公开(公告)号：CN101696345B

公开(公告)日：2013-09-18

申请号：CN200910186289.X

申请日：2009-10-21

Applicant: 南昌大学

Inventor： 李永绣 ,  金龙 ,  焦晓燕 ,  孙戊成 ,  李艳花 ,  罗巍 ,  周新木 ,  周雪珍 ,  辜子英

IPC: H01L21/302

Abstract: 一种铝掺杂氧化铈抛光粉及其制备方法。该方法以碳酸铈为原料，加入水溶性铝盐及过量的氨水，经机械球磨，使碳酸铈颗粒被分散，并被形成的无定形氢氧化铝所覆盖，球磨后的浆料经脱水，干燥和再分散，在高温下煅烧，冷后球磨，即可得到具有很好抛光能力的铝掺杂氧化铈抛光粉。所述的水溶性铝盐，可选自硝酸铝，氯化铝，醋酸铝，硫酸铝。铝的掺杂量(按氧化铈抛光粉中氧化铝的百分含量计算)从0.01％到10％；所述氨水浓度为1-15mol/L，氨水加入量为金属的物质的量的1-10倍；球磨时间在1h到10h；球磨干燥后的样品煅烧温度在800℃-1200℃之间，焙烧时间为30min到10h。本发明适用于制备高效抛光粉体，所制备的抛光粉可用于微电子器件和精密光学玻璃的表面加工。

公开(公告)号：CN101696345A

公开(公告)日：2010-04-21

申请号：CN200910186289.X

申请日：2009-10-21

Applicant: 南昌大学

Inventor： 李永绣 ,  金龙 ,  焦晓燕 ,  孙戊成 ,  李艳花 ,  罗巍 ,  周新木 ,  周雪珍 ,  辜子英

IPC: C09G1/02 ,  B24B7/24

Abstract: 一种铝掺杂氧化铈抛光粉及其制备方法。该方法以碳酸铈为原料，加入水溶性铝盐及过量的氨水，经机械球磨，使碳酸铈颗粒被分散，并被形成的无定形氢氧化铝所覆盖，球磨后的浆料经脱水，干燥和再分散，在高温下煅烧，冷后球磨，即可得到具有很好抛光能力的铝掺杂氧化铈抛光粉。所述的水溶性铝盐，可选自硝酸铝，氯化铝，醋酸铝，硫酸铝。铝的掺杂量(按氧化铈抛光粉中氧化铝的百分含量计算)从0.01％到10％；所述氨水浓度为1-15mol/L，氨水加入量为金属的物质的量的1-10倍；球磨时间在1h到10h；球磨干燥后的样品煅烧温度在800℃-1200℃之间，焙烧时间为30min到10h。本发明适用于制备高效抛光粉体，所制备的抛光粉可用于微电子器件和精密光学玻璃的表面加工。