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公开(公告)号:CN115194955B
公开(公告)日:2024-09-17
申请号:CN202210988689.8
申请日:2022-08-17
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 一种碳化硅陶瓷深小孔的超精密加工方法,属于机械加工技术领域,具体包括以下步骤:步骤一、将碳化硅陶瓷块固定在超声辅助磨削机床上;步骤二、在轴向超声振动作用下加工若干个与刀具同直径的深小孔Ⅰ,并留出余量Ⅰ;刀具进给速度为25‑35mm/min,主轴转速为6000‑10000rpm,在入口处降低进给速度至20mm/min,增大主轴转速至10000rpm;步骤三、在出口处降低进给速度至20mm/min,增大主轴转速至10000rpm,并留出余量Ⅱ;步骤四、在轴向超声振动作用下去除余量Ⅰ和余量Ⅱ,刀具进给速度为15‑20mm/min,主轴转速为8000‑10000rpm,获得碳化硅陶瓷深小孔Ⅱ。
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公开(公告)号:CN113695647B
公开(公告)日:2022-06-14
申请号:CN202111063287.9
申请日:2021-09-10
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 本发明公开了一种薄壁球壳类微小构件全表面微坑结构加工的工艺方法,涉及微小构件表面加工方法的技术领域,解决了目前对薄壁球壳类微小构件的加工时间长,加工效率低,加工精度低,加工位置不准确,加工误差较大等问题,加工后的批量部件无法满足实际应用的标准的问题,依次通过真空吸附装夹、高分辨率CCD对刀、多轴联动数控加工、零点快换掉头装夹、特征坑点捕捉及坐标确定、剩余坑点微结构加工等步骤,采用初次装夹真空吸附夹具、二次装夹真空吸附夹具、第一高分辨率CCD相机、第二高分辨率CCD相机和球头铣刀等部件实现对薄壁球壳类微小构件全表面加工,满足实际加工需求,通过多轴联动进行微铣削加工,提高了加工效率,实现了微小构件高精度加工。
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公开(公告)号:CN112959137A
公开(公告)日:2021-06-15
申请号:CN202110330207.5
申请日:2021-03-29
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: B23Q17/24
Abstract: 本发明提供一种用于动态监测超精密机床高速加工过程的高速相机安装的专用夹具,包括夹具下立板,夹具下立板滑动连接有夹具上立板,夹具上立板的顶端转动连接夹具上顶板,夹具上立板与夹具上顶板之间设有自锁铰链组件,夹具上顶板固接有三自由度微位移平台,三自由度微位移平台的底面固接有高速相机固定架,夹具下立板远离夹具上立板的一端垂直安装有夹具底板。相对于现有技术,本发明实现高速相机镜头各方向的微动调节以及竖直方向的粗精结合调节,同时实现了高速相机镜头0°至360°转动,且具有每间隔若干角度自锁的功能,具有调节角度多、调节范围广、调节精度高等特点,适用于不同布局特征的超精密机床加工过程动态监测的拍摄需求。
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公开(公告)号:CN108648833B
公开(公告)日:2019-05-17
申请号:CN201810448702.4
申请日:2018-05-11
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 本发明公开了一种可实现微球任意角度翻转的装置及操作方法,所述装置包括基座以及位于基座上的可转动二维滑台系统、一维滑台系统、主CCD图像传感器系统和副CCD图像传感器系统,所述可转动二维滑台系统由Y方向滑台A、Z方向滑台、六自由度快速安装夹具A、定位片A、气筒A、转台、转台电机组成;所述一维滑台系统由Y方向滑台B、安装板、六自由度快速安装夹具B、定位片B、气筒B组成;所述主CCD图像传感器系统由CCD图像传感器A和安装支架A组成;所述副CCD图像传感器系统由CCD图像传感器B和安装支架B组成。本发明在对微球进行全表面加工和检测时能实现微球精确翻转任意角度,并确保微球的空间重复定位精度及效率。
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公开(公告)号:CN105758343B
公开(公告)日:2018-06-26
申请号:CN201610145389.8
申请日:2016-03-15
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G01B11/27
Abstract: 基于双标准球的主轴回转中心标定装置及方法。机床上有X轴导轨和Z轴导轨,C轴有安有3R夹具的矩形支撑座和吸有标准球一的真空吸盘,过渡件与3R夹具和标准球二连接;测量传感器固定件在Y轴升降台前且安有白光共焦位移传感器。调节标准球一位置,驱动C轴和白光共焦位移传感器,对准标准球一球冠位置,记录位置PR(x,y),设为标准球一回转中心位置;将3R夹具和标准球二安在支撑座上,执行标准球二球冠顶点扫描,调整白光共焦位移传感器位置,使得白光共焦位移传感器对准标准球二的球冠位置,记录位置PS(x,y),设为标准球二参考中心位置;做差得到ΔP。本发明保障了在位检测装置的使用寿命并避免了加工过程中的机械部件干涉问题。
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公开(公告)号:CN104985241B
公开(公告)日:2017-04-05
申请号:CN201510248325.6
申请日:2015-05-16
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 一种基于压电陶瓷片逆压电效应的一维振动装置,它属于能量辅助机械加工的技术领域。它是为了解决现有高精度惯导传感器中薄壁微构件加工时,所用的一维振动装置存在谐振式振动的特点是频率不可调,及刀纹杂乱、深浅不一和残余应力大的问题。它的第一螺栓穿过工作台左侧板的通孔、左侧第一压电陶瓷环组、振动台的通孔、右侧第一压电陶瓷环组和第一球面垫圈后与工作台右侧板的螺纹孔螺纹紧固连接,第二螺栓穿过工作台左侧板的通孔、左侧第二压电陶瓷环组、振动台的通孔、右侧第二压电陶瓷环组和第二球面垫圈后与工作台右侧板的螺纹孔螺纹紧固连接。本发明利用了压电陶瓷的逆压电效应,推动振动台向一个方向运动,并且振动的频率可以调节。
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公开(公告)号:CN103994929B
公开(公告)日:2016-08-17
申请号:CN201410271031.0
申请日:2014-06-18
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G01N3/08
Abstract: 力学性能测试装置及用该装置测试微构件力学特性的方法,涉及力学性能测试装置及测试微构件力学特性方法。能测试不同工作条件下的微构件的力学特性。X?Y二维运动平台设置在大理石隔振平台上,微拉伸测试系统安装在X?Y二维运动平台上,动态测试系统安装在大理石横梁上,大理石横梁通过大理石立柱与理石隔振平台固接,原位观测系统安装在动态测试系统上。通过动态测试系统对竖直精密驱动单元的压电陶瓷驱动电源进行控制,通过微拉伸测试系统对水平精密驱动单元的压电陶瓷驱动电源进行控制,通过微拉伸测试系统的微力传感器记录的拉力数据和水平直线光栅测量装置的光栅尺记录位移数据,得到微构件应力应变曲线。本发明用于微构件力学特性测试。
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公开(公告)号:CN103273180B
公开(公告)日:2015-11-25
申请号:CN201310177053.6
申请日:2013-05-14
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: B23K10/00
Abstract: 自由曲面光学零件的大气等离子体数控加工方法,它属于等离子体加工大口径非球面光学零件的技术领域。它是为了解决高精度大口径非球面光学零件的加工效率和表面质量问题。它的步骤一:在工作架上安装有大口径的等离子体炬或中口径的等离子体炬或小口径的等离子体炬;步骤二:将待加工光学零件装卡在地电极上;步骤三:使大口径的等离子体炬或中口径的等离子体炬或小口径的等离子体炬靠近待加工表面;步骤四:预热;步骤五:启动射频电源;步骤六:使大口径的等离子体炬或中口径的等离子体炬或小口径的等离子体炬进行多自由度运动;步骤七:取出待加工光学零件。本发明采用三种不同口径的等离子体炬对大口径复杂曲面光学零件进行大气等离子体加工。
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公开(公告)号:CN104596461A
公开(公告)日:2015-05-06
申请号:CN201510049200.0
申请日:2015-01-31
Applicant: 哈尔滨工业大学
CPC classification number: G01B21/10 , G01B21/042 , G01B21/24
Abstract: 本发明公开了一种用于检测三轴金刚石车床定位精度的特征样件及方法。所述特征样件包括基座和固定在基座上端的特征主体,所述基座为扁圆柱体,所述基座的上表面外边缘周向均布十二个凹槽;所述特征主体包括五个同轴设置的扁圆柱体且从上至下直径递增,相邻两个扁圆柱体之间的边缘形成台阶,所述基座与特征主体同轴设置。测量方法:使用T形布局的三轴金刚石车床加工特征样件;加工完成后,采用三坐标测量机测量特征样件的台阶高度面、圆柱直径和凹槽中心线;根据检测结果,推断出三轴金刚石车床的定位精度。本发明所设计样件具有结构简单、加工方便、且能有效反映出定位精度等特点。
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公开(公告)号:CN103265183B
公开(公告)日:2015-03-18
申请号:CN201310177072.9
申请日:2013-05-14
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 采用单个水射流作为电极的大气等离子体的加工方法,它属于等离子体加工大口径非球面光学零件的技术领域。它是为了解决高精度大口径非球面光学零件的局部修形加工效率和表面质量问题。它的步骤一:将成形电极的上端面连接在工作架上;步骤二:在待加工零件的下方设置的喷头喷出的水接地;步骤三:使成形电极靠近待加工光学零件的待加工表面;步骤四:预热射频电源和混合等离子体气源;步骤五:使喷头喷出的水喷射到待加工光学零件的下端面上,启动射频电源;步骤六:使喷头进行左右移动和前后移动;步骤七:取出待加工光学零件。本发明能对光学零件表面进行小去除量的局部修形,水射流可以保证在每个位置的放电特性相同,避免放电不均匀的问题。
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