超精密运动平台机械谐振的抑制方法

    公开(公告)号:CN104267597A

    公开(公告)日:2015-01-07

    申请号:CN201410448517.7

    申请日:2014-09-04

    Abstract: 超精密运动平台机械谐振的抑制方法,属于运动平台机械谐振的抑制领域。为了解决目前的超精密运动平台的机械谐振抑制效果差的问题。包括:根据运动平台的宏微耦合力学模型,建立六自由度精密运动平台y向宏微耦合的模型;采用自适应实数编码遗传算法辨识出建立的宏微耦合模型的未知参数,进而分别建立宏动台和微动台的机械谐振模型,再采用自适应实数编码遗传算法辨识出机械谐振模型中未知参数,获得宏动台的4个机械谐振模型和微动台的2个机械谐振模型;进而获得宏动台的4个陷波器和微动台的2个陷波器;将宏动台的4个陷波器和宏动台串联,将微动台的2个陷波器和微动台串联,完成宏动台和微动台机械谐振的抑制。它用于抑制运动平台机械谐振。

    适用于多总线协议、多扩展接口的信号采集板卡

    公开(公告)号:CN104020691A

    公开(公告)日:2014-09-03

    申请号:CN201410257825.1

    申请日:2014-06-11

    Abstract: 适用于多总线协议、多扩展接口的信号采集板卡,属于高精度运动控制的信号采集领域,本发明为解决目前市场上的多数信号采集板卡基于单一PCI、PXI或者ISA总线的方式,没有可以兼容多种总线协议的信号采集板卡的问题。本发明包括FPGA模块、DSP模块、m个RS422模块、通用扩展接口、第一电平转换模块、第二电平转换模块、n个光纤收发芯片、n个光纤接口模块、p个AD采集芯片、总线接口模块、PCI总线转接电路板、PXI总线转接电路板、ISA总线转接电路板和VME总线转接电路板;便于同其他信号采集单元通信或者将其他传感器模块的扩展。同时该信号采集板卡还预留了自定义总线的接口,便于用户根据自己需要自定义总线。

    基于VxWorks上位机集中管理多级控制系统

    公开(公告)号:CN104181901B

    公开(公告)日:2016-07-06

    申请号:CN201410448520.9

    申请日:2014-09-04

    CPC classification number: Y02P90/02

    Abstract: 基于VxWorks上位机集中管理多级控制系统,属于多板卡之间通信以及同步控制领域。为了解决现有的控制系统对光刻机实际运行中多板卡之间通信以及同步协调控制能力差的问题。它包括它包括基于VxWorks的上位机、工控机、VME总线、次主控卡A、次主控卡B、次主控卡C及实现各功能的板卡。通过基于VxWorks的上位机向次主控卡A、次主控卡B、次主控卡C发送指令进行通信以及同步控制,次主控卡A、次主控卡B和次主控卡C分别控制相应的板卡通信以及同步,实现多级控制。本发明用于光刻机在实际运行中多板卡之间通信以及同步控制。

    基于DSP和FPGA的伺服系统实时运动控制器及控制方法

    公开(公告)号:CN103901804A

    公开(公告)日:2014-07-02

    申请号:CN201410166049.4

    申请日:2014-04-23

    Abstract: 基于DSP和FPGA的伺服系统实时运动控制器及控制方法,涉及伺服系统运动控制领域。本发明是为了解决现有的运动控制器不能达到较高实时通信的问题。本发明所述的RS422与FPGA进行通信,时钟电路的输出端同时连接FPGA的输入端和DSP的输入端,DSP与内存空间配置模块进行通信,内存空间配置模块与FPGA进行通信,DA转换模块、DSP和FPGA通过EMIF数据总线进行数据交互,FPGA的输出端连接DA转换模块的输入端,DA转换模块的输出端连接电机的输入端,码盘信号接入电路的输出端连接FPGA的输入端,FPGA的输入或输出端连接电机控制端子驱动接口的输出或输入端。它可用于电机控制系统中。

    一种抑制直线电机定位力补偿控制器

    公开(公告)号:CN104201963A

    公开(公告)日:2014-12-10

    申请号:CN201410460927.3

    申请日:2014-09-11

    Abstract: 一种抑制直线电机定位力补偿控制器,属于电机补偿控制领域。为了解决目前的补偿控制器结构复杂且控制周期长反应速度慢的问题。本发明的补偿控制器,采用迭代控制器的方法,对永磁同步直线电机的推力波动进行在线补偿,其中补偿控制器采用了PI与重复控制相结合的方式进行设计。这种方法避免了利用扰动模型进行补偿控制时,由复杂的数学模型或者冗杂的建模数据带来的系统开销,将非线性的直线电机推力波动补偿控制大幅简化,可以有效降低控制周期进而提升系统的反应速度。它用于直线电机的定位力补偿。

    基于FPGA和DSP的高速电路板串口的调试方法

    公开(公告)号:CN104200033A

    公开(公告)日:2014-12-10

    申请号:CN201410455326.3

    申请日:2014-09-09

    Abstract: 基于FPGA和DSP的高速电路板串口的调试方法,属于电路板串口调试领域。为了解决目前的硬件仿真器对电路板串口进行调试时易出错的问题。所述方法是基于FPGA、DSP和CPLD实现的,所述方法包括:采用FPGA确定运行DSP进行串口调试的时序,所述时序包括接收时序和发送时序的步骤;根据确定的时序,采用DSP实现串口调试的步骤;采用CPLD为DSP和FPGA提供正常的电平范围的步骤。它用于电路板的串口调试。

    基于VxWorks上位机集中管理多级控制系统

    公开(公告)号:CN104181901A

    公开(公告)日:2014-12-03

    申请号:CN201410448520.9

    申请日:2014-09-04

    CPC classification number: Y02P90/02

    Abstract: 基于VxWorks上位机集中管理多级控制系统,属于多板卡之间通信以及同步控制领域。为了解决现有的控制系统对光刻机实际运行中多板卡之间通信以及同步协调控制能力差的问题。它包括它包括基于VxWorks的上位机、工控机、VME总线、次主控卡A、次主控卡B、次主控卡C及实现各功能的板卡。通过基于VxWorks的上位机向次主控卡A、次主控卡B、次主控卡C发送指令进行通信以及同步控制,次主控卡A、次主控卡B和次主控卡C分别控制相应的板卡通信以及同步,实现多级控制。本发明用于光刻机在实际运行中多板卡之间通信以及同步控制。

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