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公开(公告)号：CN103166613A
公开(公告)日：2013-06-19
申请号：CN201310034366.6
申请日：2013-01-29
Applicant: 华中科技大学
Abstract: 本发明公开了一种磁开关压缩脉冲电源复位电路，它包括两级磁开关复位电路，一级磁开关复位电路包括依次串联并构成回路的第一耦合线圈、直流偏置电流源、第一电感和第二耦合线圈，第一耦合线圈绕组用于在一级磁开关的环形磁芯上；第二耦合线圈绕组用于绕制在变压器的环形磁芯上；二级磁开关复位电路包括依次串联并构成回路的第三耦合线圈、第二电感和第四耦合线圈，第三耦合线圈绕组用于在可饱和变压器的环形磁芯上，第四耦合线圈绕组用于在二级磁开关的环形磁芯上。本发明解决现有准分子激光电源中磁压缩开关电路中的复位电路设计复杂的问题，利用在高压部分提供的一种无源复位电路，可以获得低延时分散性的高压脉冲输出。
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公开(公告)号：CN103022858A
公开(公告)日：2013-04-03
申请号：CN201210525708.X
申请日：2012-12-07
Applicant: 华中科技大学
IPC: H01S3/038
Abstract: 本发明提供一种电晕预电离装置，该装置包括同心布置的电晕外电极，介质管、内电极，电晕内电极位于介质管内，半径略小于介质管的内径，电晕外电极与放电腔的第一主放电电极是电气相连的，内电极通过引线与放电腔的第二主放电电极相连。通过采用大面积的电晕外电极与介质管间隔形成障碍放电，获得均匀分布的较高预电离电子密度。外电极将UV辐射限制在主放电区，从而提高了UV利用率，避免了一些有害弧光和寄生放电的产生。电晕电极布局结构紧凑，不会影响工作气体的流动。采用半径略小于介质管内径的电晕内电极且将内电极一端固定，另一端用弹片柔性连接的方法消除了由于长期工作内电极受热膨胀的影响，提高了预电离装置长期工作的稳定性。
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公开(公告)号：CN103001109A
公开(公告)日：2013-03-27
申请号：CN201210513378.2
申请日：2012-12-03
Applicant: 华中科技大学
IPC: H01S3/08
Abstract: 本发明属于准分子激光技术领域，提供了一种准分子激光器环形腔调节装置和方法。所述装置包括参考光源，用于产生校准所用参考光束；反射镜，小孔光阑和屏。所述方法尤其适用于环形腔调节参考光与准分子激光同轴方法。该方法以放电腔在两密封窗口外的荧光光斑中心为基准确定放电腔光轴位置，通过调整环形腔内两面反射镜来使参考光绕环形腔一周后与其刚进入耦合镜的二次反射光在近点与远点光斑重合，从而实现准分子激光器环形腔腔体的调整。本发明克服了传统方法的局限性，将环形腔的调节简化为腔外两光束重合的调节，调节精度高，不需要拆除密封窗口，不需要额外的测量仪器，操作简单。
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公开(公告)号：CN103001108B
公开(公告)日：2014-12-10
申请号：CN201210513358.5
申请日：2012-12-03
Applicant: 华中科技大学
IPC: H01S3/08
Abstract: 本发明公开了一种准分子激光再生放大器，包括依次位于同一光路上的第一反射镜、第一波片、耦合镜、放大腔、第二波片和第二反射镜；第一、第二波片均为四分之一波片，第一、第二反射镜为全反镜，且其反射面均朝向放大腔，耦合镜与放大腔的光轴之间的夹角等于耦合镜的布鲁斯角的余角。本发明通过在放大器内放置波片使输入光与输出光尽管位于耦合镜两侧，方向相同，但两者被很好地隔离，利于消除再生放大腔对主振荡器的影响，并且结构简单，便于调整，能够充分提取放大腔中的能量。
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公开(公告)号：CN103036146B
公开(公告)日：2014-10-29
申请号：CN201210493440.6
申请日：2012-11-28
Applicant: 华中科技大学
IPC: H01S5/042
Abstract: 一种准分子激光器脉冲电源，属于脉冲功率技术，解决现有脉冲电源中高压磁开关需要较复杂复位电路的问题，以简化电路结构，提高可靠性。本发明包括IGBT开关管、开关管驱动电路、一级磁开关、直流偏置电流源、可饱和脉冲变压器和二级磁开关。本发明在一级磁开关压缩电路设置直流偏置电流源，可控制调节初级储能电路能量转移效率、脉冲压缩宽度以及脉冲延时；利用可饱和脉冲变压器次级绕组和二级磁开关两端充放电电压方向相反的特殊性，省去了磁芯复位电路，两级磁开关均可在长期高重复率条件下工作，具有较强的通流能力和较高的耐压承受等级，故障率极低且基本免维护；特别适用于要求精准延时控制的光刻用短脉冲放电激励的气体激光器。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN103063411A
公开(公告)日：2013-04-24
申请号：CN201210544766.7
申请日：2012-12-13
Applicant: 华中科技大学
Abstract: 本发明公开了一种高功率线偏振激光光束性能的测量装置；包括第一楔形镜，第一探测器和第二探测器；线偏振激光以布儒斯特角入射至第一楔形镜的外反射面上，入射光偏振方向在入射面内，反射光束光强为零，适当使楔形镜的外反射面有微小偏转，有少量激光经第一楔形镜的外反射面的反射光由第一探测器进行测量，经第一楔形镜的内反射面的反射光由第二探测器进行测量。而大部分透射的激光能量经过第二楔形镜后实现光斑无放大出射，其偏振特性不受影响。本发明采用楔形镜对入射激光进行分光，能够降低反射光束的能量及保持透射光束的偏振性，对激光光束多个参数进行同时测量。
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公开(公告)号：CN103049028A
公开(公告)日：2013-04-17
申请号：CN201210494571.6
申请日：2012-11-28
Applicant: 华中科技大学
IPC: G05F1/56
Abstract: 一种用于高压磁开关复位的恒流源，属于功率电子技术，解决现有恒流源缺乏高压隔离电路的问题，以用于高电压脉冲场合。本发明包括全桥逆变器、谐振电路、整流桥、高频滤波电路、反馈电路和控制电路。本发明利用MOS场效应管工作在零电流状态，使得输入的能量可以近乎无损耗地传输给串联谐振电路；通过调节MOS场效应管周期可以调节输出电流的大小，输出具有恒流源的特性，无须在输出端提供额外的镇流电阻；采用由滤波电感、滤波电容、隔离二极管和钳位二极管组成的高频滤波电路，阻断了脉冲电源中磁开关或变压器的复位电路中耦合的高压脉冲的影响，确保了恒流源的安全性。
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公开(公告)号：CN103166613B
公开(公告)日：2015-12-09
申请号：CN201310034366.6
申请日：2013-01-29
Applicant: 华中科技大学
Abstract: 本发明公开了一种磁开关压缩脉冲电源复位电路，它包括两级磁开关复位电路，一级磁开关复位电路包括依次串联并构成回路的第一耦合线圈、直流偏置电流源、第一电感和第二耦合线圈，第一耦合线圈绕组用于在一级磁开关的环形磁芯上；第二耦合线圈绕组用于绕制在变压器的环形磁芯上；二级磁开关复位电路包括依次串联并构成回路的第三耦合线圈、第二电感和第四耦合线圈，第三耦合线圈绕组用于在可饱和变压器的环形磁芯上，第四耦合线圈绕组用于在二级磁开关的环形磁芯上。本发明解决现有准分子激光电源中磁压缩开关电路中的复位电路设计复杂的问题，利用在高压部分提供的一种无源复位电路，可以获得低延时分散性的高压脉冲输出。
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公开(公告)号：CN103022858B
公开(公告)日：2014-09-24
申请号：CN201210525708.X
申请日：2012-12-07
Applicant: 华中科技大学
IPC: H01S3/038
Abstract: 本发明提供的电晕预电离装置，该装置包括同心布置的电晕外电极，介质管、内电极，电晕内电极位于介质管内，半径略小于介质管的内径，电晕外电极与放电腔的第一主放电电极是电气相连的，内电极通过引线与放电腔的第二主放电电极相连。通过采用大面积的电晕外电极与介质管间隔形成障碍放电，获得均匀分布的较高预电离电子密度。外电极将UV辐射限制在主放电区，从而提高了UV利用率，避免了一些有害弧光和寄生放电的产生。电晕电极布局结构紧凑，不会影响工作气体的流动。采用半径略小于介质管内径的电晕内电极且将内电极一端固定，另一端用弹片柔性连接的方法消除了由于长期工作内电极受热膨胀的影响，提高了预电离装置长期工作的稳定性。
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公开(公告)号：CN103049028B
公开(公告)日：2014-07-23
申请号：CN201210494571.6
申请日：2012-11-28
Applicant: 华中科技大学
IPC: G05F1/56
Abstract: 一种用于高压磁开关复位的恒流源，属于功率电子技术，解决现有恒流源缺乏高压隔离电路的问题，以用于高电压脉冲场合。本发明包括全桥逆变器、谐振电路、整流桥、高频滤波电路、反馈电路和控制电路。本发明利用MOS场效应管工作在零电流状态，使得输入的能量可以近乎无损耗地传输给串联谐振电路；通过调节MOS场效应管周期可以调节输出电流的大小，输出具有恒流源的特性，无须在输出端提供额外的镇流电阻；采用由滤波电感、滤波电容、隔离二极管和钳位二极管组成的高频滤波电路，阻断了脉冲电源中磁开关或变压器的复位电路中耦合的高压脉冲的影响，确保了恒流源的安全性。
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