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公开(公告)号：CN117300366A
公开(公告)日：2023-12-29
申请号：CN202311302663.4
申请日：2023-10-10
Applicant: 厦门大学
IPC: B23K26/36 , B23K26/067
Abstract: 本发明公开了一种双激光束去除金属材料的方法，采用脉冲激光，将激光器发射的原始激光束分为有时间差序的预热激光束和去除激光束，使预热激光束和去除激光束聚焦于金属材料的同一位置，且通过光程差实现了时空域能量分布的调制，重复扫描待去除区域的金属材料实现选择性去除。本发明还公开了其在半导体器件的金属电极失效区域修复的应用。通过时间调制的双激光束对金属材料进行选择性去除，限制了去除过程中热效应的集中累积和扩散，避免了单激光束去除过程中对金属材料附着基底的热影响所产生的缺陷。
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公开(公告)号：CN115933327A
公开(公告)日：2023-04-07
申请号：CN202211584595.0
申请日：2022-12-09
IPC: G03F7/20
Abstract: 本发明涉及半导体微纳器件加工制造技术领域，本发明提供一种对准套刻装置，其包括转台、位移装置、对准图案采集系统和对准图案分析系统，转台上放置有样片，位移装置连接转台的底部用于将转台位移至指定位置，对准图案采集系统对准转台，用于获取样片的图像，样片的图像至少包括阵列结构轮廓，对准图案分析系统耦接对准图案采集系统，用于将获得的阵列结构轮廓与预设标准图案进行比对，以判断样片是否对准，当判断样片处于未对准状态时，转台进行转动调节，直至样片处于对准状态。借此，无需在掩膜版和样片上加工多个标记来进行对准，便可以实现整个样片的图像对准，省去多个高精度相机反复调整寻找对准标记的繁杂步骤，使对准套刻工艺更高效。
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公开(公告)号：CN113368538B
公开(公告)日：2022-06-21
申请号：CN202110443225.4
申请日：2021-04-23
Applicant: 厦门大学
IPC: B01D17/022 , C02F1/40 , C23C26/00
Abstract: 本发明公开了沉积氧化铝纳米涂层的柔性铜网及其制备方法和应用。其制备步骤包括：先清洗铜网，然后将铝箔固定在铜网上，最后用脉冲光纤激光一步熔覆铝箔将氧化铝沉积到铜网表面，使得铜网表面制造出微纳米结构涂层。本发明制备的亲水疏油的柔性铜网具有较高的水下油接触角和很小的滚动角，分离能力突出，耐久性良好，并且能够根据基底的柔性对其作出变形设计，能够灵活地应用在环保、生物医药、仿生学、材料学等多个领域；且该方法操作简单直接，具有制备过程便捷、时间短以及成本低等优点。
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公开(公告)号：CN108163856A
公开(公告)日：2018-06-15
申请号：CN201711484113.3
申请日：2017-12-29
Applicant: 厦门大学 , 惠州市银嘉环保科技有限公司
IPC: C01B32/354 , C04B35/532 , C04B35/622 , C04B38/02 , B01D39/20
Abstract: 本发明公开了一种发泡炭棒及其制备方法，将发泡剂加入活性炭和粘结剂中，经烧结加工制备得到发泡炭棒。本发明通过添加发泡剂，在不影响炭棒过滤功效的前提下，减少活性炭的用量，从而降低能耗；利用发泡剂自身作用机理，产生一定压力使炭棒在模具中成型，优化传统模具烧结压实工艺，解决了成型炭棒炭料不均匀及炭棒自身摩擦对模具产生的损伤；增加了炭棒的过滤孔径，减少初始使用黑水量，并解决炭棒在使用一段时间后堵塞的问题。
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公开(公告)号：CN117001174A
公开(公告)日：2023-11-07
申请号：CN202311177376.5
申请日：2023-09-13
Applicant: 厦门大学
IPC: B23K26/38 , B23K26/064 , B23K26/06 , B23K26/70
Abstract: 本发明提供一种双激光束薄化方法，包括：步骤1，将待加工样品固定，而后控制双激光束对焦于待加工样品表面；步骤2，获取所述双激光束照射于所述待加工样品的表面所形成的光斑直径和激光频率；步骤3，根据所述光斑直径调整所述双激光束中光束所形成的两个光斑的相对位置，保证双激光束的两个光斑的边缘相切；步骤4，根据所述光斑直径和所述激光频率来确定初始扫描速度；步骤5，根据薄化需求，调整所述待加工样品的薄化操作参数，并作为所述双激光束加工参数；步骤6，根据所述双激光束加工参数对待加工样品的表面进行线平行扫描，以完成待加工样品的薄化工作。
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公开(公告)号：CN115840264B
公开(公告)日：2025-02-11
申请号：CN202211555463.5
申请日：2022-12-06
Applicant: 厦门大学
Abstract: 本发明涉及光学成像领域，特别涉及一种微球透镜组、全微球光学纳米显微镜。发明提供一种微球透镜组，包括：若干个微球透镜，若干个所述微球透镜按照同轴心的方式垂直叠置构成。本发明通过设计多个微球透镜构成的透镜组，达到超越单个光学微球的放大率以及实像成像模式，进而使得投影到光学相机上的纳米结构的像可以直接被分辨出来，实现全微球的光学纳米显微成像。本发明提供一种全微球光学纳米显微镜，包括：光源装置；微球透镜组；透镜组支架；光电转换装置。采用本发明提供的全微球光学纳米显微镜，其具有对纳米结构的样品进行实像放大的能力，使之处于光电转换装置可分辨的尺度范围内，并且具有制备工艺简单，价格低廉，分辨率高，结构小巧便携等优点。
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公开(公告)号：CN119170723A
公开(公告)日：2024-12-20
申请号：CN202411282739.6
申请日：2024-09-13
Applicant: 厦门大学
Abstract: 本申请涉及深紫外LED技术领域，特别涉及一种深紫外LED复合周期性电极及其制备方法、深紫外LED。该制备方法包括以下步骤：准备芯片的外延片；对外延片的P型半导体空穴注入层的表面依次进行旋涂增粘液处理、旋涂光刻胶处理，而后进行烘烤处理；利用MLA光刻系统对外延片进行光刻处理，获得所需光刻图案，光刻图案呈等间距经纬分布，使其由若干矩形方格阵列式排布而成，矩形方格包括四条矩形边，且矩形边与矩形边的端部相交处采用圆点连接；将外延片进行I CP刻蚀后镀上导电电极材料，即得。本申请制得的深紫外LED复合周期性电极采用点线结合和复合有序的经纬排布设计，可使得正面深紫外光的透光效果显著提升，有利于获得高光提取效率的深紫外LED。
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公开(公告)号：CN117181229A
公开(公告)日：2023-12-08
申请号：CN202311157672.9
申请日：2023-09-08
Applicant: 厦门大学 , 惠州市银嘉环保科技有限公司
IPC: B01J23/80 , B01D71/02 , B01D69/02 , B01D67/00 , B01J35/00 , C02F1/72 , C02F1/44 , C02F1/30 , C02F1/46 , C02F101/30
Abstract: 本发明公开了一种CuxO‑ZnO异质结压电材料及制备方法，采用激光通过交叉扫描的方式作用于铜基底表面生成CuxO纳米颗粒片层，以CuxO纳米颗粒作为ZnO微纳米结构的活性生长位点，通过水热反应于铜基底上生长ZnO微纳米结构，并应用于催化降解。进一步，在铜基底为铜网时制备了具有降解功能的油水分离薄膜。本发明无需种子层即可实现ZnO微纳米结构的水热生长，并提升了催化降解性能和分离纯化性能，实现了在废水处理等领域中的多功能应用。
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公开(公告)号：CN106793533B
公开(公告)日：2019-05-28
申请号：CN201710032417.X
申请日：2017-01-16
Applicant: 厦门大学
Abstract: 本发明公开了一种具有铜‑石墨烯复相图案化导电膜的印制电路板及导电膜制备方法，在PC塑料基板上形成图案化的铜‑石墨烯复相导电膜。其步骤包括：使用光纤激光器在清洗后的PC塑料基板上加工出特定图案。使用化学镀将图案化后的PC基板在铜镀液中镀覆铜层，经去离子水冲洗后放入石墨烯分散液中沉淀石墨烯片，取出清洗后再次放入铜镀液中镀覆铜层，如此循环多次，本方法制备复相导电膜具有工艺简单，图案灵活，导电性好，黏附性好等优点。
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