公开(公告)号：CN107430267B

公开(公告)日：2021-11-30

申请号：CN201680016350.4

申请日：2016-03-11

Applicant: 卡尔蔡司SMT有限责任公司

Inventor： M.豪夫 ,  Y.萨罗夫

IPC: G02B26/08 ,  G02B19/00

Abstract: 本发明涉及一种位移装置(31)，用于以两个转动自由度来转动反射镜元件(20)，包括具有致动器电极(37i，42)的电极结构，所述致动器电极(37i，42)是梳状电极，并且全部致动器电极(37i)位于单个平面中并且致动器电极(37i，42)形成用于转动反射镜元件(20)的直接驱动器。

公开(公告)号：CN107111246B

公开(公告)日：2020-01-14

申请号：CN201580069606.3

申请日：2015-12-15

Applicant: 卡尔蔡司SMT有限责任公司

Inventor： Y.萨罗夫 ,  M.霍尔兹 ,  F.哈克 ,  M.C.温格勒 ,  M.豪夫

IPC: G03F7/20

Abstract: 本发明涉及一种反射镜装置(29)，其包括至少一个导电屏蔽元件(25)，其形成在与反射镜体(35)的至少一个侧表面(22)和/或后侧(21)相邻的区域中产生电场的机构。

公开(公告)号：CN107430267A

公开(公告)日：2017-12-01

申请号：CN201680016350.4

申请日：2016-03-11

Applicant: 卡尔蔡司SMT有限责任公司

Inventor： M.豪夫 ,  Y.萨罗夫

IPC: G02B26/08 ,  G02B19/00

CPC classification number: G02B26/085 ,  G01C9/06 ,  G01D5/2412 ,  G02B19/0023 ,  G02B19/0095 ,  G02B26/0841 ,  G02B26/101 ,  G02B26/105 ,  G03F7/702 ,  H02N1/008

Abstract: 本发明涉及一种位移装置(31)，用于以两个转动自由度来转动反射镜元件(20)，包括具有致动器电极(37i，42)的电极结构，所述致动器电极(37i，42)是梳状电极，并且全部致动器电极(37i)位于单个平面中并且致动器电极(37i，42)形成用于转动反射镜元件(20)的直接驱动器。

公开(公告)号：CN107111246A

公开(公告)日：2017-08-29

申请号：CN201580069606.3

申请日：2015-12-15

Applicant: 卡尔蔡司SMT有限责任公司

Inventor： Y.萨罗夫 ,  M.霍尔兹 ,  F.哈克 ,  M.C.温格勒 ,  M.豪夫

IPC: G03F7/20

Abstract: 本发明涉及一种反射镜装置(29)，其包括至少一个导电屏蔽元件(25)，其形成在与反射镜体(35)的至少一个侧表面(22)和/或后侧(21)相邻的区域中产生电场的机构。