公开(公告)号：CN106352805A

公开(公告)日：2017-01-25

申请号：CN201610632873.3

申请日：2016-08-04

Applicant: 南方科技大学

Inventor： 陈树明 ,  冯渊翔 ,  王为高

IPC: G01B11/06

CPC classification number: G01B11/0675

Abstract: 本发明公开了一种用于测量光学薄膜厚度的光学微腔结构、制造方法及测量方法，其中一种光学微腔结构，包括全反射层，所述全反射层承载于一衬底之上；待测薄膜层，设置于所述反射层表面；半反射膜层，设置于所述待测薄膜层表面。本申请中，通过半反射层与待测薄膜层的接触表面形成第一介质分界面，待测薄膜层与全发射膜层的接触表面形成第二介质分界面。入射光在第一介质分界面与第二介质分界面之间来回反复反射，一束光线通过第一介质分界面、第二介质分界面形成多束用以产生干涉效应的光线，使得反射谱上呈现出较明显的尖锐干涉峰，有利于在后续测量过程中，能够较准确地实现光谱拟合，提高待测薄膜厚度测量准确度。

公开(公告)号：CN108037161A

公开(公告)日：2018-05-15

申请号：CN201711437760.9

申请日：2017-12-26

Applicant: 南方科技大学

Inventor： 李佳根 ,  冯渊翔 ,  陈宇龙 ,  李以文 ,  陈锐

IPC: G01N27/12

Abstract: 本发明提供了一种基于氟化咪唑离子凝胶的二氧化碳气体传感器及其制备方法和用途，所述二氧化碳气体传感器包括衬底层以及在衬底层上依次形成的介电‑金属电极组合层和氟化咪唑离子凝胶层，其中介电‑金属电极组合层为经过粗糙图形化的介电层和金属电极层形成的组合层。本发明所述二氧化碳气体传感器通过氟化咪唑离子凝胶层感知环境中二氧化碳浓度变化，并通过对介电‑金属电极组合层进行粗糙图形化，防止氟化咪唑离子凝胶层中的氟化咪唑离子凝胶流动，进而使传感器具有更好的稳定性，并且防止空气中水分对测试结果的干扰，具有更好的准确率；同时，传感器的功耗低，器件结构简单，成本低。