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公开(公告)号：CN105239038B
公开(公告)日：2017-12-05
申请号：CN201410251897.5
申请日：2014-06-09
Applicant: 华中科技大学
Abstract: 本发明公开了一种采用图形喷嘴的有机气相成膜装置，包括蒸发腔、与蒸发腔连通的喷印头及与喷印头相距一定间隙的基板载台，基板载台受控制相对喷印头分别沿喷印头主轴方向、与喷印头主轴垂直平面内的水平方向以及平面内与水平方向垂直的第三方向直线移动。喷印头包括喷印头基体、包覆喷印头基体的加热套、位于喷印头基体一端的图形喷嘴、与图形喷嘴连通的混合腔以及连通所述蒸发腔与混合腔的气体入口。图形喷嘴的开口具有一定形状，蒸发腔用于蒸发固体有机材料得到气相有机材料并通过喷印头的气体入口进入喷印头的混合腔，接着通过图形喷嘴喷出到位于基板载台的基板上，以制备与图形喷嘴的开口形状相同的图形薄膜。
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公开(公告)号：CN105239038A
公开(公告)日：2016-01-13
申请号：CN201410251897.5
申请日：2014-06-09
Applicant: 华中科技大学
Abstract: 本发明公开了一种采用图形喷嘴的有机气相成膜装置，包括蒸发腔、与蒸发腔连通的喷印头及与喷印头相距一定间隙的基板载台，基板载台受控制相对喷印头分别沿喷印头主轴方向、与喷印头主轴垂直平面内的水平方向以及平面内与水平方向垂直的第三方向直线移动。喷印头包括喷印头基体、包覆喷印头基体的加热套、位于喷印头基体一端的图形喷嘴、与图形喷嘴连通的混合腔以及连通所述蒸发腔与混合腔的气体入口。图形喷嘴的开口具有一定形状，蒸发腔用于蒸发固体有机材料得到气相有机材料并通过喷印头的气体入口进入喷印头的混合腔，接着通过图形喷嘴喷出到位于基板载台的基板上，以制备与图形喷嘴的开口形状相同的图形薄膜。
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公开(公告)号：CN203904443U
公开(公告)日：2014-10-29
申请号：CN201420306653.8
申请日：2014-06-09
Applicant: 华中科技大学
Abstract: 本实用新型公开了一种采用图形喷嘴的有机气相成膜装置，包括蒸发腔、与蒸发腔连通的喷印头及与喷印头相距一定间隙的基板载台，基板载台受控制相对喷印头分别沿喷印头主轴方向、与喷印头主轴垂直平面内的水平方向以及平面内与水平方向垂直的第三方向直线移动。喷印头包括喷印头基体、包覆喷印头基体的加热套、位于喷印头基体一端的图形喷嘴、与图形喷嘴连通的混合腔以及连通所述蒸发腔与混合腔的气体入口。图形喷嘴的开口具有一定形状，蒸发腔用于蒸发固体有机材料得到气相有机材料并通过喷印头的气体入口进入喷印头的混合腔，接着通过图形喷嘴喷出到位于基板载台的基板上，以制备与图形喷嘴的开口形状相同的图形薄膜。
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