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公开(公告)号：CN109187551B
公开(公告)日：2023-08-22
申请号：CN201810981708.8
申请日：2018-08-27
Applicant: 中国电力科学研究院有限公司 , 华中科技大学 , 南京电气绝缘子有限公司
Inventor： 袁田 , 李政言 , 刘翔 , 张锐 , 付超 , 代静 , 汪英英 , 闫力松 , 武文华 , 蔡勇 , 江山 , 王昱晴 , 张虎 , 张勤 , 郭靖 , 夏旭东 , 范建二 , 沈亚梅 , 孔俊飞
IPC: G01N21/88
Abstract: 本发明公开了一种对玻璃绝缘子的玻璃件裂缝进行检测的及装置，属于电力设备维护技术领域。本发明方法包括：确定CCD相机与待测玻璃绝缘子玻璃件的距离；第一CCD相机拍摄待测玻璃绝缘子的多帧俯视图像的位置数据并合成待测玻璃绝缘子俯视图像，确定俯视图像的灰度；根据俯视图像确定待测玻璃绝缘子是否存在裂缝；第二CCD相机拍摄待测玻璃绝缘子的多帧俯视图像的位置数据并合成待测玻璃绝缘子侧视图像，确定侧视图像的灰度；根据侧视图像确定待测玻璃绝缘子是否存在裂缝，当存在裂缝，计算裂缝尺寸和裂缝位置，提交裂缝尺寸和裂缝位置到数据库，当不存在裂缝时，确定待测玻璃绝缘子合格。本发明通过全方位的光源分布和图像采集显著提高裂缝检测精度。
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公开(公告)号：CN110567393A
公开(公告)日：2019-12-13
申请号：CN201910729054.4
申请日：2019-08-08
Applicant: 华中科技大学
Abstract: 本发明公开了一种大曲率半径自由曲面镜面面形干涉测量装置及方法。其中测量装置包括干涉仪、CGH、光学透镜，通过在CGH设置主检测区域、与光学透镜对准区域、与干涉仪对准区域、镜面基准区域及透镜基准区域五种衍射区域对装置中的光学器件之间的位置进行调整，从而保证了检测光路中各光学元件的精确对准；本发明通过利用光学透镜对检测光路长度进行缩短，同时结合计算全息元件对待测自由曲面反射镜进行零位补偿，解决了现有技术由于在检测大曲率半径光学元件时检测光路的光程较长而导致的对测量环境要求较高测量困难的问题，为现代先进光学系统的制造开发提供保证，具有检测精度高，检测场地环境及尺寸要求简单等优点。
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公开(公告)号：CN119246417A
公开(公告)日：2025-01-03
申请号：CN202411362288.7
申请日：2024-09-27
Applicant: 华中科技大学
Abstract: 本发明公开了一种用于半导体暗场缺陷检测的傅里叶过滤器的设计方法，属于半导体缺陷检测领域，该方法基于傅里叶光学原理求解晶圆表面图案的空间频谱，通过空间频谱分布设计相应空间频谱遮挡针，对晶圆表面图样进行过滤处理，以有效抑制图案噪声，突出显示晶圆表面其他种类的缺陷疵病，辅助暗场检测系统完成有图形晶圆的缺陷检测；该方法适用于各种形状和尺寸的有图案晶圆，由于空间频谱分析具有唯一性，可对不同图案的晶圆需进行频谱分析与傅里叶滤波器设计；此外，可通过改变滤波器中用于进行带通的滤波针的位置、滤波针之间的间隔等参数达到所需调制波面的设计要求，具有一定的设计自由度。
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公开(公告)号：CN117705005A
公开(公告)日：2024-03-15
申请号：CN202311738492.X
申请日：2023-12-18
Applicant: 华中科技大学
IPC: G01B11/255 , G01B11/24
Abstract: 本发明属于镜面干涉检测领域，具体涉及一种凸自由曲面反射镜的全口径面形检测方法及装置，包括：获取待测凸自由曲面反射镜的预设理论面形，用以构造相位计算全息元件的多台阶结构，该多台阶结构能使全息元件对干涉仪所发出的检测光进行波前调整，且调整后检测光在由二次曲面反射镜汇聚后，能够沿着待测凸自由曲面反射镜整个全口径曲面理论轮廓的法向入射待测反射镜并沿法向返回，实现零位补偿干涉测量；依次对干涉仪、相位计算全息元件、二次曲面反射镜及凸自由曲面反射镜对准，并进行干涉测量，得到待测反射镜上各个检测点相对预设理论面形的法向偏离量，解析得到实际全口径面形。本发明能实现对大口径凸自由曲面反射镜面形的高精度干涉测量。
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公开(公告)号：CN110989188B
公开(公告)日：2021-03-26
申请号：CN201911313724.0
申请日：2019-12-18
Applicant: 华中科技大学
IPC: G02B27/62
Abstract: 本发明公开了一种K镜光学系统装调方法，属于光学元件装调领域。本发明包括以下步骤：S1、利用光学平行平板和干涉仪建立K镜光学系统光学基准；S2、借助五棱镜调节K2反射镜的位置，使K2反射镜镜面与K镜光学系统机械转轴平行；S3、按照机械平面位置放置K3反射镜，然后放入K1反射镜并调整K1反射镜位置，使干涉仪出射光经K1反射镜、K2反射镜、K3反射镜和光学平行平板反射后在干涉仪内形成零条纹。本发明具有装调精度高、装调方法简单、装调工具具有通用性等优点，同时在装调完成的K镜光学系统中留下相应光学基准，其可以作为K镜光学系统与后续光学系统对接的光学接口。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN109099871B
公开(公告)日：2020-01-21
申请号：CN201810588457.7
申请日：2018-06-08
Applicant: 华中科技大学
Abstract: 本发明公开了一种基于圆形靶标的干涉检测对准方法，其特征在于，包括以下步骤：(1)在光学反射镜表面粘贴圆形靶标；(2)对光学反射镜进行干涉检测，干涉检测结果记为Maptest；(3)对Maptest中对应靶标的区域进行标定，记为Targettest；(4)将光学反射镜移至加工机床，利用加工机床测头分别标定各个靶标中心为十字线焦点处的位置坐标，得到Targetprocess；(5)对光学反射镜干涉检测结果Maptest进行畸变矫正与对准，得到结果Mapcorrect；(6)基于插值计算对Mapcorrect中对应于靶标的区域进行数据填补得到Mapinterp。本发明通过对对准方法整体的对准流程设置进行改进，与现有技术相比能够有效解决在反射镜制造过程中的检测结果与后续加工对准的问题。
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公开(公告)号：CN110567392A
公开(公告)日：2019-12-13
申请号：CN201910713356.2
申请日：2019-08-02
Applicant: 华中科技大学
Abstract: 本发明属于先进光学系统技术领域，公开了一种凸自由曲面反射镜面形测试方法，能够构建由干涉仪、空间光调制器、球面反射镜、凸自由曲面反射镜组成的精确测试光路；其中，空间光调制器被划分为四种调制区域，分别用于对凸自由曲面反射镜进行测量、与干涉仪对准、与球面反射镜对准、以及投射十字线。本发明通过对测试光路的整体设计及光学元器件对准方式等进行改进，构建的精确测试光路能够基于混合补偿干涉测量凸自由曲面反射镜，与现有技术相比提供了一种新的测试思路，尤其能够有效解决大口径凸面干涉测量困难的问题，该方法通过利用球面反射镜提供会聚光路，同时结合空间光调制器对凸自由曲面反射镜完成零位补偿。
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公开(公告)号：CN117348201A
公开(公告)日：2024-01-05
申请号：CN202311223381.5
申请日：2023-09-21
Applicant: 华中科技大学
Abstract: 本发明公开了一种宽光谱折反式物镜。宽光谱折反式物镜包括沿光轴方向依次设置的第一镜组、第二镜组、第三镜组；第一镜组包括弯月正透镜、弯月负透镜和平凸透镜，弯月正透镜的第一镜面和弯月负透镜的第二镜面的边缘区域设置反射面区域；入射光线在弯月正透镜和弯月负透镜中经过多次反射和折射，再经过平凸透镜后形成中间像；第一镜组具有正光焦度，增大数值孔径和校正像差；第二镜组和第三镜组均具有负光焦度；中间像经过第二镜组、第三镜组后再以平行光发射到像平面，满足：0.35＜|Rmin/f|＜1.5；f为弯月正透镜和弯月负透镜的组合焦距，Rmin为反射面中最小的曲率半径。实现同时具有宽光谱、高分辨、高数值孔径、大视场和长工作距离等的特性。
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公开(公告)号：CN114252244B
公开(公告)日：2022-09-20
申请号：CN202111548383.2
申请日：2021-12-17
Applicant: 华中科技大学
IPC: G01M11/02
Abstract: 本发明公开了一种二次曲面反射镜拼接干涉检测子孔径规划方法及系统，属于先进光学系统技术领域，该方法通过将实际问题抽象为数学模型，利用曲面积分求解球面波前到曲面上各点光程差的平方和，使其取到最小值求出球心的最佳位置。利用该方法可以实现对二次曲面反射镜的子孔径规划，利用子孔径完成对待测非球面反射镜的全口径覆盖，同时避免了子孔径检测时标准球面波前与非球面子孔径间偏离量大导致测试条纹密度过大的问题。同时利用上述方法可以精确求得各子孔径测试时标准球面波前的球心位置及测试角度，即得到球面波前的最优位置。本发明可以进一步完善子孔径拼接检测方法，为现代先进光学系统的制造开发提供保证，可以提高光学检测的精度。
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公开(公告)号：CN114018176A
公开(公告)日：2022-02-08
申请号：CN202111255246.X
申请日：2021-10-27
Applicant: 华中科技大学
Abstract: 本发明公开了一种投影图像处理模块、三维重构方法及其系统，该方法包括将通过三步相移法生成的正弦条纹光栅图案编码进RGB信道，获得彩色图像并投影至被测物体以获取原始投影图像；计算原始投影图像相邻像素点间展开相位差值与相邻像素点间包裹相位差值的最小二乘解，得到第一包裹相位；对原始投影图像进行希尔伯特变换后计算相邻像素点间展开相位差值与相邻像素点间包裹相位差值的最小二乘解，得到第二包裹相位；对第一包裹相位和第二包裹相位进行加权计算，得到修正包裹相位并进行相位展开以被测物体的三维高度值。本申请只需要一帧彩色条纹相移图片，获取相位过程快速，且基于希尔伯特变换对非正弦误差进行补偿，可以将非正弦误差降低80％。
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