公开(公告)号：CN104451568A

公开(公告)日：2015-03-25

申请号：CN201510006670.9

申请日：2015-01-07

Applicant: 厦门大学

Inventor： 彭栋梁 ,  王俊宝 ,  王来森

IPC: C23C14/34 ,  C23C14/06 ,  C23C14/14 ,  C23C14/35 ,  B82Y40/00

CPC classification number: C23C14/34 ,  B82Y40/00 ,  C23C14/085 ,  C23C14/14 ,  C23C14/35

Abstract: 一种双磁性相纳米复合薄膜的制备方法，涉及纳米复合薄膜。将两片Fe65Co35靶安装在对向靶装置上；将Ni0.5Zn0.5Fe2O4靶安装在单靶上，将硅基片固定在沉积室内样品架上并抽真空；产生Fe、Co原子蒸汽，气相Fe、Co原子在溅射室中形成Fe65Co35合金纳米颗粒，经过过滤区喷嘴的筛选后得纳米粒子束流，进入沉积室并沉积到基片上；制备Ni0.5Zn0.5Fe2O4薄膜；在旋转系统作用下使基片交替沉积Fe65Co35合金纳米颗粒和Ni0.5Zn0.5Fe2O4薄膜，使Fe65Co35合金纳米颗粒在真空中直接原位组装到Ni0.5Zn0.5Fe2O4薄膜中形成双磁性相纳米复合薄膜。