一种基于衍射光栅的主轴径向回转误差测量装置与方法

    公开(公告)号:CN108168461B

    公开(公告)日:2019-10-25

    申请号:CN201810027452.7

    申请日:2018-01-11

    Abstract: 本发明一种基于衍射光栅的主轴径向回转误差测量装置与方法属于精密仪器制造及测量技术领域;该装置包括待测主轴,光栅,装夹装置,激光器,凸透镜,折光元件,光电转换器,信号处理电路和上位机;该方法首先确定等分角半径位置,再调整激光器、凸透镜与折光元件的位置,调整光电转换器与凸透镜之间距离,将获得的干涉信号转换为电学信息,对接收到的信号进行辨向计数及矢量合成并解调出光栅的位移信息,最后评定待测主轴的径向回转误差;本发明利用衍射光栅将主轴的径向回转误差转化为衍射干涉光斑的位移,利用光电转换器获取光斑的位移信息,从而规避了高采样频率的电容传感器难以获得的困境,实现了高速主轴径向回转误差的精密测量。

    基于压电陶瓷与石英摆线复合机理的隔微振装置

    公开(公告)号:CN106989133B

    公开(公告)日:2018-10-23

    申请号:CN201710419152.9

    申请日:2017-06-06

    Abstract: 本发明属于隔微振技术领域;该装置由第一级单摆和第二级单摆串联构成;第一级单摆由外部支撑结构、第一石英丝、第一质量和上连接件构成;第二级单摆由第一质量、上连接件、复合摆丝、第二质量和下连接件构成,所述复合摆丝用于测量外界振动,将振动信号传递给控制器,复合摆丝由第二石英丝和涂敷在第二石英丝外围的压电陶瓷材料涂层构成,压电陶瓷材料涂层的通入电压根据控制器得到的振动信号进行调整;本发明不仅能够实现主动隔振的技术目的,而且具有系统简化、高度集成的技术优势,同时提高了对低频振动的振动效果。

    基于磁致伸缩与直槽结构石英摆线复合机理的隔微振装置

    公开(公告)号:CN107084224B

    公开(公告)日:2018-09-11

    申请号:CN201710418680.2

    申请日:2017-06-06

    Abstract: 本发明基于磁致伸缩与直槽结构石英摆线复合机理的隔微振装置属于隔微振技术领域;该装置由第一级摆、第二级摆和致动器组成;第一级摆由外部支撑结构、第一石英丝、第一测试质量和上连接件构成;第二级摆由第一测试质量、上连接件、复合摆丝、第二测试质量和下连接件构成;致动器由复合摆丝和驱动装置构成;复合摆丝包括第二石英丝和涂敷在第二石英丝表面的超磁致伸缩材料涂层,第二石英丝表面刻蚀有截面为矩形和半圆组合图形的直沟槽,驱动装置包括上导磁体、永磁体、驱动线圈、骨架和下导磁体;本发明不仅能够实现主动隔振的技术目的,而且具有系统简化、高度集成、高灵敏度的技术优势,同时提高了对低频振动的振动效果,以及致动器的灵敏度。

    基于磁致伸缩与螺旋结构石英摆线复合机理的隔微振装置

    公开(公告)号:CN107023605B

    公开(公告)日:2018-08-17

    申请号:CN201710418170.5

    申请日:2017-06-06

    Abstract: 本发明基于磁致伸缩与螺旋结构石英摆线复合机理的隔微振装置属于隔微振技术领域;该装置由第一级摆、第二级摆和致动器组成;第一级摆由外部支撑结构、第一石英丝、第一测试质量和上连接件构成;第二级摆由第一测试质量、上连接件、复合摆丝、第二测试质量和下连接件构成;致动器由复合摆丝和驱动装置构成;所述复合摆丝包括第二石英丝和涂敷在第二石英丝表面的超磁致伸缩材料涂层,第二石英丝表面刻蚀有截面为矩形的螺旋沟槽,驱动装置包括上导磁体、永磁体、驱动线圈、骨架和下导磁体;本发明不仅能够实现主动隔振的技术目的,而且具有系统简化、高度集成、高灵敏度的技术优势,同时提高了对低频振动的振动效果,以及致动器的灵敏度。

    基于超磁致伸缩与石英摆线复合冷却机理的隔微振装置

    公开(公告)号:CN107044505B

    公开(公告)日:2018-10-30

    申请号:CN201710418155.0

    申请日:2017-06-06

    Abstract: 本发明属于隔微振技术领域;该装置由第一级摆、第二级摆和致动器组成;第一级摆由外部支撑结构、第一石英丝、第一测试质量和上连接件构成,第二级摆由第一测试质量、上连接件、复合摆丝、第二测试质量和下连接件构成,所述复合摆丝由第二石英丝和涂敷在第二石英丝外围的超磁致伸缩材料涂层构成;致动器由上导磁体、永磁体、驱动线圈、骨架和下导磁体构成,所述骨架的中心轴的四周,均匀分布有多个与中心轴平行的冷却腔;本发明不仅能够实现主动隔振的技术目的,而且具有系统简化、高度集成的技术优势,同时提高了对低频振动的振动效果,并还兼顾到了温度敏感问题。

    一种基于逆磁致伸缩效应的非接触式扭矩测量装置

    公开(公告)号:CN108562388A

    公开(公告)日:2018-09-21

    申请号:CN201810367399.5

    申请日:2018-04-23

    Abstract: 一种基于逆磁致伸缩效应的非接触式扭矩测量装置,属于传感测量技术,其技术要点是:被测转轴上涂敷有超磁致伸缩材料涂层条,超磁致伸缩材料涂层条分为正超磁致伸缩材料涂层条和负超磁致伸缩材料涂层条,正超磁致伸缩材料涂层条和负超磁致伸缩材料涂层条等间隔沿轴向左右对称倾斜涂敷在被测转轴上;被测转轴的左右两端分别嵌套于左轴承和右轴承的内孔中,左轴承和右轴承分别嵌套于轴套的左右两端,轴套的内壁上装配有激励线圈,激励线圈的内壁上沿轴向并排装配有相同规格的左测量线圈和右测量线圈。本发明在不接触传动轴、不改变传动轴受力状况及旋转和动态工作条件下对扭矩进行高准确度、高精度的实时动态测量。

    基于超磁致伸缩与石英摆线复合机理的隔微振装置

    公开(公告)号:CN107165979B

    公开(公告)日:2018-09-14

    申请号:CN201710419161.8

    申请日:2017-06-06

    Abstract: 本发明属于隔微振技术领域;该装置由第一级摆、第二级摆和致动器组成;第一级摆由外部支撑结构、第一石英丝、第一测试质量和上连接件构成,第二级摆由第一测试质量、上连接件、复合摆丝、第二测试质量和下连接件构成,所述复合摆丝由第二石英丝和涂敷在第二石英丝外围的超磁致伸缩材料涂层构成;致动器由上导磁体、永磁体、驱动线圈、骨架和下导磁体构成,驱动线圈为复合摆丝提供驱动磁场,永磁体为复合摆丝提供偏置磁场;本发明不仅能够实现主动隔振的技术目的,而且具有系统简化、高度集成的技术优势,同时提高了对低频振动的振动效果。

    基于磁致伸缩与直槽结构石英摆线复合机理的隔微振装置

    公开(公告)号:CN107084224A

    公开(公告)日:2017-08-22

    申请号:CN201710418680.2

    申请日:2017-06-06

    Abstract: 本发明基于磁致伸缩与直槽结构石英摆线复合机理的隔微振装置属于隔微振技术领域;该装置由第一级摆、第二级摆和致动器组成;第一级摆由外部支撑结构、第一石英丝、第一测试质量和上连接件构成;第二级摆由第一测试质量、上连接件、复合摆丝、第二测试质量和下连接件构成;致动器由复合摆丝和驱动装置构成;复合摆丝包括第二石英丝和涂敷在第二石英丝表面的超磁致伸缩材料涂层,第二石英丝表面刻蚀有截面为矩形和半圆组合图形的直沟槽,驱动装置包括上导磁体、永磁体、驱动线圈、骨架和下导磁体;本发明不仅能够实现主动隔振的技术目的,而且具有系统简化、高度集成、高灵敏度的技术优势,同时提高了对低频振动的振动效果,以及致动器的灵敏度。

    基于磁致伸缩与螺旋结构石英摆线复合机理的隔微振装置

    公开(公告)号:CN107023605A

    公开(公告)日:2017-08-08

    申请号:CN201710418170.5

    申请日:2017-06-06

    CPC classification number: F16F15/005 F16F7/1011 F16F7/1022 F16F15/002

    Abstract: 本发明基于磁致伸缩与螺旋结构石英摆线复合机理的隔微振装置属于隔微振技术领域;该装置由第一级摆、第二级摆和致动器组成;第一级摆由外部支撑结构、第一石英丝、第一测试质量和上连接件构成;第二级摆由第一测试质量、上连接件、复合摆丝、第二测试质量和下连接件构成;致动器由复合摆丝和驱动装置构成;所述复合摆丝包括第二石英丝和涂敷在第二石英丝表面的超磁致伸缩材料涂层,第二石英丝表面刻蚀有截面为矩形的螺旋沟槽,驱动装置包括上导磁体、永磁体、驱动线圈、骨架和下导磁体;本发明不仅能够实现主动隔振的技术目的,而且具有系统简化、高度集成、高灵敏度的技术优势,同时提高了对低频振动的振动效果,以及致动器的灵敏度。

    一种基于衍射光栅的主轴径向回转误差测量装置与方法

    公开(公告)号:CN108168461A

    公开(公告)日:2018-06-15

    申请号:CN201810027452.7

    申请日:2018-01-11

    Abstract: 本发明一种基于衍射光栅的主轴径向回转误差测量装置与方法属于精密仪器制造及测量技术领域;该装置包括待测主轴,光栅,装夹装置,激光器,凸透镜,折光元件,光电转换器,信号处理电路和上位机;该方法首先确定等分角半径位置,再调整激光器、凸透镜与折光元件的位置,调整光电转换器与凸透镜之间距离,将获得的干涉信号转换为电学信息,对接收到的信号进行辨向计数及矢量合成并解调出光栅的位移信息,最后评定待测主轴的径向回转误差;本发明利用衍射光栅将主轴的径向回转误差转化为衍射干涉光斑的位移,利用光电转换器获取光斑的位移信息,从而规避了高采样频率的电容传感器难以获得的困境,实现了高速主轴径向回转误差的精密测量。

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