基于正交精细扫描的微小光斑质心测量方法

    公开(公告)号:CN101968342B

    公开(公告)日:2012-07-25

    申请号:CN201010289204.3

    申请日:2010-09-21

    Abstract: 基于正交精细扫描的微小光斑质心测量方法,它涉及一种光斑的质心测量方法,它解决了目前无法对微小光斑直接进行质心测量的问题。该测量方法基于光斑测量装置实现,所述光斑测量装置由二维移动架、CCD探测器和数据采集单元组成,该方法通过CCD探测器探测接收入射光光斑,使光斑完全照射到CCD探测器的某个光敏像元上,并采用数据采集单元显示光斑的灰度值,然后通过多次移动二维移动架,使光敏像元在X向和Y向分别移动,移动的过程中,每移动一步即记录当前相对位移量及当前灰度值,最后通过制作灰度值曲线即可计算获得光斑的质心位置。本发明可用于光斑质心的测量领域。

    基于轨迹重构的光斑轮廓测量方法

    公开(公告)号:CN101871772A

    公开(公告)日:2010-10-27

    申请号:CN201010225540.1

    申请日:2010-07-14

    Abstract: 基于轨迹重构的光斑轮廓测量方法,它涉及一种光斑轮廓的测量方法,它解决了目前无法对微光斑轮廓进行精确测量的问题。基于轨迹重构的光斑轮廓测量方法,它基于一个光斑测量装置实现,光斑测量装置由二维移动架、探测器和数据采集单元组成;该方法根据探测器输出信号的强弱与入射光的强度成正比的原理,通过调整二维移动架,使入射光光斑从探测器的接收面内向外移出时,导致所述探测器输出信号的强弱发生变化,进而测量出入射光光斑的轮廓。本发明克服了已有技术的不足,可用于光束控制、光束诊断等领域。

    基于二维细分法的微小光斑强度分布测量方法

    公开(公告)号:CN101907490B

    公开(公告)日:2012-02-08

    申请号:CN201010261214.6

    申请日:2010-08-24

    Abstract: 基于二维细分法的微小光斑强度分布测量方法,它涉及一种微小光斑强度分布的测量方法,它解决了目前无法对能量分布不均匀或者尺寸很小的光斑进行强度分布测量的问题。该测量方法将入射光斑完全照射到CCD探测器的光敏探测面的一个像元内,通过蛇形扫描的方式,记录各个扫描状态的灰度图像,通过计算可最终获得入射光光斑的强度分布。本发明能够对能量分布不均匀或者尺寸很小的光斑的强度分布进行直接测量,适用于微小光斑测量领域。

    基于轨迹重构的光斑轮廓测量方法

    公开(公告)号:CN101871772B

    公开(公告)日:2011-11-16

    申请号:CN201010225540.1

    申请日:2010-07-14

    Abstract: 基于轨迹重构的光斑轮廓测量方法,它涉及一种光斑轮廓的测量方法,它解决了目前无法对微光斑轮廓进行精确测量的问题。基于轨迹重构的光斑轮廓测量方法,它基于一个光斑测量装置实现,光斑测量装置由二维移动架、探测器和数据采集单元组成;该方法根据探测器输出信号的强弱与入射光的强度成正比的原理,通过调整二维移动架,使入射光光斑从探测器的接收面内向外移出时,导致所述探测器输出信号的强弱发生变化,进而测量出入射光光斑的轮廓。本发明克服了已有技术的不足,可用于光束控制、光束诊断等领域。

    基于正交精细扫描的微小光斑质心测量方法

    公开(公告)号:CN101968342A

    公开(公告)日:2011-02-09

    申请号:CN201010289204.3

    申请日:2010-09-21

    Abstract: 基于正交精细扫描的微小光斑质心测量方法,它涉及一种光斑的质心测量方法,它解决了目前无法对微小光斑直接进行质心测量的问题。该测量方法基于光斑测量装置实现,所述光斑测量装置由二维移动架、CCD探测器和数据采集单元组成,该方法通过CCD探测器探测接收入射光光斑,使光斑完全照射到CCD探测器的某个光敏像元上,并采用数据采集单元显示光斑的灰度值,然后通过多次移动二维移动架,使光敏像元在X向和Y向分别移动,移动的过程中,每移动一步即记录当前相对位移量及当前灰度值,最后通过制作灰度值曲线即可计算获得光斑的质心位置。本发明可用于光斑质心的测量领域。

    基于二维细分法的微小光斑强度分布测量方法

    公开(公告)号:CN101907490A

    公开(公告)日:2010-12-08

    申请号:CN201010261214.6

    申请日:2010-08-24

    Abstract: 基于二维细分法的微小光斑强度分布测量方法,它涉及一种微小光斑强度分布的测量方法,它解决了目前无法对能量分布不均匀或者尺寸很小的光斑进行强度分布测量的问题。该测量方法将入射光斑完全照射到CCD探测器的光敏探测面的一个像元内,通过蛇形扫描的方式,记录各个扫描状态的灰度图像,通过计算可最终获得入射光光斑的强度分布。本发明能够对能量分布不均匀或者尺寸很小的光斑的强度分布进行直接测量,适用于微小光斑测量领域。

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