳米颗粒的制备方法,涉及流动化学中使用微流控芯片进行纳米颗粒合成领域。本发明基于多通道微量注射泵和飞秒激光加工技术精细化刻制的三维通道微混合石英芯片构建了一个完整而简单的微反应体系,通过控制微混合芯片入口处的流速,可以合成重复性好、可持续大批量生产的超小粒径(<10 nm)聚合物纳米颗粒。合成的聚合物纳米颗粒可以作为靶向给药载体,荧光探针等,用于各类生物医学领域。
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公开(公告)号:CN117452676A
公开(公告)日:2024-01-26
申请号:CN202311510395.5
申请日:2023-11-14
Applicant: 华东师范大学
Abstract: 本发明公开了一种基于铌酸锂薄膜的相干合成波导放大器及实现方法,利用掺杂铒离子的增益材料来制备高功率输出的集成器件。所述相干合成波导放大器由1480nm泵浦激光二极管芯片、1550nm激光二极管芯片以及包含波导放大器、铌酸锂电光调制器和多模干涉仪的铌酸锂光子芯片组成。器件材料包括铌酸锂、二氧化硅和硅等。通过将激光二极管芯片与铌酸锂芯片耦合、集成和封装,实现了高功率的一体化相干合成波导放大器。本发明的集成器件具有推动高功率多通道相干光束合并光子电路发展的潜力,可以实现精确可靠的相位锁定。这一进展为光通信、激光制冷和激光雷达等领域开辟了新的应用前景。
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公开(公告)号:CN117331252A
公开(公告)日:2024-01-02
申请号:CN202311379667.2
申请日:2023-10-24
Applicant: 华东师范大学
IPC: G02F1/03
Abstract: 本发明公开了一种基于铌酸锂薄膜有源无源集成芯片及制备方法,其制备包括:先将相同厚度的有源铌酸锂薄膜和无源铌酸锂薄膜进行特定方向切割和端面抛光,再使用特别设计的夹具,将有源硅基铌酸锂薄膜和无源硅基铌酸锂薄膜进行无缝对接,最后通过飞秒激光直写结合化学机械抛光技术在集成的铌酸锂薄膜材料上制备微纳结构。本发明基于铌酸锂薄膜有源无源集成芯片制备方法具有各部分薄膜可按需集成,集成后结构可任意设计,尺寸可调的特点,能够很大程度促进需要片上光源和放大器的大规模高性能光子器件的发展。
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公开(公告)号:CN108411286B
公开(公告)日:2023-11-24
申请号:CN201810093285.6
申请日:2018-01-31
Applicant: 华东师范大学
Abstract: 本发明公开了一种任意构型三维导电金属微纳结构的制造方法,先利用飞秒激光微加工技术在透明材料内部制作出三维微通道,然后通过蠕动泵将化学镀溶液连续传输通过微通道进行通道内部的表面改性及后续金属层沉积,最后通过化学蚀刻将透明材料基体去除获得三维构型导电金属立体微结构。本发明制造的三维金属微纳结构具有空间构型可任意设计,尺寸可调,高电导率,高熔点的特点,在微电子学,光子学,微纳电机系统,微纳传感,催化等领域具有很大应用前景。(56)对比文件Jian Xu et al..Electrofluidicsfabricated by space-selectivemetallization in glass microfluidicstructures using femtosecond laser directwriting《.Lab Chip》.2013,(第13期),
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公开(公告)号:CN111661872B
公开(公告)日:2022-10-04
申请号:CN202010546092.9
申请日:2020-06-16
Applicant: 华东师范大学
Abstract: 本发明公开了一种纳米氧化锗的制备方法,该方法以锗酸根离子水溶液为前驱液,通过硫酸溶液调节前驱液pH值,再利用油包水的反向胶束来限制氧化锗颗粒的生长空间,从而对氧化锗颗粒的粒径和形貌进行调控。该制备方法所使用的表面活性剂为十六烷基三甲基溴化铵即CTAB,油相为正丁醇。本发明制备纳米氧化锗的制备工艺简单,成本较低,制备得到的纳米氧化锗粒径小,比表面积大,具有良好的分散性、稳定性,在催化合成高品质聚酯方面具有广阔的应用前景。
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公开(公告)号:CN111474622B
公开(公告)日:2022-08-16
申请号:CN202010299916.7
申请日:2020-04-16
Applicant: 华东师范大学
Abstract: 一种在透明材料内制备三维光波导及光子器件结构的方法,该方法基于超快激光选择性湿法刻蚀在透明材料内部制备出三维微通道,然后在微通道内填充导波材料,形成三维光波导。通过制作不同空间构型的微通道结构,能够实现多种功能性光波导器件的可控制备。相比于传统的光波导制备方法,该方法具有如下技术优势:通过灵活选取填充材料,能够实现近红外、中红外波段波导、偏振无关波导和有源波导器件的高质量制备,而且光波导模场灵活可控,可具有较小的弯曲半径;结合超快激光加工的三维特性,可以在芯片上高密度集成复杂的三维光子回路。因此,该方法在光通信网络、光互连、天文光子学、微流控芯片等领域具有重要的应用价值。
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公开(公告)号:CN113507039B
公开(公告)日:2022-07-08
申请号:CN202110521827.7
申请日:2021-05-13
Applicant: 华东师范大学
Abstract: 本发明公开了一种基于单个回音壁模式光学微腔的单模微激光器及实现方法,包括制备所需的掺杂稀土离子或含有量子点等增益材料的单个回音壁模式光学微腔,光学微腔的构型包括微盘腔、环形微腔、跑道形微腔;材料种类包括铌酸锂、二氧化硅、氮化硅等;制备所需尺寸、能激发光学微腔高阶模的光纤锥或光波导,包括脊型波导、圆形波导等;将光纤锥或光波导与微腔耦合、集成、封装。将泵浦光耦合到光纤锥或光波导,激发由光学微腔的基模和高阶模叠加而成的、具有多边形结构的复合模式,而且比基纵模具有高的品质因子。使得泵浦光和激射光分别与所述的复合模式共振,获得低阈值、窄线宽的单模激射。
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公开(公告)号:CN113385838B
公开(公告)日:2022-07-08
申请号:CN202110515967.3
申请日:2021-05-12
Applicant: 华东师范大学
IPC: B23K26/382 , B23K26/046
Abstract: 本发明公开了一种提高飞秒激光金属材料钻孔效率以及钻孔厚度的方法,用于解决现阶段厚金属材料的飞秒激光钻孔由于大脉冲能量、极高能量密度而电离空气而降低能量利用效率的问题;同时合理的设置钻孔路径,解决钻孔材料太厚而屏蔽激光的问题,从而提高飞秒激光金属材料钻孔效率以及钻孔厚度。同时,本发明采用了高速光束自转,避免因非圆形光束而产生钻孔圆度不圆的问题。
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公开(公告)号:CN111129934B
公开(公告)日:2021-10-12
申请号:CN201911171685.5
申请日:2019-11-26
Applicant: 华东师范大学
Abstract: 本发明公开了一种基于铌酸锂微腔可调光频梳及其制备方法,先利用飞秒激光直写结合化学机械抛光技术在铌酸锂薄膜材料上制备出铌酸锂微腔与集成电极,再通过集成电极对产生光频梳的铌酸锂微腔进行调控,进而实现基于铌酸锂微腔可调光频梳的微纳结构。本发明基于铌酸锂微腔的可调光频梳具有空间形状可任意设计、尺寸可调、高调控效率和高调控范围的特点,在光钟、光通讯、精密光谱探测和量子计算等高科技领域具有很大应用前景。
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公开(公告)号:CN112359349A
公开(公告)日:2021-02-12
申请号:CN202011191582.8
申请日:2020-10-30
Applicant: 华东师范大学
Abstract: 本发明公开了一种柔性化学镀铜太赫兹传输空芯波导及制备方法,是以ABS塑料管为基管,在ABS塑料管内表面通过无钯动态化学镀铜工艺,制备高质量致密铜层,实现低损耗太赫兹传输。所述空芯波导的设计参数:空芯波导的内径3 mm~10 mm,波导基材ABS塑料的厚度0.6mm‑1mm,对应的空芯波导的外径3.6 mm~11 mm。所述无钯动态化学镀铜工艺包括如下步骤:将选取的波导基管进行除油处理、酸性处理和敏化处理,再利用蠕动泵,将配置的适量镀铜液通入基管内进行动态循环,生长铜层,最后通氮气吹干得到镀铜太赫兹传输空芯波导,其中铜层的均方根粗糙度为40nm‑50nm。本发明空芯波导的制备,无需使用价格高昂的钯活性剂,镀铜液可循环利用,消耗少,成本低,波导结构制作简单,可弯曲,低损耗,传输频段宽和可室温工作等优点,具有巨大的应用价值。
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