公开(公告)号：CN115047720A

公开(公告)日：2022-09-13

申请号：CN202210515969.7

申请日：2022-05-12

Applicant: 华中科技大学

Inventor： 孙秦 ,  王新兵 ,  左都罗

IPC: G03F7/20 ,  H05G2/00

Abstract: 本发明属于极紫外光源技术领域，尤其涉及一种极紫外光源中液滴靶空间位置的监控系统及方法，利用单个CCD对XOZ平面和YOZ平面上的液滴同时成像，实现液滴锡靶空间位置的实时监控。并在此基础上，发展了手动控制和自动控制两种反馈调控方式对液滴发生器的空间位置进行反馈调节，使液滴的运动路径始终经过激光焦点。本发明可以基于CCD拍摄的液滴射流图片对极紫外光刻机光源中液滴靶空间位置进行实时反馈调节，具有结构简单，精度高，易于实施的优点，并且能够有效修正目标液滴路径相对激光焦点的偏移，有利于提高LPP辐射的EUV光产生效率。

公开(公告)号：CN116528448A

公开(公告)日：2023-08-01

申请号：CN202310385640.8

申请日：2023-04-11

Applicant: 广东省智能机器人研究院 ,  华中科技大学

Inventor： 王新兵 ,  孙秦 ,  左都罗 ,  马修泉 ,  陆陪祥

IPC: H05G2/00

Abstract: 本发明提供一种均匀液滴产生装置及极紫外光源，包括喷射件及扰动机构。其中，所述喷射件设有用于输送液体介质的喷射通道；所述扰动机构与所述喷射件的外侧壁传动配合，所述扰动机构用于向所述喷射件传递周期性扰动，以使得所述喷射通道内的液体介质断流形成液滴。本申请中的扰动机构设置在喷射件的外侧壁，避免扰动机构污染流体介质的同时，还避免了喷射件内的流体介质与扰动机构发生干涉而导致扰动机构失能的问题，保证均匀液滴产生装置能够稳定、可靠的产生均匀液滴，相对于传统的径向扰动方式，可不需要能够抵抗高温的压电陶瓷，保证扰动机构在扰动高温液体介质时不会失能，提高了均匀液滴生产装置及极紫外光源的可靠性。

公开(公告)号：CN117826168A

公开(公告)日：2024-04-05

申请号：CN202311874261.1

申请日：2023-12-29

Applicant: 广东省智能机器人研究院 ,  华中科技大学

Inventor： 左都罗 ,  王新兵 ,  陈泽功 ,  孙秦 ,  马修泉 ,  陆培祥

IPC: G01S17/08 ,  G03F7/20 ,  G01S17/88 ,  G01S7/481 ,  G01B11/02

Abstract: 本申请涉及一种激光等离子体极紫外光源的液滴检测装置，包括：探测激光器，用于输出探测光束；偏振分束镜，偏振分束镜的透射p偏光偏振方向与探测光束的偏振方向一致；第一透镜，用于将探测光束汇聚在液滴流所在的位置，形成照明区域；其中，当液滴流中的某一液滴经过照明区域时，被该液滴后向反射的探测光束经第一透镜准直为平行光束，平行光束经1/4波片后，转变为偏振分束镜的反射s偏光；光电探测器，用于接收反射s偏光，并生成目标光电信号；信号处理电路，用于对目标光电信号进行处理，得到液滴流中被检测该液滴对应的到达时刻信息和液滴流的侧向偏移信息。本申请能够减少真空腔室的窗口使用量。

公开(公告)号：CN116858806A

公开(公告)日：2023-10-10

申请号：CN202310643927.6

申请日：2023-06-01

Applicant: 广东省智能机器人研究院 ,  华中科技大学

Inventor： 王新兵 ,  孙秦 ,  左都罗 ,  马修泉 ,  陆陪祥

IPC: G01N21/39 ,  G03B17/17 ,  G01N21/85 ,  G01N21/01

Abstract: 本申请涉及一种激光液滴冲击过程的阴影成像设备，包括打靶激光器、正向光源件、第一分光件、第二分光件及第一成像接收件。第一分光件用于透过打靶激光。第一分光件还用于将正向成像光束反射至与透过第一分光件的打靶激光重合。第二分光件能够透过由第一分光件反射过来的正向成像光束。第二分光件还用于反射透过了第一分光件的打靶激光。第一成像接收件用于接收未被液滴所吸收且透过了第二分光件的正向成像光束。第一成像接收件用于根据接收到的正向成像光束而产生反映液滴形态的图像信息。正向成像激光的透射方向与液滴的主要变形扩散方向处于完全垂直的关系，避免了后期需要对图像信息作较多的角度校正调整。

公开(公告)号：CN111946574B

公开(公告)日：2022-02-15

申请号：CN202010654246.6

申请日：2020-07-07

Applicant: 华中科技大学 ,  上海空间推进研究所

Inventor： 武耀星 ,  田雷超 ,  孙秦 ,  王新兵 ,  左都罗

IPC: F03H1/00

Abstract: 本发明公开一种激光诱导射频放电等离子体推进器，包括：外电极、绝缘层、内电极、外电极射频电源、内电极射频电源、传动轴以及步进电机；外电极、绝缘层和内电极依次同轴心设置，组合成一个双电极加速系统；外电极射频电源通过传动轴与外电极相连，为外电极提供加速所需的高频电压；内电极射频电源通过传动轴与内电极相连，为内电极提供加速所需的高频电压；步进电机通过传动轴与介质靶材相连，带动介质靶材以恒定速度旋转；双电极加速系统与介质靶材之间形成交变电场；介质靶材在脉冲激光的作用下产生激光等离子体，激光等离子体在交变电场中得到多次加速后喷出。本发明可有效实现对激光等离子体的多次加速，对激光等离子体推进技术有重要意义。

公开(公告)号：CN111946574A

公开(公告)日：2020-11-17

申请号：CN202010654246.6

申请日：2020-07-07

Applicant: 华中科技大学 ,  上海空间推进研究所

Inventor： 武耀星 ,  田雷超 ,  孙秦 ,  王新兵 ,  左都罗

IPC: F03H1/00

Abstract: 本发明公开一种激光诱导射频放电等离子体推进器，包括：外电极、绝缘层、内电极、外电极射频电源、内电极射频电源、传动轴以及步进电机；外电极、绝缘层和内电极依次同轴心设置，组合成一个双电极加速系统；外电极射频电源通过传动轴与外电极相连，为外电极提供加速所需的高频电压；内电极射频电源通过传动轴与内电极相连，为内电极提供加速所需的高频电压；步进电机通过传动轴与介质靶材相连，带动介质靶材以恒定速度旋转；双电极加速系统与介质靶材之间形成交变电场；介质靶材在脉冲激光的作用下产生激光等离子体，激光等离子体在交变电场中得到多次加速后喷出。本发明可有效实现对激光等离子体的多次加速，对激光等离子体推进技术有重要意义。