公开(公告)号：CN103675348A

公开(公告)日：2014-03-26

申请号：CN201310667119.X

申请日：2013-12-09

Applicant: 南京信息工程大学

Inventor： 刘恒 ,  宋安 ,  孟瑞丽 ,  周鹏

IPC: G01P15/125

Abstract: 本发明公开了Z轴电容式微机械加速度计，属于微机械电子系统中的惯性传感器的技术领域，包括：玻璃基座，键合在玻璃基座上的扭转结构层，溅射在玻璃基座上的金电极层，扭转结构层包括结构相同四个子单元，任意三个子单元相当于另一个子单元按照顺时针方向或者逆时针方向分别旋转九十度、一百八十度、二百七十度得到。本发明通过减小检测电容极板正对面积与极板间距的比值来增大微机械加速度计的灵敏度，完全对称的扭转结构层使得结构共模抑制比大，减小了输出信号的零点偏移。

公开(公告)号：CN103675348B

公开(公告)日：2015-10-21

申请号：CN201310667119.X

申请日：2013-12-09

Applicant: 南京信息工程大学

Inventor： 刘恒 ,  宋安 ,  孟瑞丽 ,  周鹏

IPC: G01P15/125

Abstract: 本发明公开了Z轴电容式微机械加速度计，属于微机械电子系统中的惯性传感器的技术领域，包括：玻璃基座，键合在玻璃基座上的扭转结构层，溅射在玻璃基座上的金电极层，扭转结构层包括结构相同四个子单元，任意三个子单元相当于另一个子单元按照顺时针方向或者逆时针方向分别旋转九十度、一百八十度、二百七十度得到。本发明通过减小检测电容极板正对面积与极板间距的比值来增大微机械加速度计的灵敏度，完全对称的扭转结构层使得结构共模抑制比大，减小了输出信号的零点偏移。

公开(公告)号：CN211013998U

公开(公告)日：2020-07-14

申请号：CN201921853768.8

申请日：2019-10-31

Applicant: 南京信息工程大学

Inventor： 花小敏 ,  周鹏 ,  郑改革 ,  邹秀娟

IPC: G01N21/25

Abstract: 本实用新型公开了一种等离激元结构修饰的光纤湿度传感器，涉及湿度传感器技术领域，解决了湿度过大会对设备产生威胁，但现有技术缺少大气湿度测量装置的问题，包括石英衬底层，所述石英衬底层上设有用于阻挡透射的反射层，所述反射层上连接有周期性方块阵列，所述方块阵列包括上层的铝方块阵列和下层的氧化铝介质阵列。达到了在可见光‑近红外范围能实现大气湿度的实时监测的效果。

公开(公告)号：CN210429850U

公开(公告)日：2020-04-28

申请号：CN201921853770.5

申请日：2019-10-31

Applicant: 南京信息工程大学

Inventor： 周鹏 ,  郑改革 ,  花小敏 ,  邹秀娟

IPC: H01L31/108 ,  H01L31/0232

Abstract: 本实用新型公开了一种基于表面等离激元共振的光电探测器，涉及热电子光电探测器技术领域，特别涉及一种基于表面等离激元共振的光电探测器。解决了现阶段光电探测器受到半导体禁带宽度的影响，不能扩大光谱工作范围的问题。包括栅极，所述栅极上方向上依次设有绝缘体介质层和半导体层，半导体层在水平方向上分布有若干个，所述绝缘体介质层上侧连接有分别位于半导体层两侧的源极和漏极；各半导体层上侧还设有源极电极，相邻源极电极之间设有漏极电极，源极电极与漏极电极形成亚波长光栅结构，各源极电极皆连接于源极，各漏极电极皆连接于漏极。达到了光谱工作范围由金属/半导体之间的肖特基势垒决定，可扩大光谱工作范围的效果。

公开(公告)号：CN211014019U

公开(公告)日：2020-07-14

申请号：CN201921853776.2

申请日：2019-10-31

Applicant: 南京信息工程大学

Inventor： 花小敏 ,  周鹏 ,  郑改革 ,  卢希 ,  邹秀娟

IPC: G01N21/41 ,  G01N21/25

Abstract: 本实用新型公开了一种反蛋白石光子晶体结构修饰的光纤液体折射率传感器，涉及折射率传感器技术领域，解决了传统的电子传感器灵敏度还较低、响应速度慢、体积较大，难以在复杂电磁环境下工作的问题。包括铝反射层，所述铝反射层的两侧设有氧化铝支撑层，氧化铝支撑层上从下至上依次设有氧化铝介质层以及铝圆孔阵列，铝反射层、氧化铝支撑层和氧化铝介质层围成供折射率溶液通过的通道。达到了使用全光工作，没有电信号参与，可以在复杂电磁环境下工作的效果。

公开(公告)号：CN210464770U

公开(公告)日：2020-05-05

申请号：CN201921853843.0

申请日：2019-10-31

Applicant: 南京信息工程大学

Inventor： 周鹏 ,  郑改革 ,  花小敏 ,  邹秀娟

IPC: G01L11/02

Abstract: 本实用新型公开了一种基于人工金属微结构的气压传感器，涉及气压传感器技术领域，解决了现有的气压传感器大多需要电信号进行工作，很难在复杂电磁环境下使用的问题。其包括石英衬底，所述石英衬底上设有用于阻挡透射的金属铝反射层，金属铝反射层上方自下而上依次设有氧化铝介质层、二氧化硅层和悬浮金属铝膜；所述二氧化硅层为环形，所述悬浮金属铝膜上开设有纳米圆孔阵列，圆孔阵列位于二氧化硅层内孔的正上方，且纳米圆孔上皆覆盖有透明薄膜。其达到了能使用全光信号进行工作，可以在天然气等易爆气体中使用，适用性更广的效果。

公开(公告)号：CN203759053U

公开(公告)日：2014-08-06

申请号：CN201320802344.5

申请日：2013-12-09

Applicant: 南京信息工程大学

Inventor： 刘恒 ,  宋安 ,  孟瑞丽 ,  周鹏

IPC: G01P15/125

Abstract: 本实用新型公开了Z轴电容式微机械加速度计，属于微机械电子系统中的惯性传感器的技术领域，包括：玻璃基座，键合在玻璃基座上的扭转结构层，溅射在玻璃基座上的金电极层，扭转结构层包括结构相同四个子单元，任意三个子单元相当于另一个子单元按照顺时针方向或者逆时针方向分别旋转九十度、一百八十度、二百七十度得到。本实用新型通过减小检测电容极板正对面积与极板间距的比值来增大微机械加速度计的灵敏度，完全对称的扭转结构层使得结构共模抑制比大，减小了输出信号的零点偏移。