公开(公告)号：CN114864407A

公开(公告)日：2022-08-05

申请号：CN202210544965.1

申请日：2022-05-19

Applicant: 吉林建筑大学

Inventor： 王艳杰 ,  杨小天 ,  迟耀丹 ,  闫兴振 ,  王超 ,  杨帆 ,  赵阳 ,  慕雨松 ,  王欢 ,  吴博琦 ,  初学峰 ,  高寒松 ,  李慧 ,  聂晓渊

IPC: H01L21/34 ,  H01L21/363 ,  H01L29/227 ,  H01L29/786

Abstract: 本发明公开了一种氧化锌基薄膜晶体管的制备方法，包括如下步骤：步骤一、对衬底进行预处理后，在所述衬底上制备铝薄膜作为栅电极，得到第一基底；步骤二、在所述栅电极上制备Ta2O5薄膜作为栅介质层，得到第二基底；步骤三、通过光刻剥离方法在所述栅介质层上刻蚀出有源层区域，并在所述有源层区域制备WZO薄膜作为有源层，得到第三基底；其中，制备WZO薄膜的方法为：采用金属W靶材和ZnO靶材，通过反应溅射获得WZO薄膜；所述W靶材的纯度为99.99％，所述ZnO靶材的纯度为99.99％；步骤四、在所述有源层上通过光刻剥离方法刻蚀出源、漏电极区域，并在所述源、漏电极区域蒸镀铝薄膜作为源、漏电极，得到晶体管。

公开(公告)号：CN119191722A

公开(公告)日：2024-12-27

申请号：CN202411375255.6

申请日：2024-09-30

Applicant: 吉林建筑大学

Inventor： 初学峰 ,  杨小天 ,  林琨杰 ,  迟耀丹 ,  赵海阳 ,  姚宗辉 ,  王超 ,  王欢 ,  闫兴振 ,  郭亮 ,  吕卅 ,  高寒松 ,  杨帆

IPC: C03C17/34 ,  G02F1/1524

Abstract: 本发明涉及一种非晶和晶体WO3双层电致变色薄膜的制备方法，属于氧化物薄膜技术领域。超声清洗导电玻璃ITO基片，采用射频磁控溅射法制备非晶WO3薄膜，退火处理得到结晶态的WO3薄膜3，继续采用磁控溅射方法制备WO3薄膜，得到双层薄膜。优点是制备的双层电致变色薄膜既具有晶态WO3的良好循环稳定性，又具有非晶WO3大的透过率调制幅度和短的变色响应时间。上层的非晶结构层，有利于缩短薄膜变色的响应时间，同时下层晶态结构层保证了薄膜的循环稳定性，二者的协同作用使该异质结构WO3兼备了非晶和晶态WO3的优点，从而展示出优异的电致变色综合性能。同时也研究了晶态和非晶态WO3材料在电致变色过程中的调控机理。

公开(公告)号：CN222736376U

公开(公告)日：2025-04-08

申请号：CN202421415914.X

申请日：2024-06-20

Applicant: 吉林建筑大学

Inventor： 王超 ,  郝云鹏 ,  林星宇 ,  王世琦 ,  贾潇磊 ,  韩磊 ,  杨帆 ,  郭亮 ,  赵春雷 ,  高寒松

IPC: H05K3/12

Abstract: 本实用新型公开了一种瞬态电子器件转印装置，属于电子器件生产设备技术领域。装置的部分结构包括：喷管安装在送料滚筒下侧，喷管同送料滚筒都保持水平，在喷管顶部设有多个微孔，上水管的外端同喷管相连接，上水管的内端连接至储水仓，在上水管上安装有泵体，在喷管的侧方平行的设置有附加滚筒，在附加滚筒上设有多个刷头，在附加滚筒的侧方设置有多个风机，在风机的送风方向上设有电加热网。此装置在基底送料路线上设置了温湿度调节组件，通过喷雾、刷扫、送风的方式调节基底表面湿度；同时，通过控制送风温度来调节基底表面温度，实现了对基底表面温湿度状态的连续化调节。本实用新型能省去原有的调节工序，提高整体工艺效率。