公开(公告)号：CN117348201A

公开(公告)日：2024-01-05

申请号：CN202311223381.5

申请日：2023-09-21

Applicant: 华中科技大学

Inventor： 闫力松 ,  严冬 ,  马洋 ,  余晨阳 ,  王超凡 ,  张金伟

IPC: G02B13/14 ,  G02B13/00

Abstract: 本发明公开了一种宽光谱折反式物镜。宽光谱折反式物镜包括沿光轴方向依次设置的第一镜组、第二镜组、第三镜组；第一镜组包括弯月正透镜、弯月负透镜和平凸透镜，弯月正透镜的第一镜面和弯月负透镜的第二镜面的边缘区域设置反射面区域；入射光线在弯月正透镜和弯月负透镜中经过多次反射和折射，再经过平凸透镜后形成中间像；第一镜组具有正光焦度，增大数值孔径和校正像差；第二镜组和第三镜组均具有负光焦度；中间像经过第二镜组、第三镜组后再以平行光发射到像平面，满足：0.35＜|Rmin/f|＜1.5；f为弯月正透镜和弯月负透镜的组合焦距，Rmin为反射面中最小的曲率半径。实现同时具有宽光谱、高分辨、高数值孔径、大视场和长工作距离等的特性。

公开(公告)号：CN119246417A

公开(公告)日：2025-01-03

申请号：CN202411362288.7

申请日：2024-09-27

Applicant: 华中科技大学

Inventor： 闫力松 ,  马洋 ,  余晨阳 ,  姚旭峰 ,  张金伟

IPC: G01N21/01 ,  G01N21/88 ,  G02B27/00 ,  G03F7/00

Abstract: 本发明公开了一种用于半导体暗场缺陷检测的傅里叶过滤器的设计方法，属于半导体缺陷检测领域，该方法基于傅里叶光学原理求解晶圆表面图案的空间频谱，通过空间频谱分布设计相应空间频谱遮挡针，对晶圆表面图样进行过滤处理，以有效抑制图案噪声，突出显示晶圆表面其他种类的缺陷疵病，辅助暗场检测系统完成有图形晶圆的缺陷检测；该方法适用于各种形状和尺寸的有图案晶圆，由于空间频谱分析具有唯一性，可对不同图案的晶圆需进行频谱分析与傅里叶滤波器设计；此外，可通过改变滤波器中用于进行带通的滤波针的位置、滤波针之间的间隔等参数达到所需调制波面的设计要求，具有一定的设计自由度。