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公开(公告)号：CN111168485A
公开(公告)日：2020-05-19
申请号：CN202010086423.5
申请日：2020-02-11
Applicant: 华侨大学
Abstract: 本发明公开了超声振动辅助自旋转磨削机床主体及其主轴装置。主轴装置包括旋转主轴部分和超声振动部分，该超声振动部分固装在旋转主轴部分上；该超声振动部分包括超声发生器、换能器、变幅杆、砂轮和感应线圈；该超声发生器连接感应线圈，该感应线圈装接在换能器上，该换能器连接变幅杆，该砂轮固装在变幅杆末端上，该超声发生器产生超声信号，通过感应线圈传递至换能器产生超声振动，再通过变幅杆将轴向振动转换为砂轮的径向振动。它具有如下优点：可提高磨削效率，能提高加工表面质量，还可防止砂轮堵塞等，对于推动超声辅助磨削技术的广泛应用具有重要意义。
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公开(公告)号：CN111168485B
公开(公告)日：2024-06-07
申请号：CN202010086423.5
申请日：2020-02-11
Applicant: 华侨大学
Abstract: 本发明公开了超声振动辅助自旋转磨削机床主体及其主轴装置。主轴装置包括旋转主轴部分和超声振动部分，该超声振动部分固装在旋转主轴部分上；该超声振动部分包括超声发生器、换能器、变幅杆、砂轮和感应线圈；该超声发生器连接感应线圈，该感应线圈装接在换能器上，该换能器连接变幅杆，该砂轮固装在变幅杆末端上，该超声发生器产生超声信号，通过感应线圈传递至换能器产生超声振动，再通过变幅杆将轴向振动转换为砂轮的径向振动。它具有如下优点：可提高磨削效率，能提高加工表面质量，还可防止砂轮堵塞等，对于推动超声辅助磨削技术的广泛应用具有重要意义。
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公开(公告)号：CN111113166B
公开(公告)日：2024-06-07
申请号：CN202010086513.4
申请日：2020-02-11
Applicant: 华侨大学
Abstract: 本发明公开了超声辅助自旋转磨削机床主轴结构，包括换能器、变幅杆、主轴体、法兰盘、裙边结构部分、连接换能器的感应线圈和磨盘砂轮部分；该换能器固接变幅杆第一端，该变幅杆第二端固接主轴体第一端，该主轴体第二端固接有裙边结构部分，该磨盘砂轮部分固装在裙边结构部分，该换能器产生纵向超声振动，该纵向超声振动经变幅杆将纵向超声振动转换为径向超声振动，该裙边结构部分放大径向超声振动的振幅和振速，并带动磨盘砂轮部分径向超声振动；该主轴体中部固接有法兰盘以用于固接传动连接电机的主轴。它具有如下优点：利用超声振动辅助进行自旋转磨削加工，可减小磨削力，抑制裂纹的扩展，减小磨削损伤。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN113211302A
公开(公告)日：2021-08-06
申请号：CN202110539930.4
申请日：2021-05-18
Applicant: 华侨大学
Abstract: 本发明公开了用于半导体衬底研磨的金刚石结构研磨盘,包括基盘；基盘设有若干凸台，每相邻两凸台间留有间隙且该间隙形成为流道，凸台端面设凸起部，凸起部端面凹设有水平贯穿的沟槽，沟槽和流道相连通；凸台上套设有磨块，磨块由金刚石磨粒和金属结合剂制备而成且包括周壁和成型在周壁内的蜂窝结构，蜂窝结构上形成多个贯穿布置的孔洞；磨块的周壁套设在凸起部外且蜂窝结构位于凸起部上，孔洞和沟槽上下相连通。它具有如下优点：孔洞、沟槽和流道连通，既能供研磨液流动，提升流动均匀性，又能起到冷却和排屑作用，提高冷却、排屑性能；设有孔洞能提高磨块自锐性，提升研磨效率。
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公开(公告)号：CN111113166A
公开(公告)日：2020-05-08
申请号：CN202010086513.4
申请日：2020-02-11
Applicant: 华侨大学
Abstract: 本发明公开了超声辅助自旋转磨削机床主轴结构，包括换能器、变幅杆、主轴体、法兰盘、裙边结构部分、连接换能器的感应线圈和磨盘砂轮部分；该换能器固接变幅杆第一端，该变幅杆第二端固接主轴体第一端，该主轴体第二端固接有裙边结构部分，该磨盘砂轮部分固装在裙边结构部分，该换能器产生纵向超声振动，该纵向超声振动经变幅杆将纵向超声振动转换为径向超声振动，该裙边结构部分放大径向超声振动的振幅和振速，并带动磨盘砂轮部分径向超声振动；该主轴体中部固接有法兰盘以用于固接传动连接电机的主轴。它具有如下优点：利用超声振动辅助进行自旋转磨削加工，可减小磨削力，抑制裂纹的扩展，减小磨削损伤。
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公开(公告)号：CN214980196U
公开(公告)日：2021-12-03
申请号：CN202121066512.X
申请日：2021-05-18
Applicant: 华侨大学
Abstract: 本实用新型公开了一种用于半导体衬底研磨的金刚石结构研磨盘,包括基盘；基盘设有若干凸台，每相邻两凸台间留有间隙且该间隙形成为流道，凸台端面设凸起部，凸起部端面凹设有水平贯穿的沟槽，沟槽和流道相连通；凸台上套设有磨块，磨块由金刚石磨粒和金属结合剂制备而成且包括周壁和成型在周壁内的蜂窝结构，蜂窝结构上形成多个贯穿布置的孔洞；磨块的周壁套设在凸起部外且蜂窝结构位于凸起部上，孔洞和沟槽上下相连通。它具有如下优点：孔洞、沟槽和流道连通，既能供研磨液流动，提升流动均匀性，又能起到冷却和排屑作用，提高冷却、排屑性能；设有孔洞能提高磨块自锐性，提升研磨效率。
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公开(公告)号：CN211841233U
公开(公告)日：2020-11-03
申请号：CN202020160805.3
申请日：2020-02-11
Applicant: 华侨大学
Abstract: 本实用新型公开了一种超声振动辅助自旋转磨削机床主体及其主轴装置。该主轴装置包括旋转主轴部分和超声振动部分，该超声振动部分固装在旋转主轴部分上；该超声振动部分包括超声发生器、换能器、变幅杆、砂轮和感应线圈；该超声发生器连接感应线圈，该感应线圈装接在换能器上，该换能器连接变幅杆，该砂轮固装在变幅杆末端上，该超声发生器产生超声信号，通过感应线圈传递至换能器产生超声振动，再通过变幅杆将轴向振动转换为砂轮的径向振动。它具有如下优点：可提高磨削效率，能提高加工表面质量，还可防止砂轮堵塞等，对于推动超声辅助磨削技术的广泛应用具有重要意义。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利
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公开(公告)号：CN211841234U
公开(公告)日：2020-11-03
申请号：CN202020161093.7
申请日：2020-02-11
Applicant: 华侨大学
Abstract: 本实用新型公开了一种超声辅助自旋转磨削机床主轴结构，包括换能器、变幅杆、主轴体、法兰盘、裙边结构部分、连接换能器的感应线圈和磨盘砂轮部分；该换能器固接变幅杆第一端，该变幅杆第二端固接主轴体第一端，该主轴体第二端固接有裙边结构部分，该磨盘砂轮部分固装在裙边结构部分，该换能器产生纵向超声振动，该纵向超声振动经变幅杆将纵向超声振动转换为径向超声振动，该裙边结构部分放大径向超声振动的振幅和振速，并带动磨盘砂轮部分径向超声振动；该主轴体中部固接有法兰盘以用于固接传动连接电机的主轴。它具有如下优点：利用超声振动辅助进行自旋转磨削加工，可减小磨削力，抑制裂纹的扩展，减小磨削损伤。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利
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